JPS62201669A

JPS62201669A - ロ−ルコ−タの制御方法およびロ−ルコ−タ

Info

Publication number: JPS62201669A
Application number: JP61044743A
Authority: JP
Inventors: Katsunaga Narita; 成田　克永; Eiichiro Hayashi; 林　栄一郎
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1986-03-01
Filing date: 1986-03-01
Publication date: 1987-09-05
Also published as: KR870008628A; US4737378A; KR900006717B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、ガラス、セラミック、シリコンなどの基板
の表面に、フォトレジスト液等の所要の塗布液を均一な
厚みに塗布するロールコータの制御方法および装置に関
する。

（従来の技術とその問題点）ガラス、セラミック、シリコンなどの基板の表面にフォ
トレジストをコーティングする装置として第１０図に示
すようなロールコータが従来より知られている。このロ
ールコータは、コーチングロール１を軸受１ａを介して
水平軸回りに回転自在に保持するとともに、その軸受１
ａをコーチングロール１がバックアップロール３に対し
て接離しうるようにシリンダ６により昇降自在に保持す
る。また、ドクタロール２を軸受２ａを介して水平軸回
りに回転自在に保持するとともに、その軸受２ａをドク
タロール２がコーチングロール１に対して接離しうるよ
うにシリンダ７により進退自在に保持する。

コーティング作業は、各ロール１，２．３を第１０図に
示す位置に位置させながら同図矢印方向へ回転させ、ノ
ズル５より塗布液６０をロール１゜２間に供給して、基
板１０を搬送ロール４によりロール１，３間に送り込む
。これにより、ノズル５から供給された塗布液６０がコ
ーチングロール１を介して基板１０の表面に塗布される
こととなる。

第１１図は、従来の他のロールコータを示したもので、
第１０図に示すロールコー３と相違する点は、第１０図
に示すドクタロール２に代えて第１１図に示すドクタバ
−８を使用した点のみである。

ところが、これらのロールコータにおいては、シリンダ
６や昇降量調整ねじ（図示省略）によりコーチングロー
ル１の両端軸に加える圧力を調整して、基板１０の表面
に塗布される塗布液の膜厚を均一に調整することが可能
であるが、このシリンダ６によってはコーチングロール
１の昇降量を微調整することが困難なため、基板１０の
板厚に応じて塗布液の膜厚を所定厚に調整することがで
きないという問題を有していた。

またこれらのロールコータにおいては、ドクタＯ−ル２
またはドクタバ−８のコーチングロール１への押込量を
調整することにより、言い換えればドクタロール２また
はドクタバ−８に加えるシリンダ７の圧力を調整するこ
とにより、コーチングロール１の表面に付着される塗布
液の量すなわち膜厚を調整することが可能であるが、こ
の場合も、シリンダ７によりドクタロール２またはドク
タバ−８の進退量を微調整することが困難なため、膜厚
の微調整が極めて困難であるという問題を有していた。

この場合、ドクタロール２またはドクタバ−８に加える
圧力の微調整を、当接距ＩＩＩＩｔＷＡ整ボルト（図示
省略）により手動で行うように構成することも可能であ
るが、その場合は膜厚調整の自動化が妨げられることと
なる。

膜厚調整の自動化を可能とするためには、上記ロールコ
ータにおいてシリンダ６．７に代え、ノくルスモータと
、このパルスモータにより回転駆動されるねじ棒を使用
し、これらねじ棒をコーチングロール１両端の軸受１ａ
およびドクタロール２両端の軸受２ａにそれぞれ螺合さ
せて、パルスモータでコーチングロール１の昇降調整お
よびドクタロール２の進退調整−行なう構成とする案が
考えられる。しかしながら、この構成を採用した場合に
は次のような新たな問題が生じる。すなわち、一般にロ
ール１．２の表面には加工精度誤差があってロール一端
側の径と他端側の径とで寸法が一致しない場合が多い。

