JPS62196146A - セラミツクシ−ト積層体の圧着装置 - Google Patents
セラミツクシ−ト積層体の圧着装置Info
- Publication number
- JPS62196146A JPS62196146A JP61037998A JP3799886A JPS62196146A JP S62196146 A JPS62196146 A JP S62196146A JP 61037998 A JP61037998 A JP 61037998A JP 3799886 A JP3799886 A JP 3799886A JP S62196146 A JPS62196146 A JP S62196146A
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- JP
- Japan
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- laminate
- ceramic sheet
- vacuum
- sheet laminate
- film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子部品パッケージ用未焼成セラミックシート
積層体の熱圧着装置に関する。
積層体の熱圧着装置に関する。
（従来技術）
電子部品パンケージ用のセラミックシート積層品は、ア
ルミナ等の粉末にガラス化成分、可塑剤、樹脂等を配合
混練し、シート状にしたものを所定の形状に切断し、適
当な枚数だけ積層した状態で加熱しつつ加圧し、一体に
圧着したものを焼結して得られるが、第１図に示すよう
に、ある層が表面が抜けていて凹凸のある積層体では、
表面の平坦な上下の金型間で圧着したのでは各層を均一
に加圧できず、高品質の積層品が得られなかった。
ルミナ等の粉末にガラス化成分、可塑剤、樹脂等を配合
混練し、シート状にしたものを所定の形状に切断し、適
当な枚数だけ積層した状態で加熱しつつ加圧し、一体に
圧着したものを焼結して得られるが、第１図に示すよう
に、ある層が表面が抜けていて凹凸のある積層体では、
表面の平坦な上下の金型間で圧着したのでは各層を均一
に加圧できず、高品質の積層品が得られなかった。
これが対策として、例えば特公昭５５−２２９４０の積
層法では、第２図に示すように凹部を埋める弾性体０η
を挟んで凹部に対応して・凹部の側壁に遊合する程度の
面積を有する剛板体α榎を取付けた金型を使用している
。これらの方法は均等圧力を全体にかけようとしている
が、凹凸の何の面にも均一な圧力を加えることは容易で
なく、場所により加わる圧力が異なる結果、密度の不均
一が生じ、焼成後に寸法はづれ、反り等の不良品が発生
する。
層法では、第２図に示すように凹部を埋める弾性体０η
を挟んで凹部に対応して・凹部の側壁に遊合する程度の
面積を有する剛板体α榎を取付けた金型を使用している
。これらの方法は均等圧力を全体にかけようとしている
が、凹凸の何の面にも均一な圧力を加えることは容易で
なく、場所により加わる圧力が異なる結果、密度の不均
一が生じ、焼成後に寸法はづれ、反り等の不良品が発生
する。
この問題を解決するものに特公昭５７−２７８０２の方
法がある。この方法は未焼結のセラミックシートの積層
体を高圧容器内に設置し、該積層体の周囲を減圧すると
ともに加熱した状態でゴム膜を介して流体圧を加えて一
体に圧着する製法であるが、この方法では積層体周辺の
減圧が容易でなく、また連続生産ラインに乗せ難い欠点
がある。
法がある。この方法は未焼結のセラミックシートの積層
体を高圧容器内に設置し、該積層体の周囲を減圧すると
ともに加熱した状態でゴム膜を介して流体圧を加えて一
体に圧着する製法であるが、この方法では積層体周辺の
減圧が容易でなく、また連続生産ラインに乗せ難い欠点
がある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明はこれらの問題を解決し、生産能率に優れ、しか
も積層製品の品質を高めるセラミックシート積層体の圧
着’Ａ’ｌｌを提供することを目的とするものである。
も積層製品の品質を高めるセラミックシート積層体の圧
着’Ａ’ｌｌを提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
チップキャリア等のキャビティを有する積層品を製造す
