JPS62180871A - 薄膜搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野コ 本発明は、薄膜の搬送技術に関するものであり、特に、
薄膜剥Ｍ装置で基板から剥煎されたａ膜を搬送する薄膜
搬送技術に適用して有効な技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリン１〜配線
板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面（
又は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程によす製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）Ｍとそれを保護する透光性樹
脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネ
ートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、この
配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通
して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光
性樹脂フィルムを剥はした後、露光された感光性樹脂層
を現像してエツチングマスクパターンを形成する。この
後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し
、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パ
ターンを有するプリンＩ・配線板を形成する。

［発明がＭ決しようとする問題点コ 前述のプリント配線板のｍ造工程においては。

感光性樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹
脂フィルムを剥はする工程が必要とされている。この透
光性樹脂フィルムの剥離は１人手作業に頼っており、該
フィルムが薄いので、判雛応力の偏り等による感光性樹
脂層の損傷、破壊が生しないようにするため、指先の器
用さ及び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリン１〜配線板の製造工程における作業時間が長
くなるという問題があった。

そこで、前記薄収剥踵工程を機械で自動的に行う自動芯
膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥な装置は、基板に張り付けられている積
層体のうち、透光性樹脂フィルムの一部を金１、ブラシ
、ローレノ１〜等で浮上させ、その浮上した部分に流体
を吹き付け、透光性樹脂フィルムを剥離することを自動
的に行ったものである。

剥離された透光性樹脂フィルムは、自動薄膜剥離装置に
接続又は内蔵された搬送ベル！・からなる薄膜搬送′！
Ａ置で搬送され、排出容器に排出される。

しかしながら、薄膜搬送装置で搬送される透光性樹脂フ
ィルムは、基板から剥離したとき又は搬送ベルトとの摩
擦等により帯電し易く、排出されずに搬送ベル］〜に巻
き込まれてトラブルを生じるという問題があった。また
、透光性樹脂フィルムは、排出されても搬送ベルトの排
出側の直下にかさばるように排出され、無駄なスペース
が多くなるので、効率良く排出容器に排出されないとい
う問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、薄膜を搬送ベルトで搬送する薄膜搬送装置で
あって、前？２ｔｊｍ送ベルトの薄膜排出方向に流体を
噴出する流体噴出機構を設けたことを特徴とするもので
ある。

［作用］ 本発明は、流体の噴出で排出される８膜が搬送ベルトに
巻き込まれることを防止するとともに、流体の噴出で排
出方向に薄膜を誘導することができるので、薄膜を効率
良く排出容器に排出することができる。

［′実施例コ １以下１本発明をプリント配線用基板の保：Ｓ膜剥煎装
置の保護膜搬送装置に適用した一実施例について図面を
用いて説明する。

“なお、実施例の全回において、同一機能を有す乞もの
は同゛−符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は１本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装はの概略構成を示す模写側面向、第２図は、
第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜の利殖装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示子ように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

□この搬送機構における搬送経路Ａ−Δには、突起抑圧
機構３、流体吹付機構４．剥随角度設定板ｉ利殖補助板
）５及び薄膜搬出機構（薄膜搬送装［）６が設けられて
いる。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、絶
縁性基板ＩＡの両面（又は片面）に銅等の導ｆｆ１Ｗｉ
Ｂが形成されたものである。このプリント配線用基板１
の導電層ＩＢ上には、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フ
ィルム（葆護膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネ
ートされている。感光性樹脂層ＩＣは所定の配線パター
ンフィルムが重ねられ露光された後の状態にあ□る。プ
リント配線用基板ｌは、第１図に示す矢印Ａ方向に搬送
用駆動ローラ２で搬送されるように□構成されている。