また、上記ねじ棒と軸受１ａ、２ａ間の公差や、上記ね
じ棒のねじ加工誤差等により、ロール一端側の移動量と
ロール他端側の移動量とが一致しない場合も多い。この
ため、ロール１．２を接離駆動した際に、ロール１．３
間あるいはロール１．２間において、相対向するロール
外周面が平行とならず、その結果、基板１０の表面に形
成される塗布膜の膜厚が不均一となるという問題が生じ
る。

なお、コーチングロール１の両端軸部に適当な圧力を付
与することにより、基板１０の表面に均一な膜厚の塗布
膜を形成する装置として、第１０゜１１図に示すロール
コータの他に、実開昭６０−１３２７９号公報（考案の
名称「均−膜厚塗布装ＭＪ＞に開示されたロールコータ
が知られているが、このロールコータも第ｉｏ、１１図
に示すロールコータと同様に膜厚の微調整を行なえない
。

（発明の目的）この発明は、上記問題を解決するためになされたもので
、基板の表面に均一な膜厚の塗布膜を形成することがで
き、しかも膜厚の微調整を自動化できるロールコータの
制御方法およびロールコータを提供することを目的とす
る。

（目的を達成するための手段）第１の発明は、ニーチングロールに対しドクタおよびバ
ックアップロールが相対的に接離自在に配設されたロー
ルコータの制御方法に関する。まず、起動に先立ち、コ
ーチングロールに対しドクタ又はバックアップロールを
相対的に近接駆動し、コーチングロールとドクタ又はバ
ックアップロールとの一端側を対接させて他端側に生じ
る隙間寸法を測定する。そして、起動後は、コーチング
ロールに対しドクタ又はバックアップロールを相対的に
接離駆動する際に、他端側が一端側よりも前記隙間寸法
力だけ近接方向へ余分に移動されるように移動量を制御
する。

第２の発明は、コーチングロールに対し、ドクタおよび
バックアップロールが接離駆動手段により相対的に接離
自在に配設されたロールコータに圓する。このロールコ
ータは、コーチングロールの両端とドクタ又はバックア
ップロールの両端間の相対的な移動量を個別に検知する
移動量検知手段と、コーチングロールの一端とドクタ又
はバックアップロールの一端とを対接させたときに生じ
るロール他端側の隙間寸法のデータが格納される記憶手
段と、前記接離駆動手段を介してコーチングロールに対
しドクタ又はバックアップロールを相対的に接離駆動す
る際に、前記記憶手段に格納されている隙間寸法データ
と前記移動量検知手段の検知信号とに基づいて、他端側
が一端側よりも隙間寸法力だけ近接方向へ余分に移動さ
れるように移動量を制御する制御手段とを備える。

（作用）第１の発明のロールコータ制御方法によれば、起動に先
立ち、コーチングロールとドクタまたはバックアップロ
ールとの一端側を対接させて他端側に生じる隙間寸法を
測定し、起動後は、ロール他端側がロール一端側よりも
隙間寸法力だけ近接方向へ余分に移動されるようにロー
ルの接離駆動を制御するため、接離駆動されるロール相
互の外周面が任意の移動位置で常に平行に保たれる。

また、第２の発明のロールコータによれば、コーチング
ロールの一端とドクタまたはバックアップロールの一端
とを対接させたときに生じるロール他端側の隙間寸法の
データを記憶手段に予め格納しておき、コーチングロー
ルに対しドクタ又はバックアップロールを相対的に接離
駆動する際に、ロール両端間の相対的な移動口を移動量
検知手段により個別に検知し、その検知信号と上記記憶
手段に格納されている隙間寸法データとに基づいて、ａ
−ル他端側がロール一端側よりも隙間寸法力だけ近接方
向へ余分に移動されるようにロールの移動量を制御手段
により制御するため、接離駆動されるロール相互の外周
面が任意の移動位置で常に平行に保たれる。