る場合、キャビティ用の穴を設けたセラミックシートと
ワイヤポンド部用の少し小さめの穴を設けたセラミック
シートとキャビティの底を構成する穴のおいていないセ
ラミックシートを積層し、温間で圧下し各層を接着させ
る前記各種の方法は、品質において劣るとか、生産性に
おいて劣る等の間邪があった。これらの問題を解決する
ため、本発明の装置は連続したフィルムを用い、未焼成
の積層セラミックシートを真空包装機で包装し、これを
加熱液圧容器中で均一に加圧し圧着するものであって、
生産を連続ラインに乗せ得る特徴がある。
る場合、キャビティ用の穴を設けたセラミックシートと
ワイヤポンド部用の少し小さめの穴を設けたセラミック
シートとキャビティの底を構成する穴のおいていないセ
ラミックシートを積層し、温間で圧下し各層を接着させ
る前記各種の方法は、品質において劣るとか、生産性に
おいて劣る等の間邪があった。これらの問題を解決する
ため、本発明の装置は連続したフィルムを用い、未焼成
の積層セラミックシートを真空包装機で包装し、これを
加熱液圧容器中で均一に加圧し圧着するものであって、
生産を連続ラインに乗せ得る特徴がある。
すなわち、本発明は電子部品パッケージをつくるための
複数枚の未焼成セラミックシートを積層したものを薄膜
フィルムで真空包装する真空包装機と、真空包装された
セラミックノートを受容しこれに加熱流体圧を付与しセ
ラミックシート積層体を圧着する加熱流体圧容器の組合
せよりなるセラミックシート積層体の圧着装置を要旨と
するものである。
複数枚の未焼成セラミックシートを積層したものを薄膜
フィルムで真空包装する真空包装機と、真空包装された
セラミックノートを受容しこれに加熱流体圧を付与しセ
ラミックシート積層体を圧着する加熱流体圧容器の組合
せよりなるセラミックシート積層体の圧着装置を要旨と
するものである。
（作 用）
第４図に本発明装置の一例を模式図で示す。
図面において＋１１は複数枚（例えば３枚）の未焼成セ
ラミックシートを仮付けした積層体のストアボックスで
あって、仮付は積層体（２）が１個宛エアーチャックで
ラインのフィルムシート（３）上に運ばれ、上下のフィ
ルムシートに挟まれて真空包装機（４）に運ばれる。
ラミックシートを仮付けした積層体のストアボックスで
あって、仮付は積層体（２）が１個宛エアーチャックで
ラインのフィルムシート（３）上に運ばれ、上下のフィ
ルムシートに挟まれて真空包装機（４）に運ばれる。
真空包装機は一般衆知の構造であって、フィルムシート
（３１＋３１に挟まれた積層体（２）を１個宛て周囲の
空気を真空ポンプ（５）が排除して積層体にフィルムが
密着した状態でヒータ（６）により２枚のフィルム周囲
を熱シールする。実施例ではフィルムシートに数十ミク
ロン厚のポリエチレンフィルムを使用した。
（３１＋３１に挟まれた積層体（２）を１個宛て周囲の
空気を真空ポンプ（５）が排除して積層体にフィルムが
密着した状態でヒータ（６）により２枚のフィルム周囲
を熱シールする。実施例ではフィルムシートに数十ミク
ロン厚のポリエチレンフィルムを使用した。
かくして連続フィルムに１個宛連続して真空包装された
状態で送られて来る積層体は、次いで加熱流体圧容器（
７）内に送られ１個宛加熱加圧され積層部分が圧着され
容器（７）より取出される。
状態で送られて来る積層体は、次いで加熱流体圧容器（
７）内に送られ１個宛加熱加圧され積層部分が圧着され
容器（７）より取出される。
流体圧容器（７）は、実施例は一種の液圧圧力釜であっ
て、容器（７）内に真空包装された積層体が受容される
と必要温度（５０”Ｃ〜１００℃）の温水が温水槽（８
）よりポンプ（９）により電磁切換弁αｌを経て容器（
７）内に入り弁０υよりオーバーフローさせ、弁ａυを
閉じる。電磁弁を切換え温水が加圧用ロッキングシリン
ダーα船より昇圧機ｏｅを経て容器（７）内に送られる
。この時点では容器（７）は密閉状態にあり、約５０〜
１００ ｋｇ／ｃ＋ｄに加圧される。以上の操作は全て
全自動的に動作させることができる。
て、容器（７）内に真空包装された積層体が受容される
と必要温度（５０”Ｃ〜１００℃）の温水が温水槽（８
）よりポンプ（９）により電磁切換弁αｌを経て容器（
７）内に入り弁０υよりオーバーフローさせ、弁ａυを
閉じる。電磁弁を切換え温水が加圧用ロッキングシリン
ダーα船より昇圧機ｏｅを経て容器（７）内に送られる
。この時点では容器（７）は密閉状態にあり、約５０〜