前記突起押圧Ｉａ構３は、第１図（構成図）、第４図（
拡散分解図）及び第５図（部谷断面図）に示すように構
成されている。

この突起抑圧機構３は、プリン１へ配線用基板１の両面
側に、夫々複数個の突起抑圧部材３Ａが搬送方向と交差
する方向（ブリシト配線用基板１の幅方向）に設けられ
ている。突起抑圧部材３Ａは第５図で示すように針状で
構成されており、その先端部で感光性樹脂層ＩＣとｉ光
性樹脂フィルム１Ｄとの積層体の端部を押圧するように
構成されている。突起抑圧部材３Ａは、前記積層体の端
部を抑圧したときに、導ｍ磨ｌＢと感光性樹脂層ＩＣと
の界面に食込まないようにし、かつ透光性樹脂フィルム
ＩＤが感光性樹脂層ＩＣから浮上するように、例えば６
０　［度コ程度の先端角度で構成する。対向する位置に
設けられた夫々の突起抑圧部材３Ａは、ホルダ３Ｂを介
して夫々別々の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに支持され
ている。ホルダ３Ｂは、符号を付けていないが、突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃの貫通穴をそれに沿って摺動でき
るように取り付けられている。

突起抑圧部材３Ａとホルダ３Ｂとの間及びホルダ３Ｂと
突起抑圧部材支持回転軸３Ｃとの間には、夫々、同−又
は異なる弾力性の弾性部材３Ｄ及び３Ｅが設けられてい
る。弾性部材３Ｄ及び３Ｅは。

矢印Ｂ方向、すなわち、プリント配線用基板ｌに近接す
る方向に作用するように取り付けられている。したがっ
て、突起抑圧部材３Ａの先端部の位置は、矢印Ｂ方向の
所定の圧力により、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃに対し
て変化できるように構成されている。

突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイ
ド用長穴３ｆを通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回
転自在に連結されている。ガイド部材３Ｆは、図示して
いないが、剥随装置装買本体にビス等の取付手段で固若
されている。ガイド用長穴３ｆは、プリント配線用基板
１に近接又はそれから離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に
、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃすなわち突起抑圧部材３
Ａをガイドするように構成されている。

夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は１回転軸３ｈを中
心に矢印り方向に回転自在に取り付けられた回転アーム
部材３　Ｈの回転軸３ｈを中心として対向する端部に回
転自在に取り付けられている。

回転アーム部材３Ｈは、夫々の移動アーム部材３Ｇを異
なる矢印Ｃ方向に移動させるように構成されている。

前記突起抑圧部材支持回転軸３Ｃをガイドするガイド部
材３Ｆ、移動アーム部材３Ｇ及び回転アーム部材３）４
は、両面兼用駆動源のシャフト３Ｊの矢印Ｅ方向の動作
でプリント配線用基板１の両面側に設けられた夫々の突
起抑圧部材３Ａを互いに近接させ又は離隔させる突起抑
圧機構３のリンクＶ＆構を構成している。シャフト３Ｊ
は１回転アーム部材３　Ｈの一端部に連結アーム部材３
■を介して接続されている。リンク機構を構成する夫々
の部材は、−鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比較
的外力に対して変形しずらい材料で構成する。

駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ。

電磁ソレノイド等を実用する。また、シャツ１−３Ｊは
、回転アーム部材３１１の一端部に限定されず。

一方の移動アーム部材３Ｇの一端部に連結アーム部材３
■を介して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起抑圧部材３Δと両端
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板１の両面側に設けられた夫々の突起抑圧部材３Ａのプ
リント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動
作（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち
、リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、突
起抑圧部材３Ａを駆動する駆動源を別々に設けることな
く、両面兼用駆動源で両面側の突起抑圧部材３Δを駆動
することができる。

また、リンク機構を溝成すφガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３　Ｈが略剛体であり、
夫々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定
されているので、プリント配線用基板１の両面側の夫々
の興起押圧部材３Ａの動作量及び動作時間を夫々間等に
しがも正確４こ制御することができる。

また、リンク機構は、ランクアンドピニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
、個々の部材が単純（Ｕ単）な形状なので、突起抑圧部
材３Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた夫々の前記突起抑
圧部材支持回転軸３Ｃの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ
が設けられている。夫々の突起抑圧部材回転アーム部材
３にの他端部には、長穴３ｋが設けられており１両行の
長穴３ｋには、両面兼用駆動源のシャツ１−３Ｌと接続
する連結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。す
なわち、突起抑圧部材回転アーム部材３には、連結アー
ム部材３Ｍを介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連
結されている。両面兼用ｖｊＡＩｊＪ源としては、前述
のリンク機構と同様のものを使用すればよい。