（実施例）第１図はこの発明が適用されたロールコータの概略斜視
図を示し、第２図はその概略構成図を示す。

両図に示すように、コーチングロール１は、そのロール
軸１１の両端がスライダ１２．１２’　により回動自在
に支持され、これらスライダ１２゜１２′が本体ケース
（図示省略）に固設されたガイド１４．１４’により昇
降自在に保持されている。スライダ１２．１２’の昇降
駆動は、パルスモータ等で構成される駆動手段１３．１
３′にょり行なわれ、各スライダ１２．１２’の昇降位
置がリニアエンコーダ等で構成される昇降位置検知手段
（移動量検知手段）１５．１５’　により検知されて、
その検知信号が制御部５０（第２図）へ入力するように
構成される。この場合、一対のガイド１４，１４−１一
対のスライダ１２．１２′、一対の駆動手段１３．１３
−および一対の昇降位置検知手段１５．１５”で接離駆
動手段が構成される。

ドクタロール２は、そのＯ−ル軸２１の両端がスライダ
２２．２２’　により回動自在に支持され、これらスラ
イダ２２．２２’が本体ケース（図示省略）に固設され
たガイド２４．２４’　により、コーチングロール１側
へ進退自在に保持されている。スライダ２２．２２’の
進退駆動は、パルスモータ等で構成される駆動手段２３
．２３’　により行なわれ、各スライダ２２．２２’の
進退位置が、リニアエンコーダ等で構成される進退位置
検知手段（移動量検知手段）２５．２５’により検知さ
れて、その検知信号が制御部５０（第２図）代入力する
ように構成される。なお、ドクタロール２に代えて、ド
クタバ−８（第１１図参照）を使用するようにしてもよ
い。

上記コーチングロール１は、ドクタロール２およびその
進退駆動手段（接離駆動手段すなわら一対のガイド２４
．２４’　、一対のスライダ２２゜２２′、一対の駆動
手段２３．２３’および一対の進退位置検知手段２５．
２５’　）と共に昇降するように構成されるのが望まし
いが、コーチングロール１のみが単独で昇降するように
構成してもよい。

コーチングロール１の下方には、バックアップロール３
が所定位置に配置され、このバックアップロール３の前
後位置に搬送Ｏ−ル４が配設される。

コーチングロール１の回転駆動は、回転駆動手段１６に
より行なわれ、バックアップロール３および搬送ロール
４の回転駆動は回転駆動手段４２（第２図参照）により
行なわれる。もつともバックアップロール３および搬送
ロール４の回転駆動を、コーチングロール１の回転駆動
手段１６により行なわせるように構成してもよい。

コーチングロール１とドクタロール２０当接部上方位置
には、塗布液用ノズル５と、必要に応じ洗浄液用ノズル
３４（第２図参照）が配設される。

これら両ノズル５．３４は、ロール１，２の長手方向に
沿って往復動自在に吊設されている。そして、第２図に
示すように、所要の塗布液６０が、容器３５からポンプ
３６により、フィルタ３７および流通センサ３８を経て
塗布液用ノズル５へ供給するように構成され、また洗浄
液６２が、容器３０からポンプ３１により、フィルタ３
２および流通センサ３３を経て洗浄用ノズル３４へ供給
するように構成される。

もっとも、ポンプの吐出側または吸込側に自動三方弁を
配して、塗布液と洗浄液の配管系を１本にまとめるよう
に構成してもよい。

なお、バックアップロール３の下方位置には排液受部４
０が配され、排液受部４０上にこぼれ落もだ塗布液６０
や洗浄液６２等の排液が容器４１に回収しつるように構
成される。

つぎに、上記ロールコータの動作について、第３図ない
し第５図に示すフローチャートを用いて詳細に説明する
。

（１）　　オフセット設定まず、ロールコータを起動するに先立ちオフセット設定
（その内容は、以下に述べる説明により順次明らかとな
ろう）を行なう。

いま、第６図（ａ）に示すように、基準位置Ｐ。

にあるコーチングロール１を、同図（ｂ）に示すように
バックアップロール３と対接する位置Ｐ１まで所定距離
ｈ１だけ下降させると、ロー／Ｉ＜１．３の軸間距離は
、ＨｌからＲ２に変わる。

