JPS62186834U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
その裏面部分を分解して示す図、第３図は本考案
をイオン注入装置のエンドステーシヨンに用いた
例を示す斜視図である。 １……フオーク本体、２……段部、３……爪部
、４……浅溝、５……吸気通路、６……透孔、７
，８……段付溝、９……段部、１０……カバー、
１１……吸気孔、１２……連絡口、１３……イン
プラントチヤンバー、１４……予備真空室、１５
……ウエハ搬送装置、１６……エレベーター装置
、１７……カセツト、１８……位置決め装置、１
９……ウエハ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 少くともウエハ搭載面部分が低く形成された平
   板状のフオーク本体と、このフオーク本体のウエ
   ハ搭載面側に延長して形成された浅溝と、この浅
   溝を気密封止する如くカバーを設けて構成された
   吸気通路と、該吸気通路の上記ウエハ搭載部に設
   けられた吸気孔と、上記吸気通路の少くとも一端
   が連結された吸気装置とを具備して成るウエハ搬
   送装置。