JPS62186545A - 半導体ウエハの位置合せ法 - Google Patents
半導体ウエハの位置合せ法Info
- Publication number
- JPS62186545A JPS62186545A JP2948386A JP2948386A JPS62186545A JP S62186545 A JPS62186545 A JP S62186545A JP 2948386 A JP2948386 A JP 2948386A JP 2948386 A JP2948386 A JP 2948386A JP S62186545 A JPS62186545 A JP S62186545A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- alignment
- movable pieces
- orientation flat
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は外周部に位置合せ用の切欠き部を有する半導体
ウェハの位置合せ法に関するものである。
ウェハの位置合せ法に関するものである。
〈従来技術及びその問題点〉
半導体ウェハは、円柱状のインゴット側面にインゴｌト
の軸と平行な平面状の切欠きを作成した後にインゴット
の軸と垂直方向にインゴットをスライスすることにより
作成され、その後のホトレジスト処理工程等の位置決め
にはこの直線状の切欠き、すなわちオリエンテーション
フラットが基準として使用される。
の軸と平行な平面状の切欠きを作成した後にインゴット
の軸と垂直方向にインゴットをスライスすることにより
作成され、その後のホトレジスト処理工程等の位置決め
にはこの直線状の切欠き、すなわちオリエンテーション
フラットが基準として使用される。
従来、オリエンテーシ言ンフラットを使用したウェハの
位置合せは、ウェハの側面に基準面または基準点を接触
させることによりウェハの側面と平行方向の位置合せを
行う手段と、ウェハ中心の近傍でウェハに垂直な軸を回
転軸としてウェハを回転させることＫよりウェハの中心
軸まわりの方向の位置合せを行う手段とにより行われて
いる。
位置合せは、ウェハの側面に基準面または基準点を接触
させることによりウェハの側面と平行方向の位置合せを
行う手段と、ウェハ中心の近傍でウェハに垂直な軸を回
転軸としてウェハを回転させることＫよりウェハの中心
軸まわりの方向の位置合せを行う手段とにより行われて
いる。
しかし、このような方法でウェハ表面と平行方向の位置
合せを行うと、ウェハの直径の差異のためウェハ側面と
基準面または基準点の形状が適合せス、シかもオリエン
テーションフラットが基準面または基準点と接触する場
合にはウェハ表面と平行方向の位置合せに誤差が生ずる
という問題があった。
合せを行うと、ウェハの直径の差異のためウェハ側面と
基準面または基準点の形状が適合せス、シかもオリエン
テーションフラットが基準面または基準点と接触する場
合にはウェハ表面と平行方向の位置合せに誤差が生ずる
という問題があった。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明はこの問題を解決するためになされたもので、外
周部に位置合せ用の切欠き部を有する半導体ウェハの位
置合せ法において、ウェハの側面に基準面または基準点
を接触させる第一位置合せ手段と、ウェハの中心または
その近傍でオリエンテーションフラットの方向が特定方
向となるようにウェハを回転させる第一回転手段と、ウ
エノ・の側面に基準面または基蕩点を接触させウェハ表
面と平行方向の位置合せを行う第二位置合せ手段と、ウ
ェハをウェハの中心またはその近傍で回転させて送り出
し方向を設定する第二回転手段とからなることを特徴と
するものである。
周部に位置合せ用の切欠き部を有する半導体ウェハの位
置合せ法において、ウェハの側面に基準面または基準点
を接触させる第一位置合せ手段と、ウェハの中心または
その近傍でオリエンテーションフラットの方向が特定方
向となるようにウェハを回転させる第一回転手段と、ウ
エノ・の側面に基準面または基蕩点を接触させウェハ表
面と平行方向の位置合せを行う第二位置合せ手段と、ウ
ェハをウェハの中心またはその近傍で回転させて送り出
し方向を設定する第二回転手段とからなることを特徴と
するものである。
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
〈実施例〉
（１）図示省略した移動用ベルト等の機械的方法で搬送
し、第１図に示すようにウエノ・１を回転可能な真空チ
ャック２の上に水平に保持する。
し、第１図に示すようにウエノ・１を回転可能な真空チ
