JPS62190448A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、部品が実装された被検査基板を撮像して得ら
れる像を処理して館記被検査基板上の部品の有無１位置
ずれ等を検査する部品実装基板の検査装置に関する。

（従来の技術） プリント基板に抵抗器や半導体素子等の各種チップ部品
をマウントするときにおいて自動マウント装置を用いた
場合、マウント後においてマウントデータどうりに部品
がマウントされていないことがある。

このため、このような自動マウント装置等を用いる場合
には、マウント後にプリント基板をチェックして、この
プリント基板上の正規の位置に正当なチップ部品が正し
い姿勢（位置、方向）でマウントされているかどうか、
また脱落がないかどうかを検査する必要がある。

しかしこのような検査を従来と同じように人手による目
視検査で行なっていたのでは、検査ミスの発生を完全に
無くすことができず、また検査速度を高めることができ
ないという問題がある。

そこで、近年、この種の検査を自動的に行なうことがで
きるプリント基板の自動検Ｉｉ装誼が各メ−力から種々
提案されている。

第７図は、このような自動検査装置の一例を示すブロッ
ク図である。

この図に示す自動検査装置は、部品１が実装された被検
査プリント基板２−２を搬像するＴＶカメラ３と、キー
ボード８から入力されたデータ、つまり第８図に示すよ
うに基準基板となる基準プリント基板２−１の種類等に
関するデータおよびこの基準プリント基板２−１上に載
っている各部品１の配匠位雪、取付は姿勢、形状１色９
反射率等に関するデータおよびこれらの各部品１の検査
処理手順等に関する情報（データ）を記憶する記憶部４
と、この記憶部４に記憶されている情報と前記ＴＶカメ
ラ３からの画像によって示される情報とを比較して前記
被検査プリント基板２−２上に全ての部品１が有るかど
うか、またこれらの部品１が位置ずれ等を起こしている
かどうかを判定する判定回路５と、この判定回路５の判
定結果を表示する表示器６とを備えて構成されている。

そしてこの自動検査装置を使用する場合、被検査プリン
ト基板２−２の検査に先立ち、まず素基板７上に各部品
１が正しく載っている基準プリント基板２−１に関する
データをキーボード８から入力（ティーチング）する。

この場合、第９図のフローチャートで示す如く、このテ
ィーチング動作ではステップＳＴＩでキーボード８から
基準プリント基板２−１のカードナンバが入力される。

次いで、ステップＳＴ２でキーボード８からこの基準プ
リント基板２−１に載っている部品１の位置、形状、特
徴（この部品１の色１反銅率等の情報）および処理手順
（例えば、部品の画像を２値化するときの基準となる２
値化閾値、抽出パラメータの種類など）に関する数値デ
ータが入力される。

次いで、ステップＳＴ３で全ての部品１に関する数値デ
ータが入力されたかどうかがチェックされ、もしまだ数
値データが入力されていない部品があれば、このステッ
プＳＴ３から前記ステップＳＴ２へ戻って残りの部品に
Ｉ！！　・Ｊる数値データ入力が繰り返し実行される。

そして、全ての部品１についてデータ入力が終了すれば
、ステップＳＴ４でこれらの数値データが記憶部４に記
憶される。

また、被検査プリント基板２−２の検査時においては、
前記ＴＶカメラ３によって撮像された被検査プリント基
板２−２の画像を記憶部４に記憶されている処理手順で
処理し、これによって得られる数値データと前記記憶部
４が出力する部品１の位置、形状、特徴等に関する数値
データとが判定回路５によって比較され、この比較結果
が表示器６上に表示される。

そして、前記ＴＶカメラ３によって撮像された被検査プ
リント基板２−２のある部品が欠落していれば、前記Ｔ
Ｖカメラ３が出力する画像に基づいて得られる数値デー
タと、前記記憶部４が出力する数値データとが一致しな
くなり、判定回路５がこれを検知して、欠落している部
品を表示器６上に表示する。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながらこのような従来の自動検査装置においては
、判定基準となる数値データの数を多くして検査精度を
高くしようとすれば、ティーチング時において、キーボ
ード８から入力しなければならないデータ数が増大し、
これを入力するのに、多大な時間と労力が必要になると
いう問題がある。

