JPS62175677A - 半導体装置の測定装置 - Google Patents
半導体装置の測定装置Info
- Publication number
- JPS62175677A JPS62175677A JP1928986A JP1928986A JPS62175677A JP S62175677 A JPS62175677 A JP S62175677A JP 1928986 A JP1928986 A JP 1928986A JP 1928986 A JP1928986 A JP 1928986A JP S62175677 A JPS62175677 A JP S62175677A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- substrate
- measured
- lead
- anisotropic conductive
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の電気的特性測定のための測定装置
に関するものである。
に関するものである。
従来、この釉の測定には、第４図に示すように針状の接
触子６を、被測定半導体装置の外Ｓ専用リードに会わゼ
て配置し、端子８から測定器本体に電気的接続をとるグ
ローブカードがある。
触子６を、被測定半導体装置の外Ｓ専用リードに会わゼ
て配置し、端子８から測定器本体に電気的接続をとるグ
ローブカードがある。
上述した従来の第４図の測定装置では、針状の接触子か
曲り易く接触不良が多発しかつ、価格が高価であるとい
う欠点がある。
曲り易く接触不良が多発しかつ、価格が高価であるとい
う欠点がある。
本発明による半導体装置の測定装置は、接触端子部に厚
さ方向のみ導電性を有する異方性導１ゴムを貼り付けた
基板と、この基板とともに被測定半導体装置の外部導出
リードを押え圧力を加えるリード押えｔ−鳴している。
さ方向のみ導電性を有する異方性導１ゴムを貼り付けた
基板と、この基板とともに被測定半導体装置の外部導出
リードを押え圧力を加えるリード押えｔ−鳴している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例による測定中の測定装置の断
面図であり、第２図に示す基板上に、第３図に示すフラ
ットパッケージ構造の被測定半導体装置１ｔ−載せ、ゴ
ム等の弾性に富んだリード押えによシ矢印ａ方回から圧
力？加え被測定半導体装置１の外Ｓ纒出リード１ａと基
板２の接触端子２ａを異方性４電ゴム４を介して′亀気
的接続ケ竹ない、端子５から測定器本体と接続し、電気
的特性測定を行なう。また、基板２の穴２ｂは、被測定
半導体装置の位置決めを行なっている。
面図であり、第２図に示す基板上に、第３図に示すフラ
ットパッケージ構造の被測定半導体装置１ｔ−載せ、ゴ
ム等の弾性に富んだリード押えによシ矢印ａ方回から圧
力？加え被測定半導体装置１の外Ｓ纒出リード１ａと基
板２の接触端子２ａを異方性４電ゴム４を介して′亀気
的接続ケ竹ない、端子５から測定器本体と接続し、電気
的特性測定を行なう。また、基板２の穴２ｂは、被測定
半導体装置の位置決めを行なっている。
以上説明したように本発明は、基板に位置決め川の穴が
あり、かつ、接触端子か印刷配線で形成されているので
、接触位置がズレることはなく、また、被半導体装置の
外部導出リードと基板の接触端子の間に異方性導電ゴム
が介在する為、各外部導出リードに均一な圧力が加わら
なくとも、異方性碑電ゴムの弾性変形によシ、よシ確実
な電気的接続かでき、基叛社印刷配線で製作する為安価
にできるという効果がある。
あり、かつ、接触端子か印刷配線で形成されているので
、接触位置がズレることはなく、また、被半導体装置の
外部導出リードと基板の接触端子の間に異方性導電ゴム
が介在する為、各外部導出リードに均一な圧力が加わら
なくとも、異方性碑電ゴムの弾性変形によシ、よシ確実
な電気的接続かでき、基叛社印刷配線で製作する為安価
にできるという効果がある。
第１図は１本発明の一実施例による測定中の測定装置の
断面図、第２図は本発明の一夾施νりに用いる測足基板
の平面図、第３図は本発明の一実施例に用いる被測定子
４俸装置の平面図、第４図（ａｌ。 （ｂＪは夫々従来の１０−ブカードを示す側面図、平面
図である。 １・・・・・・被測定半２４捧鉄置、１ａ・・・・・・
外Ｓ導出電極、２・・・・・・基板、２ａ・・・・・・
接触端子、３・・・・・・リード押え、４・・・・・・
異方性４ｍゴム、５・・・・・・端子、６・・・・・・
接触子、７・・・・・・絶縁基鈑、８・・・・・・端子
。 第 １ 唐 茅 ２ Ｍ 茅 ３ 凹 第 ４− 凹
断面図、第２図は本発明の一夾施νりに用いる測足基板
の平面図、第３図は本発明の一実施例に用いる被測定子
４俸装置の平面図、第４図（ａｌ。 （ｂＪは夫々従来の１０−ブカードを示す側面図、平面
図である。 １・・・・・・被測定半２４捧鉄置、１ａ・・・・・・
外Ｓ導出電極、２・・・・・・基板、２ａ・・・・・・
接触端子、３・・・・・・リード押え、４・・・・・・
異方性４ｍゴム、５・・・・・・端子、６・・・・・・
接触子、７・・・・・・絶縁基鈑、８・・・・・・端子
。 第 １ 唐 茅 ２ Ｍ 茅 ３ 凹 第 ４− 凹
Claims (1)
- 接触端子部に厚さ方向のみ導電性を有する異方性導電ゴ
ムを貼り付けた基板に、被測定半導体素子を載せ、外部
導出リードを、基板の接触端子部にリード押えにより押
し付けることを特徴とする半導体装置の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1928986A JPS62175677A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体装置の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1928986A JPS62175677A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体装置の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62175677A true JPS62175677A (ja) | 1987-08-01 |
Family
ID=11995278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1928986A Pending JPS62175677A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体装置の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62175677A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02236468A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Nec Corp | フィルムキャリア半導体装置の電気選別装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5714877B2 (ja) * | 1977-03-09 | 1982-03-26 | ||
| JPS6160179B2 (ja) * | 1978-12-26 | 1986-12-19 | Toray Industries |
-
1986
- 1986-01-30 JP JP1928986A patent/JPS62175677A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5714877B2 (ja) * | 1977-03-09 | 1982-03-26 | ||
| JPS6160179B2 (ja) * | 1978-12-26 | 1986-12-19 | Toray Industries |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02236468A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Nec Corp | フィルムキャリア半導体装置の電気選別装置 |
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