JPS62186543A - 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 - Google Patents
半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針Info
- Publication number
- JPS62186543A JPS62186543A JP2838686A JP2838686A JPS62186543A JP S62186543 A JPS62186543 A JP S62186543A JP 2838686 A JP2838686 A JP 2838686A JP 2838686 A JP2838686 A JP 2838686A JP S62186543 A JPS62186543 A JP S62186543A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe needle
- semiconductor wafer
- tip
- transmission line
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体ウェーハ（以下単にウェーハと云う）
上のＩＣ，ＬＳＩ等の電気的特性を測定する為のプロー
ブ針に関する。
上のＩＣ，ＬＳＩ等の電気的特性を測定する為のプロー
ブ針に関する。
（従来の技術）
従来、第６図に示すウェーハ１上のＩＣ，ＬＳＩ等の電
気的特性を測定する際、高い周波数領域でも電気的特性
の測定が可能なプローブ針として、第５図に示す如く同
軸ケーブル３の先端中心に信号線４を突出し、同軸ケー
ブル３の先端外周にグランド部５を取付けてその尖端を
信号線４の尖端に平行に２００μ程度接近させて成る同
軸型プローブ針６を、第６図の如く計測器７のｘ、ｙ、
ｚ軸方向に移動可能なアーム８にセントし、ウェーハ１
上のＩＣ，ＬＳＩ等のパッド２に接触させて電気的特性
を測定する方法が採られている。
気的特性を測定する際、高い周波数領域でも電気的特性
の測定が可能なプローブ針として、第５図に示す如く同
軸ケーブル３の先端中心に信号線４を突出し、同軸ケー
ブル３の先端外周にグランド部５を取付けてその尖端を
信号線４の尖端に平行に２００μ程度接近させて成る同
軸型プローブ針６を、第６図の如く計測器７のｘ、ｙ、
ｚ軸方向に移動可能なアーム８にセントし、ウェーハ１
上のＩＣ，ＬＳＩ等のパッド２に接触させて電気的特性
を測定する方法が採られている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、上記の同軸型プローブ針６は、信号線４とグ
ランド部５が同軸ケーブル３の先端で数顛にわたって同
軸構造をとらない為、特性インピーダンスがその部分で
変化してしまい、高周波数領域での正確な電気的特性測
定ができなかった。
ランド部５が同軸ケーブル３の先端で数顛にわたって同
軸構造をとらない為、特性インピーダンスがその部分で
変化してしまい、高周波数領域での正確な電気的特性測
定ができなかった。
また、この構造では多端子化が不可能であった。
一方、近時ＩＣ，ＬＳＩは高密度、高速化の開発が進め
られ、これに伴いこれらを評価する為のプローバとして
は、特性インピーダンスの安定化、多端子化、ウェーハ
上のバッドとの確実なコンタクトを図れるプローブ針を
備えることが必要で、これの開発が急がれている。
られ、これに伴いこれらを評価する為のプローバとして
は、特性インピーダンスの安定化、多端子化、ウェーハ
上のバッドとの確実なコンタクトを図れるプローブ針を
備えることが必要で、これの開発が急がれている。
そこで、本発明は、特性インピーダンスの設定に対する
安定化、多端子化、確実なコンタクトを達成でき、高周
波数領域で正確な電気的特性測定できるプローブ針を提
供しようとするものである。
安定化、多端子化、確実なコンタクトを達成でき、高周
波数領域で正確な電気的特性測定できるプローブ針を提
供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明のプローブ針は、誘
電体基板上に伝送線路を複数列平行に設け、この各伝送
線路上の先端部に、金属球を接続して接触部を設けたも
のである。また、金属球の接触部は中空体より成るもの
もある。
電体基板上に伝送線路を複数列平行に設け、この各伝送
線路上の先端部に、金属球を接続して接触部を設けたも
のである。また、金属球の接触部は中空体より成るもの
もある。
（実施例）
本発明のプローブ針の一実施例を第１図によって説明す
る。１０はアルミナ（ＡＩ！ｚ（）＋）より成る長さ４
０朋、幅１０龍、厚さ０．６鶴の誘電体基板で、この誘
電体基板１０上の長手方向に厚さ３μ、幅１５０μのＣ
Ｉ！より成る伝送線路１１が２００μの間隔を存して３
列平行に設けられている。各伝送線路１１上の先端部に
ば球径６０μのＰ ｄ−ＲｕｌＯｗｔ％より成る金属球
１２が−・個づつ半田付げされていて、この金属球１２
が接触部となっている。
る。１０はアルミナ（ＡＩ！ｚ（）＋）より成る長さ４
０朋、幅１０龍、厚さ０．６鶴の誘電体基板で、この誘
電体基板１０上の長手方向に厚さ３μ、幅１５０μのＣ
Ｉ！より成る伝送線路１１が２００μの間隔を存して３
列平行に設けられている。各伝送線路１１上の先端部に
ば球径６０μのＰ ｄ−ＲｕｌＯｗｔ％より成る金属球
１２が−・個づつ半田付げされていて、この金属球１２
が接触部となっている。
第２図に示す他の実施例は、第１図？こ示される各伝送
線路１１−１−の先端部に、金属球１２を３個づつ半田
付けしたものである。
線路１１−１−の先端部に、金属球１２を３個づつ半田
付けしたものである。