また、処理手順の数値データ（例えば、２値化閾値など
）等のように、基準プリント基板２−１の画像を処理し
て得るものについては、ティーチングに先だってこの数
値データを予め抽出しておかなければならず、作業の容
易化、迅速化を計ることができない。

またこの種のデータ抽出作業は基準プリント基板２−１
の画像を処理して得られた数値分子ｌｉを児ただけで、
この数値分布から直観的に解るものではないため、かな
り高度な技術力を有する作業者でなければ、各部品１に
対応する２値化閾領等のデータを抽出することができな
いという問題があった。

本発明は上記の事情に鑑み、検査粘度を高めながらキー
ボードから入力される数値データの数を減らすことがで
きるとともに、７１７′リント基板上に載せられている
各部品の２値化閾値データなども容易にティーチングす
ることができる部品実装基板の検査装置を提供すること
を目的としている。

（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決するため本発明による部品実装基板の
検査装置においては、部品が実装された被検査基板を撮
像して得られる像を処理して前記被検査基板上の部品を
検査する部品実装基板の検査装置において、前記被検査
基板上に載せられる部品の基準データを部品毎に予め記
憶している辞書部と、前記被検査基板上に実装される部
品の位置１種類に応じて前記辞書部から部品の基準デー
タを読み出して基準基板情報を作成する制御部と、前記
基準基板情報と前記被検査基板をＩＳ像して得られた被
検査情報とに基づいて前記被検査基板上の部品を検査す
る判定部とを備えたことを特徴としている。

（実施例） 第１図は、この発明による部品実装基板の検査装置の一
実施例を示すブロック図である。

この図に示す部品実装基板の検査装置は、基準プリント
基板１６−１に載せられている各部品１９−１〜１つ−
ｎの位置データと、種類データとをキー人力すれば、こ
れらの種類データに基づいて辞書部３５から各部品１９
−１〜２８−ｎに関する形状データＤ３と、チップサイ
ズデータＤ４と、２値化閾値Ｄ５とが読み出されて処理
テーブル３７（第５図参照）が作成され、この処理テー
ブル３７と、キー人力された処理手順とに基づき前記基
準プリント基板１６−１（または被検査プリント基板１
６−２）の画像が処理されてパラメータが抽出されるよ
うに構成されたものであり、Ｘ−Ｙテーブル部１０と、
撮像部１１と、処理部１２と、判定結果出力部２６と、
情報入力部２７と、テーブルコントローラ２９と、撮像
コントローラ３０とを備えている。

Ｘ−Ｙテーブル部１０は、テーブルコントローラ２９に
よって制御される２つのパルスモータ１３．１４と、こ
れらの各パルスモータ１３゜１４によってＸ軸方向およ
びＹ軸方向に駆動されるテーブル１５と、このテーブル
１５上に載せられた基準プリント基板１６−１または被
検査プリント基板１６−２を固定するチャック機構１７
とを備えており、前記テーブル１５上に載せられた基準
プリント基板１６−１（もしくは被検査プリント基板１
６−２）は前記チャック１１１Ｍ１７によって固定され
た後、前記各パルスモータ１３゜１４によってＸ軸方向
およびＹ軸方向の位置が決められ、ｍ像部１１によって
ｍｅされる。

この場合、基準プリント基板１６−１上には、第２図に
示す如く素基板１８上に部品１９−１〜１９−ｎが正し
い位置で、かつ正しい姿勢で載せられている。

また、前記被検査プリント基板１６−２は、前記基準プ
リント基板１６−１上の部品１つ−１〜１９−ｎと同じ
くなるように、部品が配置されたｌ産基板である。

また撮像部１１は、前記Ｘ−Ｙテーブル部１０の上方に
配置され、前記撮像コントローラ３０が出力する制御信
号によってそのピント、倍率、感度等が制御されるＴＶ
カメラ２０と、このＴＶカメラ２０に対して同軸的に配
置され、前記ＩＩ像コントローラ３０が出力する制御信
号によってその明るさ等が制御されるリング照明装置２
１とを備えて構成されており、前記ＴＶカメラ２０によ
って得られた画像信号（アナログ信号）は処理部１２へ
供給される。

また、情報入力部２７は、基準プリント基板１６−１の
種類（例えば、基板ナンバ等）およびこの基準プリント
基板１６−１に載っている部品１９−１〜１９−ｎの種
類１部品数１位置等に関するデータや処理手順（例えば
、パラメータを抽出するときの手順）等の操作情報など
を入力するためのキーボードやマウスとを備え、さらに
入力したデータや操作情報などを確認すためのモニタ。