第７図（ａ）、　（ｂ）は、第６図（ｂ）を正面から見
たとぎのロール１．３の代表的な位置関係を示した図で
ある。すなわち、第７図（ａ）は、コーチングロール１
とバックアップロール３の軸間距離Ｈ２が左右同一であ
るが、コーチングロール１の表面加工誤差により左側半
径Ｒ１に対し右側半径Ｒ１′が、Ｒ１＞Ｒ１’　となっ
ている場合の例を示す。

この場合には、コーチングロール１の右端部と、バック
アップロール３の右端部との間に寸法Δｈ１の隙間（差
）が発生する。隙間寸法Δｈ、は通常１００μｍ以下で
はあるが、このような隙間が発生したままでロールコー
タを起動すると、基板１０の表面に塗布される塗布液の
膜厚が不均一となる。

一方、第７図（ｂ）は、コーチングロール１の表面加工
精度が左右均一となっているが、軸間距離が左右で異な
り、すなわち右側の軸間距離Ｈ２′が左側の軸間距離Ｈ
よりも寸法Δｈ２だけ大きい場合の例を示す。これは、
第６図において、コーチングロール１を位１１Ｐ　　か
ら位置Ｐ１まで下降させたときに生じたものであり、コ
ーチングロール昇降駆動手段の加工誤差により発生した
ものである。この場合も、コーチングロール１の右端部
と、バックアップロール３の右端部との間に寸法Δｈ２
の隙間が発生することになるので、そのままロールコー
タを起動すると、基板１０の表面に塗布される塗布液の
膜厚が不均一となる。

そこでオフセット補正データとして上記隙間寸法Δｈ　
、Δｈ２を実測し、あるいは第７図（ａ）。

（ｂ）の状態からコーチングロール１の右端部のみ隙間
差が消滅するまで下降させてその間の下降量より上記隙
間寸法Δｈ　、Δｈ２を求め、その値を制御部５０（第
２図）のメモリ（記憶手段）５０ａに格納する（以下こ
の操作をオフセットと称す）。

このオフセット操作の詳細な操作手順を第３図のフロー
チャートを用いてつぎに説明する。まず、オペレータが
操作盤（図示省略）を操作して、コーチングロールのオ
フセット開始指令を制御部５０（第２図）に入力する（
ステップ８１）。（コーチングロールのオフセット設定
であるからステップＳ２はＮｏとなる。）すると、コー
チングロール１は第６図（ａ）の基準位＠ｐｏから同図
（ｂ）の位置Ｐ１へ移動し、移動中の移動量及びコーチ
ングロール１両端の移動量の差が、昇降位置検知手段１
５．１５’（第１．２図）の検知信号に基づいて制御部
５０内で演算され、オフセット現在値として表示盤（図
示省略）に表示される（ステップ８３）。すなわち、第
６図（ｂ）に示す位置Ｐ１に移動を完了した時点では、
例えば第７図（ａ）の例の場合には左右の移動量Ｈ２が
同一であるため移動量の差として零が表示され、第７図
（ｂ）の場合には移動向の差Δｈ２が表示される。

ここで、操作盤（図示省略）に配置されたオフセットス
イッチをオンにすると（ステップ８４）、コーチングロ
ール１の操作側端部（第７図のコーチングロール１の右
端部）が昇降駆動手段１３′（第１図）により下降し始
め、その間の移動量が表示！！！（図示省略）に表示さ
れる（ステップＳ５）。そこで、その表示値が予め実測
した隙間寸法、例えば第７図（ａ）、　（ｂ）の例では
Δｈ　、Δｈ２になったとき、あるいは目視等によりロ
ール１，３間の右端側の隙間が消滅したことが確認され
たとき、オペレータが上記オフセットスイッチをオフし
て、コーチングロール１の操作側端部の下降を停止させ
る（ステップ３６．３７）。そして、このときの表示盤
に表示されている移動量、すなわちオフセット値を、操
作盤（図示省略）の入カキ−を操作してメモリに記憶さ
せる（ステップＳ８゜８９）。この場合、第７図（ａ）
、（ｂ）と逆にロール１．３の左側端部間に隙間が生じ
ているときには、コーチングロール１の反操作側端部を
、左端側の隙間が消滅する位置まで下降させ、又はコー
チングロール１の操作側端部をコーチングロール１とバ
ックアップロール３が相互に平行となる位置まで上昇さ
せ、その間のロール端部の移動量を表示盤から読み取っ
てメモリ５０ａに記憶させることが可能である。

