JPS62197251U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62197251U JPS62197251U JP8405586U JP8405586U JPS62197251U JP S62197251 U JPS62197251 U JP S62197251U JP 8405586 U JP8405586 U JP 8405586U JP 8405586 U JP8405586 U JP 8405586U JP S62197251 U JPS62197251 U JP S62197251U
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- JP
- Japan
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- bellows
- sample
- support stand
- temperature
- sample support
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図である。
６……試料支持台、７Ａ，７Ｂ……ベローズ、
８Ａ，８Ｂ……ベローズ、１１……温度制御装置
、１２……試料。
８Ａ，８Ｂ……ベローズ、１１……温度制御装置
、１２……試料。
Claims (1)
- 試料を装着する試料支持台と、該試料支持台に
取付けた二個のベローズ１と該ベローズ１の外側
に設けられた二個のベローズ２と熱媒体の温度を
制御する温度制御装置とから成り、前記ベローズ
１と前記ベローズ２の間は大気圧とし、熱媒体は
前記ベローズ１の内側と前記試料支持台にあけら
れた穴を通して前記温度制御装置によつて循環し
、前記試料の温度制御をすることを特徴とする走
査電子顕微鏡等の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8405586U JPS62197251U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8405586U JPS62197251U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197251U true JPS62197251U (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=30938207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8405586U Pending JPS62197251U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197251U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001249620A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Showa Mfg Co Ltd | フラットパネルディスプレイの多段型赤外線冷却炉 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP8405586U patent/JPS62197251U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001249620A (ja) * | 2000-03-02 | 2001-09-14 | Showa Mfg Co Ltd | フラットパネルディスプレイの多段型赤外線冷却炉 |