ャック２の上に水平に保持する。
（２）端面に所定の円弧状切欠きＲ、Ｒ’を有し、真空
チャック２０回転軸を基準として互いに面対称であり、
互いに逆方向に等量に移動する可動片４゜５を、第２図
に示すようにウエノ・１を挾む方向に移動させ、それぞ
れの円弧状の切欠き部Ｒ、Ｒ’をウェハ１と接触させて
第一位置合せ手段を終了する。
チャック２０回転軸を基準として互いに面対称であり、
互いに逆方向に等量に移動する可動片４゜５を、第２図
に示すようにウエノ・１を挾む方向に移動させ、それぞ
れの円弧状の切欠き部Ｒ、Ｒ’をウェハ１と接触させて
第一位置合せ手段を終了する。
（３）ウェハ１を真空吸引により真空チャック２の上に
固着させた後に可動片４，５を上記（２）の場合と逆方
向に移動させた後、第２図のオリエンテーションフラッ
トＢＣが第３図のＢＣに移動し、オリエンテーションフ
ラット検出用の光電素子の如き検知体３によりオリエン
テーションフラットが検出されるまで真空チャック２を
回転させて第一回転手段を終了する。
固着させた後に可動片４，５を上記（２）の場合と逆方
向に移動させた後、第２図のオリエンテーションフラッ
トＢＣが第３図のＢＣに移動し、オリエンテーションフ
ラット検出用の光電素子の如き検知体３によりオリエン
テーションフラットが検出されるまで真空チャック２を
回転させて第一回転手段を終了する。
（４）真空チャック２の真空吸引を停止した後に第３図
に示すように可動片４．５をウエノ・１を挾む方向に再
度移動させ可動片４，５それぞれの円弧状の切欠き部を
ウエノ・１と接触させて、ウエノ・１０表面と平行方向
の位置合せを行う縞二位置合せ手段を終了する。
に示すように可動片４．５をウエノ・１を挾む方向に再
度移動させ可動片４，５それぞれの円弧状の切欠き部を
ウエノ・１と接触させて、ウエノ・１０表面と平行方向
の位置合せを行う縞二位置合せ手段を終了する。
（５）そして、ウエノ・ｌを真空吸引により真空チャッ
ク２の上に固着させた後に可動片４，５を上記（４）の
場合と逆方向に移動させた後に真空チャック２を回転さ
せ、光電素子の如き検知体３がオリエンテーションフラ
ットを検出した時点のウエノ・１の位置を基準とし、送
り出し方向を設定して第二回転手段を終了する０ （６）このように送り出し方向が設定されたウエノ・１
は所定の搬送手段で次工程に搬出される。
ク２の上に固着させた後に可動片４，５を上記（４）の
場合と逆方向に移動させた後に真空チャック２を回転さ
せ、光電素子の如き検知体３がオリエンテーションフラ
ットを検出した時点のウエノ・１の位置を基準とし、送
り出し方向を設定して第二回転手段を終了する０ （６）このように送り出し方向が設定されたウエノ・１
は所定の搬送手段で次工程に搬出される。
〈効果〉
以上の実施例で説明したように、本発明の位置合せ法に
よれは下記の理由でウエノ・の位置合せ精度を高めるこ
とができる。
よれは下記の理由でウエノ・の位置合せ精度を高めるこ
とができる。
すなわち、第２図に示すように、オリエンテーシッンフ
ラソトが可動片５と接触する場合、ウェハ１は点Ａで可
動片４と接触し、点Ｂ１点Ｃで可動片５と接触Ｌ１ウエ
ノ・１の中心のは本来の中心位置よりも右側にずれ、位
置合せに誤差を生ずるが、さらにウェハを回転させて第
３図に示すようニ、オリエンテーシッンフラソトが可動
片４．５と接触しないように即ちウエノ・１をウエノ・
１の円弧部で可動片４．５と接触させることによって、
ウェハ１の中心σを本来の中心位置と一致させることが
できる。その後ウエノ・ｌを設定した方向に回転して、
目的とする方向で次工程に送り出すことができるので、
決められた位置でウエノ・１を供給できる。
ラソトが可動片５と接触する場合、ウェハ１は点Ａで可
動片４と接触し、点Ｂ１点Ｃで可動片５と接触Ｌ１ウエ
ノ・１の中心のは本来の中心位置よりも右側にずれ、位
置合せに誤差を生ずるが、さらにウェハを回転させて第
３図に示すようニ、オリエンテーシッンフラソトが可動
片４．５と接触しないように即ちウエノ・１をウエノ・
１の円弧部で可動片４．５と接触させることによって、
ウェハ１の中心σを本来の中心位置と一致させることが
できる。その後ウエノ・ｌを設定した方向に回転して、
目的とする方向で次工程に送り出すことができるので、
決められた位置でウエノ・１を供給できる。
本発明は上記実施例以外に下記のような実施態様を有す
る。
る。
（１１実施例において、可動片として円弧状の切欠き部
を設けた板状のものを示したが、たとえばビン等であっ
てもよく、要はウエノ・１を挾むことによりウェハ１と
真空チャック２の相対位置関係が決定できるものであれ
ばよい。
を設けた板状のものを示したが、たとえばビン等であっ