プリンタ等を備えて構成されるものであり、ここから入
力されたデータや操作情報などは処理部１２へ供給され
る。

処理部１２は、画像入力部２２と、画像処理部２３と、
メモリ２４と、判定部２５と、制御部２８と、辞書部３
５とを備え、ティーチングモードのときに、前記情報入
力部２７から供給される部品１９−１〜１９−ｎの種類
データを用いて前記辞書部３５の部品辞８３６（第３図
参照）から各部品１９−１〜１９−ｎの形状データＤ３
と、チップサイズデータＤ４と、２値化閾値データＤ５
とを読み出して、前記形状データＤ３と、チップサイズ
データＤ４とから第４図に示すようなウィンド３１−１
〜３１−ｎを作成するとともに、前記情報入力部２７か
ら供給される位置データと、前記各部品１９−１〜１９
−ｎに対するウィンド３１−１〜３１−ｎと、２値化１
１１１１１［データＤ５とを対応させた処理データ３７
（第５図参照）を作成した後、この処理テーブル３７お
よび前記情報入力部２７から供給される処理手順などを
用いて、前記躍像部１１から供給される基準プリント基
板１６−１の画像信号を処理して各部品１９−１〜１９
−ｎのパラメータ（基準パラメータ）を抽出して記憶す
る。またこの処理部１２は、検査モードのときに、前記
処理テーブル３７と！２！１理手順などとを用いて前記
撮像部１１から供給される被検査プリント基板１６−２
の画像信号を処理し、これによって各部品１９−１〜１
９−ｎの検査パラメータを抽出するとともに、この検査
パラメータと前記基準パラメータとを比較して、この比
較結果から前記被検査プリント基板１６−２の良否を判
定して、これを判定結果出力部２６に表示させる。

この場合、ｌｙｌ記画像画像入力部２２前記撮像部１１
から供給された画像信号をＡ／Ｄ変換したり、各種の補
正処理（例えば、シェーディング補正など）をしたりし
て、前記基準プリント基板１６−１、被検査プリント基
板１６−２の画像データ（画像信号を補正して担子化し
たデータ）を作成するものであり、ここで得られた前記
基準プリント基板１６−１、被検査プリント基板１６−
２に関する画像データは前記制御部２８などへ供給され
る。

辞書部３５は、第３図に示す如く検査対象となる全ての
部品に関するメーカデータＤｌ、型式データＤ２．部品
形状データＤ３．チップサイズデータＤ・４．２値化Ｉ
ＩＷ１データＤ５等が記された部品辞書３６を備えてお
り、前記制御部２８などからデータ要求信号を供給され
たときに、前記部品辞書３６からこのデータ要求信号で
要求されるデータを読み出して、これを前記制御部２８
などへ供給する。

また、画像処理部２３は、前記制御部２８から供給され
る処理手順、処理テーブル３７などに基づいて、ティー
チングモードのときには前記６１１１１１部２８を介し
て供給される前記基準プリント基板１６−１の画像デー
タから各部品１９−１〜１９−ｎのパラメータ（基準パ
ラメータ）を抽出し、また検査モードのときには、前記
制御部２８を介して供給される前記被検査プリント基板
１６−２の画像データから前記被検査プリント基板１６
−２上にある部品１９−１〜１つ−ｎのパラメータ（被
検査パラメータ）を抽出するものであり、ここで得られ
た前記基準プリント基板１６−１（または、被検査プリ
ント基板１６−２）に関する各パラメータは前記制御部
２８や判定部２５などへ供給される。

またメモリ２４は前記制御部２８から前記基準プリント
基板１６−１の画像データ、この基準プリント基ｔＦｉ
１６−１上にある各部品１９−１〜１９−ｎのパラメー
タ（基準パラメータ）１位置データ、種類データや処理
手順、処理テーブル３７などを供給されたときに、これ
らを記憶するものであり、前配制ｍ＋部２８から転送要
求があったときに、この基準パラメータなどを前記画＠
処理部２３や前記判定部２５などへ供給する。