前記突起抑圧部材回転アーム部材３Ｋ及び連結アーム部
材３Ｍは、シャフト３Ｌの矢印Ｆ方向の動作により、突
起抑圧部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｇ方向に回転させ
るとともに突起抑圧部材支持回転＠３Ｃを矢印Ｈ方向に
回転させ、積層体の端：部、押工す、突起押工機構、、
、）突起押工部材抑圧＠構を構成するようになっている
。

□このように構成される突起抑圧部材押圧機構は、前述
の突起抑圧部材３Ａを近接させ又は離隔させろリンク機
構と同様に、プリント配線用基板ｌの両面側の夫々の突
起押圧部材３Ａを−っの１駆動源で動作させることがで
きるとともに、その動作量、動作時間を正確に制御する
ことができる。

また、突起抑圧部材抑圧機構は、突起押圧部材３Ａとｌ
！ＩＡ！ＰＩＩ′ｆＦＸとを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

このように突起抑圧機構３は、主に、突起抑圧部材３Ａ
と、突起押圧部材３Ａをプリント配線用基板１に近接さ
せ又は雇隔させるリンク機構と。

積層体の端部を突起抑圧部材３Ａで押圧させる突起抑圧
部材抑圧機構とで構成されている。

なお、本実施例では、リンク機構又は突起抑圧部材抑圧
機構と両面兼用部！ｌＪ源を突起抑圧部材支持回転軸３
Ｃの一端側に設けているが１本発明は、その両端側に夫
々設けてもよい。

次に、突起抑圧機構３の動作について、第１図乃至第５
図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断面
図）とを用いて簡単に説明する。

まず１図示していない薄膜端部検出装置で検出する。こ
の薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板ｌ
上に設けられている薄膜の端部を検出するタッチセンサ
又は光学的に検出するフォ１〜センサを用いる。

この薄膜端部検出装置でプリント配線用基＠１に設けら
れている積層体（薄膜）の端部が検出されると、第１図
及び第２図に示すピンチローラ２Ａ妬押圧手段（図示し
ていない）で押圧してプリント配線用基板″ｌに押し付
けて、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用基
板１の搬送を一時停止させる。このとき、プリント配線
用基板ｌの位置がずれないように、ピンチローラ２Ａと
対向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等のｍ擦係
数の大きな材料を設け、プリント配線用基板ｌの搬送を
確実に停止させてプリンｌ−配線用基板ｌを□ 固定する。

次に、リンク機構に連結された両面着用駆動源のシャツ
１−３Ｊを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。

この動作で回転アーム部材３Ｈ１移動アーム部材３Ｇ、
ガイド部材３Ｆで構成されるリンク機構が動作し、突起
抑圧部材支持回転軸３Ｃが矢印Ｃ方向に移動する。この
突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの移動によ□す“、第６図
に示すように。

プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起抑圧部材３
Ａの先端部が￥ｉ層棒体端部導電層ＩＢの表面に接触す
る。この接触は１弾性部材３Ｄ（又は３Ｅ）がエネルギ
を有量るように適度な抑圧力で行われる。

次に、突起抑圧部↑４３Ａが導電層ＩＢに接触した状態
において、突起抑圧部材抑圧機構に連結された両面兼用
駆動源めシャフト３Ｌを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に
動作させる。この動作で突起抑圧部材回転アーム部材３
Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される突起抑圧部材抑圧
機構が動作し、突起抑圧部材支持回転軸３Ｃを矢印１−
１方向に回転させる。この突起抑圧部材支持回転軸３Ｃ
の回転により、第７図に示子ように、プリント配線用基
板１の両面側の夫々の突起抑圧部材３Ａの先端部が積層
体端部を押圧する。