１００ ｋｇ／ｃ＋ｄに加圧される。以上の操作は全て
全自動的に動作させることができる。
容器（７）内で加熱加圧される積層体（２）は、第３図
に示す如く、キャビティの全周囲が他の部分と同様にフ
ィルムの外から均等に加圧され、空気抜きも十分行え各
部が均質に圧着されるので高品質の積層品が得られる。
に示す如く、キャビティの全周囲が他の部分と同様にフ
ィルムの外から均等に加圧され、空気抜きも十分行え各
部が均質に圧着されるので高品質の積層品が得られる。
１個宛圧着された積層体（２）は１個宛連続的に流体圧
容器（７）から送り出され、フィルム、ＡＩＩ 雌部α
乃で包装フィルム（３）が剥離されブラソソングα蜀に
より静電が除去される。かくして圧着された積層体（２
）は以後焼結工程に廻される。上記生産ラインは積層体
（２）の厚みが比較的薄い場合、昇温加圧時間が短かく
てすむためにこの方式が推奨される。
容器（７）から送り出され、フィルム、ＡＩＩ 雌部α
乃で包装フィルム（３）が剥離されブラソソングα蜀に
より静電が除去される。かくして圧着された積層体（２
）は以後焼結工程に廻される。上記生産ラインは積層体
（２）の厚みが比較的薄い場合、昇温加圧時間が短かく
てすむためにこの方式が推奨される。
積層体（２）が比較的に厚（なると積層の各層を等温度
迄に上昇させるのに時間が必要となるため第５図に示す
方式が推奨される。
迄に上昇させるのに時間が必要となるため第５図に示す
方式が推奨される。
すなわち、前述の如（にして真空包装機（４）で真空包
装された積層体（２）は大型の流体圧容器（ｉ＋内に複
数個宛まとめて一気に加熱加圧するのである。
装された積層体（２）は大型の流体圧容器（ｉ＋内に複
数個宛まとめて一気に加熱加圧するのである。
他は第４図に示したところと変りはない。
（実 施 例）
アルミナ粉末の９０−ｔ％、残りＭｇＯ、Ｓｉｎｇ等の
鉱化剤よりなる原料粉末にブチラール系の熱可塑性樹脂
およびフタール酸系の可塑剤を適当量配合混練し、ドク
ターブレード法によって厚さ０．５ｍｍの板状に圧延し
た後１１００Ｘ１１０の片影寸法に切断しプレス成形に
て第１図の各層を形成する未焼成セラミックシート３枚
をつくり順次積層しこれを３０ミクロン厚のポリエチレ
ンフィルムで真空包装し、流体圧加圧容器内にセットし
約１００℃の温水内にて１．５分間、６０ｋｇ／−の条
件で圧着した。
鉱化剤よりなる原料粉末にブチラール系の熱可塑性樹脂
およびフタール酸系の可塑剤を適当量配合混練し、ドク
ターブレード法によって厚さ０．５ｍｍの板状に圧延し
た後１１００Ｘ１１０の片影寸法に切断しプレス成形に
て第１図の各層を形成する未焼成セラミックシート３枚
をつくり順次積層しこれを３０ミクロン厚のポリエチレ
ンフィルムで真空包装し、流体圧加圧容器内にセットし
約１００℃の温水内にて１．５分間、６０ｋｇ／−の条
件で圧着した。
圧着後フィルムを剥し２５０℃で脱脂してから水素雰囲
気中で１５００〜１６００℃で焼結して得られた製品に
は、剥離、フクレ等の欠陥が全くみら札なかった。
気中で１５００〜１６００℃で焼結して得られた製品に
は、剥離、フクレ等の欠陥が全くみら札なかった。
（効 果）
本発明は積層体をフィルムで真空包装して後、温水での
液圧プレス等を行うことによって積層体の内部迄均−な
圧力が伝播し、特に半導体セラミックパッケージ用多層
基板のような表面が凹凸の複雑な形状のものも各積層間
に一様な圧力を伝播でき、積層面の接合状態を良好なら
しめるため、焼結時の剥離、フクレ等の欠陥の発生を完
全に防止し、また入着生産ラインに乗せることができる
ので、製品品質の高いものが高能率で生産できる等、大
きな効果を存するものである。
液圧プレス等を行うことによって積層体の内部迄均−な
圧力が伝播し、特に半導体セラミックパッケージ用多層
基板のような表面が凹凸の複雑な形状のものも各積層間
に一様な圧力を伝播でき、積層面の接合状態を良好なら
しめるため、焼結時の剥離、フクレ等の欠陥の発生を完
全に防止し、また入着生産ラインに乗せることができる
ので、製品品質の高いものが高能率で生産できる等、大
きな効果を存するものである。
第１図、第２図、第３図は電子部品パッケージ用セラミ
ックシート積層体の圧着方法側図である。 第４図は本発明装置の一例の模式図、第５図は本発明装
置の他の一例の模式図である。 １：積層体ストアボックス、２：積層体、３：フィルム