判定部２５は、検査モードのときに前記メモリ２４が出
力する前記基準パラメータと、前記制御部２８を介して
供給される画像処理部２３で得られた被検査パラメータ
とを比較して、前記被検査プリント基板１６−２の部品
１９−１〜１９−ｎが脱落しているかどうか、お１．び
これらの部品１９−１〜１９−ｎが姿勢ずれを起こして
いるかどうかなどを判定するものであり、この判定結果
は前記制御部２８などへ供給される。

制御部２８は、面像情報入力部２７から入力された各部
品１９−１〜１９−ｎの種類データに基づいて前記辞書
部３５から部品形状データＤ３と、チップサイズデータ
Ｄ４と、２値化閾値データＤ５とを読み出すとともに、
これらの部品形状データＤ３と、チップサイズデータＤ
４とに基づいてウィンド３１−１〜３１−ｎを作成し、
この後前記情報入力部２７から入力された各部品１９−
１〜１９−ｎの位置データと、前記ウィンド３１−１〜
３１−ｎと、２値化閾値データＤ５とを対応させた処理
テーブル３７（第４図参照）を作成したり、前記画像入
力部２２と、画像処理部２３と、メモリ２４と、判定部
２５と、辞書部３５をυ制御してこれらをティーチング
モードで動作させたり、検査モードで動作させたりする
ものであり、これら各モードのときに得られたデータ、
処理テーブル３７などは画像処理部２３や定結果出力部
２６などへ供給される。

判定結果出力部２６はＣＲＴ（ブラウン管表示器）やプ
リンタ等を備えて構成されるものであり、前記制御部２
８から基準パラメータや検査パラメータを供給されたり
、Ｌ４準プリント基板１６−１゜検査プリント基板１６
−２の画像データを供給されたり、判定結果を供給され
たりしたときにこれを表示したり、プリントアウトした
りする。

また、テーブルコントローラ２９は前記制御部２８と前
記Ｘ−Ｙテーブル部１０とを接続するインターフェース
等を備えて構成されるものであり、前記Ｘ−Ｙテーブル
部１０で得られたデータを前記制御部２８へ供給したり
、前記制御部２８から供給される制御信号に基づいて前
記Ｘ−Ｙテーブル部１０を制御したりする。

また、ｒｉｍコントローラ３０は前記制御部２８と前記
′＠像部１１とを接続するインターフェース等を備えて
構成されるものであり、前記制御部２８から供給される
制御信号に基づいて前記搬像部１１を制御したりする。

次に、この実施例の動作をティーチングモードと検査モ
ードとに分けて説明する。

まず、ティーチングモードにおいては第６図（Ａ）で示
されるフローチャートのステップＳＴ５が実行されて装
置各部がティーチングモードにされるとともにステップ
ＳＴ６で情報入力部２７からｌｌプリント桔根板６−１
の基板ナンバと、この基準プリント基板１６−１上に載
せられている各部品１９−１〜１９−ｎの位置データ、
種類データ（メーカ名と、型式名）と、処理手順等とが
入力される。

ぞしてこれらの各データが入力されれば、制御部２８は
ステップＳＴ７でまず前記処理手順などをメモリ２４に
配憶させる。この優、制御部２８はステップＳＴ８で辞
閃部３５から前記各部品１９−１〜１つ一〇の種類デー
タに、各々対応する部品形状データＤ３と、チップサイ
ズＤ４と、２値化ｌ３１ｖ＋データ［）５とを読み出す
とともに、これらの各部品形状データＤ３と、各チップ
サイズデータＤ４とからウィンド３１−１〜３１−ｎを
作成し、この侵ステップＳＴ９でこのウィンド３１−１
〜３１−ｎと、前記各部品１９−１〜１９−ｎの位置デ
ータと、各２値化閾値データＤ５とから第４図に示すよ
うな処理テーブル３７を作成し、これを前記メモリ２４
に記憶させる。この侵、ｌｌｌ制御部２８はステップ５
Ｔ１０でこのメモリ２４から前記処理テーブル３７と処
理手順とを読み出して、これを画像処理部２３へ供給す
る。

この場合、前記処理テーブル３７にある各ウィンド３１
−１〜３１−ｎは第４図に示す如く、各部品１９−１〜
１９−ｎに外接したり、１．５　ｎｎ＋程度外側を囲ん
だりするように作られる。