このように、プリント配蕪突用基板１の感光性樹脂Ｆ！
ＪＩＣ及び透光性樹脂フィルムＩＤからなる債棒体の端
部を、突起抑圧機構３の突起抑圧部材３Ａで抑圧するこ
とにより、感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩ
Ｄの一部を浮上させ、それらの界面に隙間を生じさせる
ことができる。この隙間は、感光性樹脂層ＩＣが透光性
樹脂フィルムＩＤよりも軟材質で構成されており、突起
抑圧部材３Ａの抑圧に対して感光性樹脂層ＩＣは塑性変
形するが、透光性樹脂フィルムＩＤは塑性変形する前に
感光性樹脂Ｆ７ＪＩＧとの接着力が低下するために生じ
る。

また、前記透光性樹脂フィルＡｓ　Ｉ　Ｄの端部の浮上
は、４状の簡単な構成の突起抑圧部材３Ａで行うことが
できる。

また、突起抑圧部材３Ａをプリント配線用基板１の搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルムＩＤの端部
の浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルムＩＤは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂層ＩＣと再度接着されるこ
とはない。

また、本実施例では、プリン１−配線用基板１に対し積
層体が歪んで熱圧若うミネー１−されることを考慮して
、プリント配線用基板１の搬送方向と交差する方向（幅
方向）に層数の突起押圧部材３Ａを設けであるが、本発
明はこれに限定されない。

すなわち、感光性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤ
との一端部が押圧され、後者が必らず浮上できるならば
、プリント配線用基板ｌの両面側に夫々１つの突起抑圧
部材３Ａを設けて突起抑圧機構３を構成してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の搬送方向
と交差する方向（幅方向）に突起抑圧部材３Ａを設けで
あるが、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向と
同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起
抑圧部材３Ａを設けることもできる。この場合には、流
体吹付機構４のノズル４Ａを突起押圧部材３Ａの近傍に
設ける。

また１本実施例では、突起押圧機構３の突起押圧部材抑
圧機構をリンク機構で構成したが１本発明は、積層体の
端部のプリント配線用基板１の表面に突起抑圧部材３Ａ
を接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチロ
ーラ２Ａ）を回転させてプリント配線用基板１を微小に
搬送し、ｆＪＩ層体の端部を押圧する突起抑圧部材抑圧
機構で構成してもよい。すなわち、本発明は、搬送機構
で突起抑圧部材抑圧Ｖ＆構を構成してもよい。

また、本発明は、ホルダ３Ｂを取り付ける貫通穴の加工
精度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と交
差する方向の突起抑圧部材支持回転軸３Ｃの断面形状を
方形状で構成してもよい。

前記流体吹付機構４は、第１図及び第２図に示すように
、ノズル４Δから圧力を加えた流体、例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている。この流体吹付機構４は、プリント配線用基板１
の感光性樹脂層ＩＣから透光性樹脂フィルムＩＤが浮上
した両者の隙間部分に流体を直接吹き付けるように構成
されている。そして、流体吹付機構４は、前記隙間部分
に即座に流体を吹き付けられるように、突起抑圧機構３
の近接した位置に構成されている。この流体吹付機構４
のノズル４Ａは、矢印Ｊ方向にその設定角度が可変でき
るように構成されている。すなわち、流体吹付機構４は
、流体吹き付は時にできる限り前記隙間部分にノズル４
Ａを近接させ。

流体吹き付は後にプリン１〜配線用基板１が接触しない
位置にノズル４Ａを退避できるように構成されている。

このように、突起抑圧部材３Ａの抑圧で生じた感光性樹
脂層ＩＣと透光性４１Ｂ脂フイルムＩＤとの隙間部分に
、流体吹付機溝４で流体を吹き付けることにより、感光
性樹脂層ＩＣと透光性樹脂フィルムＩＤとの間に流体が
吹き込まれるので、感光性樹脂ＷＩＩＣから透光性樹脂
フィルムＩＤを簡単に瞬時かつ確実に剥離することがで
きる。