第３図に示す他の実施例は、第１図に示される各伝送線
路１１上の先端部に、球径６０μのＡｕより成る中空の
金属球１２′を一個づつ半田付けしたものである。
路１１上の先端部に、球径６０μのＡｕより成る中空の
金属球１２′を一個づつ半田付けしたものである。
上述の如く構成された実施例のプローブ針１３．１３’
、１３“は、誘電体基板１０１−に伝送線路１１が３列
平行に設けられているので、伝送線路１１はストリップ
線路構造となっていて、伝送線路１１の特性インピーダ
ンスには変化は無く、どの部分でも一定である。そこで
、実施例のプローブ針本例ではプローブ針１３を第４図
に示す如く、計測器７のＸ、ＹＸＺ軸方向に移動可能な
アーム８にセットし、ウェーハ１上のＩＣ，ＬＳＩ等の
バッド２に接触させて、電気的特性を測定した処、高周
波数領域で、本例では３０ＧＨ２の高周波数で正確に電
気的特性測定ができた。また、この測定を繰り返し行っ
ても、各伝送線路１１上の先端部には金属球１２或いは
中空の金属球１２′を取付けて接触部としているので、
伝送線路１１の消耗が無く、しかも金属球１２、中空の
金属球１２′は弾性変形が可能であるので、前記電気的
特性測定において、測定するウェーハ１上のＩＣ，ＬＳ
Ｉ等のパッド２との接触が確実となり、且つ安定する。
、１３“は、誘電体基板１０１−に伝送線路１１が３列
平行に設けられているので、伝送線路１１はストリップ
線路構造となっていて、伝送線路１１の特性インピーダ
ンスには変化は無く、どの部分でも一定である。そこで
、実施例のプローブ針本例ではプローブ針１３を第４図
に示す如く、計測器７のＸ、ＹＸＺ軸方向に移動可能な
アーム８にセットし、ウェーハ１上のＩＣ，ＬＳＩ等の
バッド２に接触させて、電気的特性を測定した処、高周
波数領域で、本例では３０ＧＨ２の高周波数で正確に電
気的特性測定ができた。また、この測定を繰り返し行っ
ても、各伝送線路１１上の先端部には金属球１２或いは
中空の金属球１２′を取付けて接触部としているので、
伝送線路１１の消耗が無く、しかも金属球１２、中空の
金属球１２′は弾性変形が可能であるので、前記電気的
特性測定において、測定するウェーハ１上のＩＣ，ＬＳ
Ｉ等のパッド２との接触が確実となり、且つ安定する。
尚、上記実施例のプローブ針１３．１３’、１３“の誘
電体基板は、アルミナより成るが石英でも良いものであ
る。また伝送線路１１の表面にはＡｕめっきを施しても
良いものである。さらに、金属球はＰｄ−Ｒｕ、Ａｕに
限るものでは無く、Ｃｕ等導電性材料ならばいかなるも
のでも良い。また金属球１２．１２′を伝送線路１１上
に接合する手段は半田付けに限るものではなく、溶接で
も良いものである。然して上記実施例では伝送線路１１
が３列であるが、これに限るものではなく、２列以上何
列でも良いもので、数１０列、数１００列等の場合もあ
る。
電体基板は、アルミナより成るが石英でも良いものであ
る。また伝送線路１１の表面にはＡｕめっきを施しても
良いものである。さらに、金属球はＰｄ−Ｒｕ、Ａｕに
限るものでは無く、Ｃｕ等導電性材料ならばいかなるも
のでも良い。また金属球１２．１２′を伝送線路１１上
に接合する手段は半田付けに限るものではなく、溶接で
も良いものである。然して上記実施例では伝送線路１１
が３列であるが、これに限るものではなく、２列以上何
列でも良いもので、数１０列、数１００列等の場合もあ
る。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明のプローブ針は、誘電体
基板」二に、伝送線路を複数列平行に設けたもので、伝
送線路はストリップ線路構造となっている。従って、特
性インピーダンスの設定を安定化させることができ、ま
た各伝送線路はどの部分でも特性インピーダンスを一定
化でき、さらに複数列の伝送線路によって多端子化が実
現できる。
基板」二に、伝送線路を複数列平行に設けたもので、伝
送線路はストリップ線路構造となっている。従って、特
性インピーダンスの設定を安定化させることができ、ま
た各伝送線路はどの部分でも特性インピーダンスを一定
化でき、さらに複数列の伝送線路によって多端子化が実
現できる。
その上、本発明のプローブ針は、複数の伝送線路上の先
端部に金属球又は中空の金属球を取付けて接触部として
いるので、測定物と接触した際、各伝送線路の接触部は
塑性変形成いは弾性変形して、確実に安定して接触する
。しかも測定を繰り返し行っても伝送線路の消耗が無い
ので、特性インピーダンスの変化が無く、正確な測定が
可能である。
端部に金属球又は中空の金属球を取付けて接触部として
いるので、測定物と接触した際、各伝送線路の接触部は
塑性変形成いは弾性変形して、確実に安定して接触する
。しかも測定を繰り返し行っても伝送線路の消耗が無い
ので、特性インピーダンスの変化が無く、正確な測定が
可能である。
かくして、高密度、高速化されるウェーバートのＩＣ，
ＬＳＩ等の高周波数領域での電気的特性の測定を正確、
確実に且つ安定して行うことができる。
ＬＳＩ等の高周波数領域での電気的特性の測定を正確、
確実に且つ安定して行うことができる。
第１図乃至第３図は夫々本発明のプローブ針の実施例を
示す斜視図、第４図は第１図のプローブ針の使用状態を
示す概略図、第５図は従来の同軸型プローブ針の斜視図
、第６図は第５図の同軸型プローブ針の使用状態を示す
概略図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 １３″・・・フ１０−フ１咋 第５図
示す斜視図、第４図は第１図のプローブ針の使用状態を
示す概略図、第５図は従来の同軸型プローブ針の斜視図
、第６図は第５図の同軸型プローブ針の使用状態を示す