次いで、Ｘ−Ｙテーブル部１０のテーブル１５上に基準
プリント基板１６−１が載せられれば、制御部２８はス
テップ５Ｔ１１でチャック機構１７と、各パルスモータ
１３．１４と、リング照明装訂２１と、ＴＶカメラ２０
とを制御して、このＴＶカメラ２０に基準プリント基板
１６−１を組機させるとともに、画像入力部２２〜判定
部２５を制御して前記ＴＶカメラ２０によって得られた
前記基準プリント基板１６−１の画像信号を画像入力部
２２によって画像データに変換させ、ステップ５Ｔ１２
でこの変換結果（基準基板画像データ）を画像処理部２
３へ転送させ、パラメータ抽出ルーチン４０を実行させ
る。

このパラメータ抽出ルーチン４０では、画像処理部２３
は第６図（Ｂ）に示すステップ５Ｔ１２で前記処理テー
ブル３７の位置データ（Ｘｌ、Ｙ２）〜（Ｘｎ、Ｙｎ）
と、各ウィンド３１−１〜３１−ｎとを用いて前記基準
基板画像データから各部品１９−１〜１９−ｎ部分（部
品画像）を切り出す。

次いで、画像処理部２３は、ステップ５Ｔ１３で各部品
１９−１〜１９−ｎに対する２ｍ化＠釦データＤ５によ
って前記各部品画像を２１１１！化して、この後ステッ
プ５Ｔ１４でこの２１化結果からパラメータ（基準パラ
メータ）を抽出し、これを基準パラメータファイルとし
てまとめてメモリ２４に記憶させる。

また検査モードにおいては、制御部２８は第６図（Ｃ）
で示されるフローチャートのステップ５Ｔ１６を実行し
て装置各部を検査モードにした襖、ステップ５Ｔ１７で
前記メモリ２４に記憶されている処理テーブル３７と、
処理手順とを画像処理部２３へ転送させるとともに、前
記メモリ２４に記憶されている基準パラメータファイル
を判定部２５へ転送させる。

次いで、Ｘ−Ｙテーブル部１０のテーブル１５上に被検
査プリント基板１６−２がｔぜられれば、υ制御部２８
は、ステップ５Ｔ１Ｂでヂャツク機構１７を動作させて
、この被検査プリント基板１６−２を固定させ、次いで
各パルスモータ１３゜１４を制御して、被検査プリント
基板１６−２のＸ軸方向位置およびＹ軸方向位置を決め
るとともに、リング照明装置２１の明るさおよびＴＶカ
メラ２０の踊像条ｆ′１′８を調整する。

次いで、制御部２８は、ステップ５Ｔ１９で前記ＴＶカ
メラ２０に被検査プリント基板１６−２を搬像させると
ともに、前記画像入力部２２を動作させて、前記ＴＶカ
メラ２０で得られた前記被検査プリント基板１６−２の
画像信号から画像デー、夕（被検査基板画像データ）を
作成させて、これを画像処理部２３へ転送させて、パラ
メータ抽出ルーチン４０−２を実行させる。

このパラメータ抽出ルーチン４０−２では、画像処理部
２３が前記パラメータ抽出ルーチン４０のときと、同様
に動作する。つまりこの場合、画像処理部２３は前記処
理テーブル３７の各位置データ（Ｘｌ、Ｙｌ）〜（Ｘｎ
、Ｙｎ）、各ウィンド３１−１〜３１−ｎに基づいて前
記被検査基板画像から各部品１９−１〜１９−〇の部品
画像を切り出すとともに、前記処理テーブル３７の各２
値化ＩＩＩｔａデータ（１）〜（ｎ）で示される各部品
１つ−１〜１９−ｎの２値化間値で前記各部品画像を２
１化する。この後、画像処理部２３はティーチング時に
用いた前記処理手順で前記２値化結果を処理して各部品
１９−１〜１つ−ｎのパラメータ（被検査パラメータ）
を抽出し、これを制御部２８へ供給する。

Ｌ’ｌ　ｔｉｌｌ　ｍ　２８４！　スＴ　ツＩ　Ｓ　Ｔ
　２０　テコレラ１１Ｅ　検１ｉパラメータをまとめて
、被検査パラメータファイルを作成させるとともに、こ
れを判定部２５へ転送させて、前記各部品１．９−１〜
１９−ｎに関する基準パラメータと比較さけて被検査プ
リン１〜塁板１６−２の部品が脱落しているかどうか、
およびこれらの部品が姿勢ずれを起こしているかどうか
などを判定させ、ステップ５Ｔ２１でこの判定結果を判
定結果出力部２６へ供給させて表示させる。