前記流体吹付機構４で剥離さ九た搬送方向の先端側の透
光性樹脂フィルム１ｄは、第２図及び第８図（要部斜視
図）で示すように、剥離角度設定板（′ＪｄＪ慮補助板
）５に流体圧で付若し、その剥１位置及び剥ｍ方向の剥
離角度Ｏが設定される。透光性樹脂フィルムｌｄは、第
２図及び第８図において一点爪線で示している。利殖角
度Ｏは、プリント配線用基板１に張り伺けられている透
光性樹脂フィルムＩＤとその状態から引き起された透光
性樹脂フィルム１ｄとがなす角度であり、略直角になる
ように構成されている。

剥に角度設定板５の７（Ｉｍ個の先端（剥離位置）は。

感光性樹脂層ｌＣに損傷、破壊を生じないように、プリ
ント配線用基板１に張り付けられた透光性樹脂フィルム
ｌＤにこすれない程度の間隔を匿いて設けられている。

そして、剥離角度設定板５は。

その先端が、流体吹き付は時には、透光性樹脂フィルム
ＩＤに密若するように、８動可能に構成され、流体の吹
抜けによる剥離効果の低下を防止する。また、剥に角度
設定板５の先端は、曲率半径の小さい円孤状になってい
る。例えば１曲率半径が３１１１１１以下に構成されて
いる。

また、剥は角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機構
６よりもプリント配線用法＠１側に近接さ仕、プリント
配線用基板１の搬送経路幅又は流体吹イ」幅の略全域の
長さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されて
いる。すなわち、第８図に矢印にで流体の流出方向を示
すように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹
抜けをできる限り防止して剥に効果を高め、かつ剥離さ
れた透光性樹脂フィルム１ｄの剥離角度設定板５への付
着性を高めることができる。

剥ｍ角度設定板５は、図示していないが、ノズル４Ａか
らの流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられ
ている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置を
安定させるとともに、透光性樹脂フィルムＩＤに一様な
剥離力を加えることができる。したがって、剥離角度設
定板５は、透光性樹脂フィルムＩＤの剥離時における剥
ｍ位置の変動防止。

剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂層ｉｃを損傷、破
壊しないようにすることができる。

なお、剥は角度設定板５の剥ｍ角度Ｏは、透光性樹脂フ
ィルムＩＤの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変
化により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるよ
うに構成してもよい。また。

剥離角度設定板５は、異なる厚さのプリント配線用基板
ｌ、異なる厚さの感光性樹脂層ｉｃや透光性樹脂フィル
ムＩＤに対応できるように、その位置を移動できるよう
に構成してもよい。この移動は、例えば、空圧シリンダ
、油圧シリンダ等で行うことができる。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性樹
脂フィルムｌｄは、第１図、第２図及び第９図（拡散分
解斜視図）で示すように、薄膜搬出機構（薄膜搬送機構
）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出機構６は、主に、プリント配線用基板ｌの両面
側に夫々設けられた上部搬送ペル１〜機構と宇部搬送ベ
ルト機構とで構成さＪしている。

上部搬送ベルト機構は、第９図で詳細に示すように、固
定搬送ベルト６Ａ、６Ｃ，ＧＯ，６Ｅ。

６Ｆと可動搬送ベルト６Ｂとで構成されている。

高定搬送ベルト６Ａは、従動軸Ｉに支持されたローラＧ
　Ａ　、１　、駆動軸Ｈに支持されたローラ６Ａｂ及び
ローラ６Ａａと６Ａｂとに巻き回されたベルト６ａで構
成されている。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｂａ、駆動軸■−支持されたローラ６Ｂｂ及びローラ６
Ｂａと６Ｂｂとに巻き回されたベルト６ｂで構成されて
いる。この可動搬送ベルト６Ｂは１ｇ動軸■を中心に第
２図に示すように、矢印り方向に回転するよう：に構成
されている。すなわち、可動搬送ベルト６Ｂは、剥離さ
れた透光性樹脂フィルムｌｄを剥離□角度設定板５に付
若させ易くするとともに、こｄ透光性樹脂フィルム１ｄ
を固定搬送ベルＩ−６Ａ　ｍで挟持して搬送できるよう
に構成されている。１また、固定搬送ベルト６Ａ及び可
動搬送ベル１へ６Ｂ凄の挟持は、第８図に示す剥離角度
設定板５に設けられた切込部５Ａを通して行われる。こ
の切込部５Ａは、剥離角度設定板５で剥踵位に及び剥離
ｊｒｊ度が設定された透光性樹脂フィルムｌｄに固着搬
送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとが達し、両者でそ
れを挟持できるように構成されている。萱なおち、切込
部ｇＡは、固定搬送ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂと
で透光性樹脂フィルム１ｄを確実に挟持できｇように構
成されている。