てもよく、要はウエノ・１を挾むことによりウェハ１と
真空チャック２の相対位置関係が決定できるものであれ
ばよい。
（２）また、ウエノ・１と真空チャ、ツク２の相対位置
関係を決定するためには実施例で使用した移動する可動
片以外に、固定した基準面あるいは基準点を使用しても
よい。たとえば、移動ベルト等の機械的方法でウェハ１
を移動させ、固定した基準面あるいは基準点にウエノ・
１を接触させ、ウエノ・１と真空チャック２の相対位置
関係を決定すればよい。
関係を決定するためには実施例で使用した移動する可動
片以外に、固定した基準面あるいは基準点を使用しても
よい。たとえば、移動ベルト等の機械的方法でウェハ１
を移動させ、固定した基準面あるいは基準点にウエノ・
１を接触させ、ウエノ・１と真空チャック２の相対位置
関係を決定すればよい。
（３）検知体３の位置は図示するもの以外に、オリエン
テーションフラットを検出できる位置であればよく、そ
の検出した時点のウェハｌの位置を基準とし、そこから
特定角度だけ真空チャック２を回転させて、ウェハ１を
第３図の位置まで補正してもよい。
テーションフラットを検出できる位置であればよく、そ
の検出した時点のウェハｌの位置を基準とし、そこから
特定角度だけ真空チャック２を回転させて、ウェハ１を
第３図の位置まで補正してもよい。
以上のように本発明は、ウェハ位置合せの誤差を減少さ
せるのに有効である。
せるのに有効である。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は装置の斜面図、
第２図、第３図は平面図である。 １・・・ウェハ、２・・・真空チャック、３・・・検知
体、４．５・・・可動片。
第２図、第３図は平面図である。 １・・・ウェハ、２・・・真空チャック、３・・・検知
体、４．５・・・可動片。
Claims (1)
- 外周部に位置合せ用の切欠き部を有する半導体ウェハの
位置合せ法において、ウェハの側面に基準面または基準
点を接触させる第一位置合せ手段と、ウェハの中心また
はその近傍でオリエンテーションフラットの方向が特定
方向となるようにウェハを回転させる第一回転手段と、
ウェハの側面に基準面または基準点を接触させウェハ表
面と平行方向の位置合せを行う第二位置合せ手段と、ウ
ェハをウェハの中心またはその近傍で回転させて送り出
し方向を設定する第二回転手段とからなることを特徴と
する上記の位置合せ法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2948386A JPS62186545A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエハの位置合せ法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2948386A JPS62186545A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエハの位置合せ法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186545A true JPS62186545A (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=12277326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2948386A Pending JPS62186545A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 半導体ウエハの位置合せ法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186545A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01232405A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 多機能端末装置 |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP2948386A patent/JPS62186545A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01232405A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 多機能端末装置 |
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