また上述した実施例においては、画像処理部２３や判定
部２５で画像の処理やパラメータの判定処理を行なうよ
うにしているが、これら画像処理部２３や判定部２５で
行う処理は、制御部２８のプログラムで行うようにして
も良い。

また上述した実施例においては、１つの部品に対して１
つのウィンドを設けているが、１つの部品であっても、
その各部分の特徴が異なるものについては、１つの部品
に対して複数のウィンドを設け、そのウィンド毎にパラ
メータを抽出するようにしても良い。

また上述した実施例においては、メーカデータＤｌと、
型式データＤ２と、部品形状データＤ３と、チップサイ
ズデータＤ４と、２値化閾値データＤ５とを備えた部品
辞書３７を使用しているが、他のデータ、例えば全ての
部品に関する基準パラメータ、処理手順等を備えた部品
辞書を使用するようにしても良い。

このようにすれば、情報入力部２７から基準プリント基
板１６−１上に載せられる部品１９−１〜１９−ｎの位
置データと、種類データとを入力するだけで、この基準
プリント基板１６−１に関する全てのデータを入力する
ことができる。

また上）ホした実施例においては、情報入力部２７から
部品１９−１〜１９−ｎの位置データを入力するように
しているが、素基板を白色に塗装し、かつ部品を黒色に
塗装したティーチング用の基板を用いて各部品１９−１
〜１９−ｎの位置データを入力するようにしても良い。

また−１−述した実施例においては、情報入力部２７か
ら部品１９−１〜１９−ｎの種類データを入力するよう
にしているが、基準プリント基板１６−１を作成すると
きに、ＣＡＤ　（コンピュータ・エイデド・デザイン）
等を用いた場合には、このＣＡＤ等から部品１つ−１〜
１９−〇の種類データを得るようにしても良い。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、検査粘度を高めな
がらキボードから入力する数値データの数を減らすこと
ができるとともに、基準プリント基板上に載せられてい
る各部品の２値化閾値等のデータをも容易にティーチン
グすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による部品実装基板の検査装置の一実
施例を示すブロック図、第２図はこの実施例で用いられ
る基準プリント基板の一例を示す平面図、第３図はこの
実施例で用いられる部品辞書の一例を示す模式図、第４
図はこの発明で用いられる部品辞磨の一例を示す模式図
、第５図は、この実施例で用いられる処理テーブルの一
例を示す模式図、第６図（Ａ）はこの実施例のティーチ
ング動作例を示すフローチＸ７．１＝、第６図（Ｂ）は
この実施例におけるティーチング動作でのパラメータ抽
出動作例を説明するためのフローチャーｈ、第６図（Ｃ
）はこの実施例における検査時の動作例を示すフローチ
ャート、第７図は従来の自動検査装置の一例を示すブロ
ック図、第８図はこの自動検査装置の検査基準となる基
準プリント基板の一例を示す側面図、第９図はこの自動
検査装置のティーチング動作例を示すフローチャートで
ある。 １１・・・撮像部、１２・・・処理部、１６−１・・・
基準基板（基準プリント基板）、１６−２・・・被検査
基板（被検査プリント基板）、１８・・・ｉＪｌ板、１
つ−１〜１９−ｎ・・・部品、２５・・・判定部、２８
・・・制御部、３５・・・辞書部。 特許出願人　　　立石電機株式会社 代理人　弁理士　岩０哲二（他１名） 第３図 第４図 第５図 第　６図（Ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 部品が実装された被検査基板を撮像して得られる像を処
   理して前記被検査基板上の部品を検査する部品実装基板
   の検査装置において、前記被検査基板上に載せられる部
   品の基準データを部品毎に予め記憶している辞書部と、
   前記被検査基板上に実装される部品の位置、種類に応じ
   て前記辞書部から部品の基準データを読み出して基準基
   板情報を作成する制御部と、前記基準基板情報と前記被
   検査基板を撮像して得られた被検査情報とに基づいて前
   記被検査基板上の部品を検査する判定部とを備えたこと
   を特徴とする部品実装基板の検査装置