固定搬送ベルト６Ｃは、駆動軸■に支持されたローラ（
３Ｃａ　、従動軸■に支持されたローラ６ｃｂ及びロー
ラ６　Ｃａと６Ｃｂとに巻き回されたベルト６０で構成
されている。

固定搬送ベルト６Ｄは、従動軸■に支持されたローラ６
　Ｄ　ａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｄｂ、従動軸
■に支持されたローラ６Ｄｃ、従動軸■に支持されたロ
ーラ６Ｄｄ、従動軸■に支持さ、れたローラ６Ｄｅ及び
ローラ６　Ｄ　ａ　−６Ｄ　ｅに巻き回されたベルト６
ｄでａ）戊されている。

固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、前記固定搬送ベルト６Ａ
及び可動搬送ベル１〜６Ｂで搬送された透光性樹脂フィ
ルム１ｄをさらに排出方向に搬送するように構成さ］し
ている。固定搬送ベル１〜６Ｄのローラ６Ｄｅは、第１
０図（要部断面図）で示すように、固定搬送ベルｌ−６
Ｃ及び６Ｄから固定搬送ベル！−Ｇ　Ｅ及び６Ｆに透光
性樹脂フィルム１ｄを搬送するときに、その搬送方向が
大きな角度で変化するために設けられている。すなわち
、ローラ６Ｄｅは、搬送方向が変化するときに、ベルト
６Ｃ及び６ｄの透光性樹脂フィルムｌｄに接触する側の
曲率半径を略同等にすることができる。したがって、搬
送時に透光性樹脂フィルム１ｄにシワが生じることを防
止し、ジャム等のトラブルを防止することができる。

また、第１１図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム１ｄの一方の面に接触し、その搬送方向と交
差する透光性樹脂フィルムｌｄの幅方向に所定の間隔で
設けられた複数の固定搬送ベルト６Ｇ（又は６Ｄ）の間
には、透光性樹脂フィルム１ｄの他方の面に接触する固
定搬送ベルト６Ｄ（又は６Ｃ）が設けられている。換言
すれば、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄは、夫々のベルト６
０及び６ｄの表面（透光性樹脂フィルム１ｄとの接触面
）が一致しているか、戊はそれよりも相手側に食込むよ
うに、透光性樹脂フィルム１ｄの幅方向に千鳥状に配置
されている。

このように、固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとを千鳥状に配
置することにより、搬送される透光性１ｉＳＪ脂フイル
ム１ｄにその幅方向の張力を与えることができるので、
固定搬送ベルト６Ｃと６Ｄとで均一にしかも確実に透光
性樹脂フィルムｌｄを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで挟持される透光性
樹脂フィルムｌｄは、夫々のベルト〇〇及び６ｄの表面
及び側面側を包み込むような形状で搬送されるので、ロ
ーラ６Ｃａ、６Ｃｂとベルト６ｃ、又１まローラ６Ｄａ
〜６Ｄｅとベルト６ｄとのローラの軸方向のズレを防止
することができる。したがって、搬送時に透光性樹脂フ
ィルム１ｄに加わる挟持力を均一にし、それにシワが発
生することを防止できるので、ジャム等のトラブルを防
止することができる。特に１本実施例の装置は、後述す
る上部透光性樹脂フィルム排出収納容器７Ａを設けてお
り、上部搬送ベルｌ−４ｆｉ構の「ｎ送径路が下部搬送
ペル１〜機構のそれよりも長いので、固定搬送ベルト６
Ｃ及び６Ｄのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト６Ｅは、従動軸■に支持されたローラ６
Ｅａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｅｂ及びローラ６
Ｅａと６Ｅｂとに巻き回さ九たベル１〜６ｅで構成され
ている。

