JPS62197116U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62197116U JPS62197116U JP8405186U JP8405186U JPS62197116U JP S62197116 U JPS62197116 U JP S62197116U JP 8405186 U JP8405186 U JP 8405186U JP 8405186 U JP8405186 U JP 8405186U JP S62197116 U JPS62197116 U JP S62197116U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- reduction
- main body
- projection exposure
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための露
光装置における縮小レンズの本体鏡筒部への取付
部を示す正面構造図、第２図は第１図におけるレ
ンズホルダの説明図、第３図は本考案の他の実施
例を示す縮小レンズの本体鏡筒部への取付部を示
す正面構造図、第４図は従来技術におけるレンズ
ホルダの説明図である。 ２……ウエハ、３……縮小レンズ、４……レン
ズホルダ、７……鏡筒部、３１……合マーク、４
１……合マーク、４２……取付穴兼調整穴、４３
……ネジ穴、４４……取付穴。
光装置における縮小レンズの本体鏡筒部への取付
部を示す正面構造図、第２図は第１図におけるレ
ンズホルダの説明図、第３図は本考案の他の実施
例を示す縮小レンズの本体鏡筒部への取付部を示
す正面構造図、第４図は従来技術におけるレンズ
ホルダの説明図である。 ２……ウエハ、３……縮小レンズ、４……レン
ズホルダ、７……鏡筒部、３１……合マーク、４
１……合マーク、４２……取付穴兼調整穴、４３
……ネジ穴、４４……取付穴。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ レテイクル原画面を照射する光源と、回路パ
ターンをウエハ面上に縮小して投影する縮小レン
ズと、ウエハを移動するＸＹステージ、Ｚステー
ジ等からなる縮小投影露光装置において、前記縮
小レンズを本体鏡筒部に固定するためのレンズホ
ルダに、該レンズホルダを取外すことなく、縮小
レンズを微小角ずつ回転調整が可能なように、レ
ンズ取付穴の他に、その円周上に複数個のレンズ
回転用調整穴兼取付穴を配設し、かつ、レンズの
回転方向を明確にするための合マークをレンズホ
ルダとレンズの一部に設けたことを特徴とする縮
小投影露光装置。 ２ 請求範囲第１項において、レンズホルダを二
分割構造とし、その一方を縮小レンズ側に、他方
を本体鏡筒側に固定し、かつ、縮小レンズ側には
複数個のレンズ取付ネジ穴を、本体鏡筒側には複
数個のレンズ回転用調整穴兼取付穴を配設したこ
とを特徴とする縮小投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8405186U JPS62197116U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8405186U JPS62197116U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197116U true JPS62197116U (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=30938199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8405186U Pending JPS62197116U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197116U (ja) |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP8405186U patent/JPS62197116U/ja active Pending
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