JPS62184742A - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPS62184742A JPS62184742A JP61024482A JP2448286A JPS62184742A JP S62184742 A JPS62184742 A JP S62184742A JP 61024482 A JP61024482 A JP 61024482A JP 2448286 A JP2448286 A JP 2448286A JP S62184742 A JPS62184742 A JP S62184742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- filament
- electron emission
- emission surface
- electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子銃のフィラメンＩ・の改良に関するらので
ある。
ある。
（従来の技術）
周知のように、電子銃は真空中で半導（＋、藩膜等を形
成あるいは処理する装置に広く便用されている、例えば
、真空ｆ着装置における電子銃は、高電圧を用いて発生
させた電子を加速し、この加速した電子をターゲラ１〜
へ照射し、ターゲットからの蒸発物質を基板上に蒸着さ
せるものである。
成あるいは処理する装置に広く便用されている、例えば
、真空ｆ着装置における電子銃は、高電圧を用いて発生
させた電子を加速し、この加速した電子をターゲラ１〜
へ照射し、ターゲットからの蒸発物質を基板上に蒸着さ
せるものである。
第３図には真空蒸着装置に使用される従来の電子銃の要
部ＪＲ成が示されている。
部ＪＲ成が示されている。
図において、電子銃はウェーネルト電極１と、該ウェー
ネルト電衝１の中心孔２内に配置されたフィラメント３
と、該フィラメント３およびウェーネル１〜電極１に対
し間隙４を介して対向配置されたアノード５とを有して
構成されている。
ネルト電衝１の中心孔２内に配置されたフィラメント３
と、該フィラメント３およびウェーネル１〜電極１に対
し間隙４を介して対向配置されたアノード５とを有して
構成されている。
前記フィラメント３は第４図（ａ）および同図（ｂ）に
示すように、渦巻き状の線条によって形成された電子放
出面（５と、該電子放出面６の両端部から伸張された脚
部９とからなり、前記電子放出面６は平面状に形成され
ている。
示すように、渦巻き状の線条によって形成された電子放
出面（５と、該電子放出面６の両端部から伸張された脚
部９とからなり、前記電子放出面６は平面状に形成され
ている。
前記ウェーネル１〜電庵１とフィラメント３には同一の
負の高電圧が印加されており、また、アノード５をアー
ス電位（零電位）におとしている。
負の高電圧が印加されており、また、アノード５をアー
ス電位（零電位）におとしている。
これらの電圧印加によって、ウェーネルト電衛１とアノ
ード５の間に湾曲状の等電位面７を有する電界が形成さ
れる。この状態でフィラメンｌ□ ３３加熱することに
よって、該フィラメント３から電子が放出され、該放出
された電子は等電位面７に対し垂直な向きに加速される
。そして、この加速された電子（電子ビーム）はアノー
ドの開化部８を通って図示されていないターゲットへ照
射されるのである。
ード５の間に湾曲状の等電位面７を有する電界が形成さ
れる。この状態でフィラメンｌ□ ３３加熱することに
よって、該フィラメント３から電子が放出され、該放出
された電子は等電位面７に対し垂直な向きに加速される
。そして、この加速された電子（電子ビーム）はアノー
ドの開化部８を通って図示されていないターゲットへ照
射されるのである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら上記従来の装置においては、フィラメント
３の電子放出面６が平面状に形成されているため、電子
放出面６上の各位置で電界強度が異なり、このため、電
子放出面６から放出される電子ビームの収束性がやや悪
くなるという問題がある。また、同様に、電子放出面６
上の各位置で電界強度が異なるため、該電子放出面６上
に不均一な力が加わり、電子放出面６が異常に変形した
り、電子放出面６の線条が断線するという問題があった
。本発明は上記従来の問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的は、電子放出面から放出される電
子ビームの収束性を向上させるとともに、フィラメント
の異常変形を防止してフィラメントの長方向（ヒを図る
ことができる電子銃を提供することにある。
３の電子放出面６が平面状に形成されているため、電子
放出面６上の各位置で電界強度が異なり、このため、電
子放出面６から放出される電子ビームの収束性がやや悪
くなるという問題がある。また、同様に、電子放出面６
上の各位置で電界強度が異なるため、該電子放出面６上
に不均一な力が加わり、電子放出面６が異常に変形した
り、電子放出面６の線条が断線するという問題があった
。本発明は上記従来の問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的は、電子放出面から放出される電
子ビームの収束性を向上させるとともに、フィラメント
の異常変形を防止してフィラメントの長方向（ヒを図る