、４：真空包装機、５：真空ポンプ、６：ヒータ、７：
加熱流体圧容器、８：温水層、９：ポンプ、１０：電磁
切換弁、１２：フィルム剥離部、１４：ロッキングシリ
ンダー、１６：昇圧機、１７：弾性体、１８：剛板体。
ックシート積層体の圧着方法側図である。 第４図は本発明装置の一例の模式図、第５図は本発明装
置の他の一例の模式図である。 １：積層体ストアボックス、２：積層体、３：フィルム
、４：真空包装機、５：真空ポンプ、６：ヒータ、７：
加熱流体圧容器、８：温水層、９：ポンプ、１０：電磁
切換弁、１２：フィルム剥離部、１４：ロッキングシリ
ンダー、１６：昇圧機、１７：弾性体、１８：剛板体。
Claims (1)
- （１）電子部品パッケージをつくるための複数枚の未焼
成セラミックシートを積層したものを薄膜フィルムで真
空包装する真空包装機と、真空包装されたセラミックシ
ートを受容し、これに加熱流体圧を付与しセラミックシ
ート積層体を圧着する加熱流体圧容器の組合せよりなる
ことを特徴とするセラミックシート積層体の圧着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037998A JPS62196146A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | セラミツクシ−ト積層体の圧着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037998A JPS62196146A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | セラミツクシ−ト積層体の圧着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62196146A true JPS62196146A (ja) | 1987-08-29 |
Family
ID=12513243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61037998A Pending JPS62196146A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | セラミツクシ−ト積層体の圧着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62196146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2227713A (en) * | 1988-12-15 | 1990-08-08 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing ceramic laminated compact |
| JPH02226152A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-09-07 | E I Du Pont De Nemours & Co | 真空ラミネートハンダマスク被覆印刷回路板の製造方法 |
-
1986
- 1986-02-21 JP JP61037998A patent/JPS62196146A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2227713A (en) * | 1988-12-15 | 1990-08-08 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing ceramic laminated compact |
| GB2227713B (en) * | 1988-12-15 | 1993-01-27 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing ceramic laminated compact |
| JPH02226152A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-09-07 | E I Du Pont De Nemours & Co | 真空ラミネートハンダマスク被覆印刷回路板の製造方法 |
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