固定搬送ベルト６Ｆは、従動軸Ｘに支持されたローラ６
Ｆａ、従動軸■に支持されたローラ６Ｆｂ及びローラ６
Ｆａと６Ｆｂとに巻き回されたベルト６ｆで構成さ、ｈ
ている。

固定搬送ベルト６Ｅと６Ｆは、第１図及び第２図に示す
ように、前記固定搬送ベルト６Ｃ及び６Ｄで搬送された
透光性樹脂フィルム１　ｄを装置本体から矢印Ｍ方向に
排出するように構成されている。装置本体から排出され
た透光性樹脂フィルム１ｄは、第１図に示す上部透光性
樹脂フィルム排出収納容器７Ａに収納される。この上部
透光性１聞１脂フイルム排出収納容器７Ａは、装置本体
の上部に着脱自在に取り付°けられている。

前記下部搬送ベルト機溝は、第２図に示すように、固定
搬送ベルｌ−６Ｇと可動搬送ベルｌ−６１１とで構成さ
れている。

固定搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ６Ｇａ、６ＧＣ１従動軸（図
示していない）に支持されたローラ６Ｇｂ及びローラ６
　Ｇ　ａ　〜６　Ｇ　ｃ　Ｉｃ　嘗き回されたベルト６
ｇで（１育成されている。

可動搬送ベルト６　Ｈは、夫々別々の従動軸（図示して
いない）に支持されたローラ６Ｈａ、６ＨＣ１従動軸（
図示していない）に支持されたローラ６　Ｉｌ　ｂ及び
ローラ６Ｈａ〜６１−１　ｉ目二巻き回されたベルｈ　
Ｇ　ｈでもが成されている。

固定搬送ベルト６Ｇと可動搬送ベルｌ−６１１は、前記
上部搬送ベルト擾膚と同様に、剥魔角度設定仮５で剥に
位置及び剥に角度が設定されたもう−、方の透光性樹脂
フィルム１ｄを剥離しながら搬送するとともに、矢印Ｏ
方向に装置本体から透光性樹脂フィルムｌｄをＭ１出す
るように構成されている。装置本体から排出された透光
性樹脂フィルムｔｄは、第１図に示す下部透光性樹脂フ
ィルム排出収納容器７Ｂに収納される。この下部透光性
樹脂フィルムｈ＋：　ａ収納容器７Ｂは、装置本体に着
脱自在に取り付けられている。また、前記上部透光性樹
脂フィルム排出収納容８３７Ａは下部透光性樹脂フィル
１１排出収納容Ｗ７Ｂの上部に設けら１＋、でおり、装
置本体は、占有面積を縮小しコンバクニー化できるよう
に構成されている。

また、前記固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト６Ｈの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第
２図及び第９図に示すように、排出される透光性樹脂フ
ィルム１ｄにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き
付ける流体噴出機構８が設けられている。このとき、排
出される透光性樹脂フィルム１ｄと流体吹付方向とがな
す角度は。

流体の噴出で透光性樹脂フィルｌ、ｌｄを確実に排出方
向に誘導できるようｌこ、鋭角０Ｉ（Ｏ≦Ｏ１≦９０）
に設定されている。流体噴出機構８は、固定搬送ベルト
６Ｅ間、６Ｆ間、６Ｇ間及び可動搬送ベルト６Ｈ間に流
体が噴出する噴出口が設けらｈたパイプで構成されてい
る。流体としては、圧力を加えた空気、不活性ガス等の
気体、水等の液体を使用する。なお、図示されていない
が、流体噴出装置８に近接した位置には、透光性樹脂フ
ィルム１ｄの帯電を低減する除電装置が設けられている
。