概略図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 １３″・・・フ１０−フ１咋 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）誘電体基板上に、伝送線路を複数列平行に設け、こ
の各伝送線路上の先端部に金属球を接合して接触部を設
けた半導体ウェーハの電気的特性測定用プローブ針。 ２）金属球が中空体であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の半導体ウェーハの電気的特性測定用プ
ローブ針。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2838686A JPS62186543A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2838686A JPS62186543A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186543A true JPS62186543A (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=12247217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2838686A Pending JPS62186543A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186543A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5710572A (en) * | 1980-06-23 | 1982-01-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Scanning device for facsimile, etc. |
| JPS60260861A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Hitachi Ltd | プロ−ブ |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP2838686A patent/JPS62186543A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5710572A (en) * | 1980-06-23 | 1982-01-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Scanning device for facsimile, etc. |
| JPS60260861A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Hitachi Ltd | プロ−ブ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60260861A (ja) | プロ−ブ | |
| JPS6341041A (ja) | 半導体装置 | |
| CN113514674B (zh) | 电连接装置和检查方法 | |
| JP3677027B2 (ja) | 接続装置 | |
| JPH01147374A (ja) | マイクロプローバ | |
| JPH01128535A (ja) | 半導体素子測定用プローブ | |
| JP3249865B2 (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
| JPS62238633A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JP2000065862A (ja) | 接続装置およびその製造方法 | |
| JPH03205843A (ja) | プローブ装置 | |
| JPS62186542A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JP3446636B2 (ja) | コンタクトプローブ及びプローブ装置 | |
| JPS62177455A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JPH02290564A (ja) | プローブヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS62177454A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JP2816695B2 (ja) | 固定プローブボード | |
| JPS59208469A (ja) | プロ−ブカ−ド | |
| JPH04288847A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JP2980952B2 (ja) | プローブボード | |
| JPS62186544A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JPH0690222B2 (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JPS62199025A (ja) | 半導体ウエ−ハの電気的特性測定用プロ−ブ針 | |
| JPH09115970A (ja) | プローブカード | |
| JPH0365657A (ja) | プローブ装置 | |
| JPH02210269A (ja) | プローブ装置 |