ことができる電子銃を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するために次のように１１４成
されている。すなわち、本発明は、電子放出面から電子
を放出するフィラメントと、このフィ、ラメントの周囲
に配置された電極と、この電極およびフィラメントに間
隙を介して対向配置されたアノードとを有する電子銃に
おいて、前記フィラメントの電子放出面は電子の放出駆
動時の等電位曲面に沿う湾曲面に形成されている電子銃
である。
されている。すなわち、本発明は、電子放出面から電子
を放出するフィラメントと、このフィ、ラメントの周囲
に配置された電極と、この電極およびフィラメントに間
隙を介して対向配置されたアノードとを有する電子銃に
おいて、前記フィラメントの電子放出面は電子の放出駆
動時の等電位曲面に沿う湾曲面に形成されている電子銃
である。
（作 用）
上記構成からなる本発明において、フィラメントと電極
に負の高電圧を印加し、アノードをアース電位におとす
ことにより、フィラメントの周囲に等電位曲面が形成さ
れる。
に負の高電圧を印加し、アノードをアース電位におとす
ことにより、フィラメントの周囲に等電位曲面が形成さ
れる。
本発明では、フィラメントの電子放出面は前記等電位曲
面に沿わせて、該等電位曲面とほぼ同一の湾曲面に形成
しである。そのため、フィラメン１−の電子放出面から
放出される電子は該電子放出面に対し直角の向きとなり
、しかも電子放出時に電子放出面に加わる力は一様とな
る。
面に沿わせて、該等電位曲面とほぼ同一の湾曲面に形成
しである。そのため、フィラメン１−の電子放出面から
放出される電子は該電子放出面に対し直角の向きとなり
、しかも電子放出時に電子放出面に加わる力は一様とな
る。
このように、本発明においては、フィラメントの電子放
出面は各位置で電界強度が等しくなり、かつ、電子放出
面から直角の向きに電子が飛び出すから、前記放出され
る電子ビームの収束性および電子放出効率を大幅に改善
することができることとなり、また、電子放出面に加わ
る力が一様であるから、電子放出面に異常変形が生じる
こともなく、長期に渡って安定した高い電子放出性能を
維持することが可能となるものである。
出面は各位置で電界強度が等しくなり、かつ、電子放出
面から直角の向きに電子が飛び出すから、前記放出され
る電子ビームの収束性および電子放出効率を大幅に改善
することができることとなり、また、電子放出面に加わ
る力が一様であるから、電子放出面に異常変形が生じる
こともなく、長期に渡って安定した高い電子放出性能を
維持することが可能となるものである。
（実 施 例）
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。な
お、本実施例の説明において、従来例の構成部分と同一
のｔ１４１部分には同一の符号をけしてその説明を省略
する。
お、本実施例の説明において、従来例の構成部分と同一
のｔ１４１部分には同一の符号をけしてその説明を省略
する。
第１図には本発明に係る一実施例の要部ｆ＋４成が示さ
れており、第２図（ａ）および同図（ｂ）には本実施例
の電子銃に１重用されるフィラメントの構成が示されて
いる。図において、ＵＣ来例と同様に、ウェーネルト電
極１とフィラメント３には同一の負の高電圧が印加され
ており、アノード５はアース電位（零電位）におとされ
ている。
れており、第２図（ａ）および同図（ｂ）には本実施例
の電子銃に１重用されるフィラメントの構成が示されて
いる。図において、ＵＣ来例と同様に、ウェーネルト電
極１とフィラメント３には同一の負の高電圧が印加され
ており、アノード５はアース電位（零電位）におとされ
ている。
この電圧印加状態において、図示の如く、ウェーネルト
電極１とアノード５間に等電位面７が形成される。本実
施例において特徴的なことは、フィラメント３の電子放
出面６を該電子放出面６の位置を通る等電位面７に沿わ
せて、該電子放出面６を等電位面７に一致するような湾
曲面に形成したことである。
電極１とアノード５間に等電位面７が形成される。本実
施例において特徴的なことは、フィラメント３の電子放
出面６を該電子放出面６の位置を通る等電位面７に沿わ
せて、該電子放出面６を等電位面７に一致するような湾
曲面に形成したことである。
周知のように、電子は等電位面７に対し直角の向きに飛
び出すが、前記のように、電子放出面６を等電位面７に
一致させることにより、電子放出面６から放出される電
子は該電子放出面６に対して直角の向きに飛び出す。
び出すが、前記のように、電子放出面６を等電位面７に
一致させることにより、電子放出面６から放出される電
子は該電子放出面６に対して直角の向きに飛び出す。
このため、電子放出面６から放出される電子ヒームのエ
イ・ルギ密度が高くなり、効率よく電子を放出すること
が可能となる。また、電子が飛び出ず電子放出面６上の
各位置の電界強度が均一となるので、電子ビームの収束
性を効果的に向上さＵ゛ることかできるとともに、電子
放出面６の各位置は電界による反１七用を一様に受ける
ので、電子放出面６か異常変形をおこすことかない。
イ・ルギ密度が高くなり、効率よく電子を放出すること
が可能となる。また、電子が飛び出ず電子放出面６上の
各位置の電界強度が均一となるので、電子ビームの収束
性を効果的に向上さＵ゛ることかできるとともに、電子
放出面６の各位置は電界による反１七用を一様に受ける