このように固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ及び可動搬
送ベルト（３１１の夫々の排出側に流体噴出機構８を設
けることにより、Ｊｌ：出される透光性樹脂フィルム１
ｄが再度固定搬送ベルト６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ又は可動搬送
ベルトＧ　Ｈに巻き込まれることを防止するとともに、
流体で矢印Ｍ又は０方向に透光性樹脂フィルムｌｄを誘
導することができるので、透光性樹脂フィルムｌｄを効
率良く上部又は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器７
Ａ又は７Ｂに排出することができる。

また、固定搬送ベルｌ−６Ｅ間１．６！？間、６Ｇ間及
び可！！！Ｉ＋Ｆｔ送ベルｌ−Ｇ１１間の夫々の排出側
の搬送経路の近ＩＺには、ぴ込防止用部材、９が設けら
れており、透光性樹脂）２（ル１ａｌｄが固定搬送ベル
トＧＥ、ａ　ｒｒ、６Ｇ又は可！！！ＩＩ搬送ベルｌ−
６１■に巻き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Δに１近
接した位置及び可動搬送ベルＩ−６Ｈに近接した位置に
は、夫々除電装置１０とイオン拡散装置ｉ！２１１とが
設けらＪしている。除電装置１ｏは、イオンを放出し、
剥渭や搬送時に透光性樹脂フィルム１ｄが帯電すること
を低減できるように構成されている。イオン拡散装置１
１は、除電装置１゜から放出されたイオンを拡散し、透
光性樹脂フィルム１ｄの１Ｆ電を効率良く低減できるよ
うに構成されている。イオン拡散１１ｉｆｆｌｌは１例
えば、圧力が加えられた空気等の流体でイオンを拡散す
るように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧機構３の突起押圧部材３Ａ
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また１本発明は１回転体の円周上に瓜数の針が設けられ
たブラシで透光性樹脂フィルムＩＤの端部を引き起す薄
膜浮上段溝を有する薄膜搬送装置の薄膜搬送装置に適用
することができる。

また、本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルムＩＤ
の端部を押圧し、その部分を、７．上させる）１り膜、
７上機構を有する３ｖｊ’Ｊに装はの薄膜搬送装置に適
用することができる。

また、本発明は、突起押圧＆Ｎ　？、η３で透光性樹脂
フィルムＩＤの端部を浮上させ、この浮上した部分に粘
君部材を抑圧させて透光性樹脂フィルｌ、　ＩＤをネリ
にする薄膜搬出装置の１１を膜条送装置に適用すること
ができる。

また、本発明は、建築用化粧仮に張り付けられている保
護膜の剥眉装匝に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように１本発明によれば、以下に述べろ効
果を得ることができる。

薄膜を搬送ベルトで搬送する薄膜搬送装置（薄膜搬出装
置）であって、前記搬送ベルトの薄膜υ１゛出方向に流
体を噴出する流体噴出機構を設けたことにより、流体の
噴出でυ１：出されるン１す膜が搬送ベルトに巻き込ま
れることを防止するとともに、流体の噴出で排出方向に
薄膜を誘導することがてきるので、Ｌｖ膜を効率良く排
出容品に排出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜側ｍ装置の阪■摺成を示すｔ交互側面図。 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、第３図は、第
１図及び第２図に示す突起抑圧機構の構成図、 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起抑圧部材の部分断面図。 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図。 第８図は、第１図及び第２図に示す剥ｍ角度設定板の要
部斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出機構の拡散
分解斜視図、 第１０図及び第１１図は、第９図に示す３膜搬出機構の
要部断面図である。 図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＡ・・・絶隷性
基板、ＩＢ・・・導電、Ｉ！Ｆ、ＩＣ・・・感光性樹脂
層、ＩＤ・・・透光性樹脂フィルム、２・・・搬送用駆
動ローラ、３・・突起押圧機構、３Ａ・・・突起押圧部
材、４・・・流体吹付機構、５・・・利殖角度設定板、
６・・・薄膜搬出機構（薄膜搬出装置）、６Ａ〜６１１
・・・搬送ベルトである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄膜を搬送ベルトで搬送する薄膜搬送装置であっ
   て、前記搬送ベルトの薄膜排出方向に流体を噴出する流
   体噴出機構を設けたことを特徴とする薄膜搬送装置。