ので、電子放出面６か異常変形をおこすことかない。
したがって、電子放出面６の異常変形によるＩＪＪｒ線
等の事故を発生ずることもなく、長期に渡って安定した
高い電子放出性能を維持することが可能となる。
等の事故を発生ずることもなく、長期に渡って安定した
高い電子放出性能を維持することが可能となる。
（発明の効果）
本発明は以上説明したような構成と作用とを有している
ので、電子放出面から放出される電子ビームの収束性を
向上させることができるとともに、電子放出面の異常変
形や断線を防止してフィラメントの長寿命１ヒを図るこ
とができ、これにより、効率的な、かつ、安定した電子
放出性能を長期に渡って維持することが可能である。
ので、電子放出面から放出される電子ビームの収束性を
向上させることができるとともに、電子放出面の異常変
形や断線を防止してフィラメントの長寿命１ヒを図るこ
とができ、これにより、効率的な、かつ、安定した電子
放出性能を長期に渡って維持することが可能である。
第１図は本発明に係る電子銃の要部ｔｌ成を示す断面図
、第２図（ａ）および同図（ｂ）は本発明の電子銃に使
用されるフィラメントの構成を示しそのうち、同図（ａ
＞は正面図、同図（ｂ）は側面図であり、第３図は１足
来例の電子銃の要部構成を示す断面図、第７１図（ａ）
および同図（ｂ）は従来の電子銃に使用されているフィ
ラメントの構成を示し、そのうち、同図（ａ）は正面図
、同図（ｂ）は側面図である。 １・・・・・・ウェーネルト電極、 ２・・・・中心孔
、３・・・・・・フィラメント、 ４・・・・・・間
隙、 ５・・・・・アノード、 ６・・・・・・電子
放出面、７・・・・・・等電位面、８・・・・・・開孔
部、 ９・・・・・・脚部。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 第／図 第 ２ 図 （ａ） （ｂ）事 ３ 図 そ 第 ４ 図
、第２図（ａ）および同図（ｂ）は本発明の電子銃に使
用されるフィラメントの構成を示しそのうち、同図（ａ
＞は正面図、同図（ｂ）は側面図であり、第３図は１足
来例の電子銃の要部構成を示す断面図、第７１図（ａ）
および同図（ｂ）は従来の電子銃に使用されているフィ
ラメントの構成を示し、そのうち、同図（ａ）は正面図
、同図（ｂ）は側面図である。 １・・・・・・ウェーネルト電極、 ２・・・・中心孔
、３・・・・・・フィラメント、 ４・・・・・・間
隙、 ５・・・・・アノード、 ６・・・・・・電子
放出面、７・・・・・・等電位面、８・・・・・・開孔
部、 ９・・・・・・脚部。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 第／図 第 ２ 図 （ａ） （ｂ）事 ３ 図 そ 第 ４ 図
Claims (1)
- 電子放出面から電子を放出するフィラメントと、このフ
ィラメントの周囲に配置された電極と、この電極および
フィラメントに間隙を介して対向配置されたアノードと
を有する電子銃において、前記フィラメントの電子放出
面は電子の放出駆動時の等電位曲面に沿う湾曲面に形成
されていることを特徴とする電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61024482A JPS62184742A (ja) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61024482A JPS62184742A (ja) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184742A true JPS62184742A (ja) | 1987-08-13 |
| JPH0574900B2 JPH0574900B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=12139404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61024482A Granted JPS62184742A (ja) | 1986-02-06 | 1986-02-06 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184742A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017516279A (ja) * | 2014-03-21 | 2017-06-15 | テトラ ラバル ホールディングス アンド ファイナンス エス エイ | 電子ビーム発生器及び電子ビーム殺菌デバイス |
-
1986
- 1986-02-06 JP JP61024482A patent/JPS62184742A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017516279A (ja) * | 2014-03-21 | 2017-06-15 | テトラ ラバル ホールディングス アンド ファイナンス エス エイ | 電子ビーム発生器及び電子ビーム殺菌デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574900B2 (ja) | 1993-10-19 |
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