なお、第７図（ｂ）の例の場合には、コーチングロール
−の左右端部の下降量の差Δｈ２がステップＳ３におい
て表示！１（図示省略）に表示されるため、ステップＳ
５の表示において表示値がΔｈ２となるまでコーチング
ロール１の操作側端部を下降させて、オフセット値を設
定することも可能である。

また、コーチングロール１の操作側端部の隙間寸法（第
７図（ａ）、　（ｂ）の例ではΔｈ　、Δｈ２）が予め
実測により以知の場合は、ステップＳ４において、オフ
セットスイッチをオンとせずに、上記隙間寸法値（オフ
セット値）を直接操作盤からキー人力しくステップ５１
０）、入カキ−をオン操作してその値をメモリに記憶さ
せることもできる（ステップ５１１）。この場合は、オ
フセット値がメモリに記憶された後で（ステップ５１２
）、コーチングロール１の操作側端部が記憶されたオフ
セット値に相当する量だけ下降するため、下降停止後に
ロール間の隙間が消滅するか否かを観察してオフセット
値が正しく設定されたか否かを確認できる（ステップ８
１３〜５１５）。

以上、コーチングロール１のオフセットについて説明し
たが、ドクタロール２のオフセットもほぼ同様な手順で
行なわれる。すなわち、第８図（ａ）に示すように基準
位置Ｐ１ｏにあるドクタロール２を、第８図（ｂ）に示
すようにコーチングロール１に対接する位置Ｐ１１まで
所定距離ｊ！１だけ移動させた場合、ロール１．２や進
退駆動手段の加工誤差等によりロール１，２の一端間又
は他端間に隙間が生じる。そこで、この隙間寸法をオフ
セット値として設定する必要があり、その設定作業をコ
ーチングロール１のオフセット設定とほぼ同様にして行
なう。すなわち、ステップＳ１においてドクタロールの
オフセット開始指令を与えると、ステップＳ２からステ
ップ８１６に進んで、ドクタロール２のオフセット現在
値が表示盤に表示され、以後ステップＳ４に進んで、上
記コーチングロール１の場合と同様の手順でドクタロー
ル２のオフセット値を設定できる。

（２）　　ロールコータ起動オフセットが終了すれば、次にロールコータを起動させ
る。第４図（ａ）は起動時のＯ−ルコータの動作を示し
たフローチャートである。

まず、ステップ８１７において、ロールコータの起動に
必要なデータを制御部５０（第２図）に入力する。デー
タとしては、例えばコーチングロール１の塗布時および
洗浄時における所定移動距離、ドクタロール２の押込時
、塗布時および洗浄時における所定移動距離、各ロール
１．２．３の高速回転時および通常回転時の回転速度等
を設定する。この時点では、各ロール１．２．３は、第
６図（ａ）および第８図（ａ）に示す基準位置に位置し
ている。

次に、操作盤の起動ボタンスイッチをオンにする（ステ
ップ８１８）。すると、塗布液用ポンプ３６がオンとな
って（ステップＳ１９）　、容器３５より所要の塗布液
６０がフィルタ３７を経てノズル５へ送られる。

ついで、ドクタロール２が第８図（ａ）に示す基準位Ｗ
ＩＰ１ｏから、第８図（ｂ）に示すコーチングロール１
に接する位置Ｐ１１へ移動する（ステップ５２０）。こ
の場合、ドクタロール２の操作側端部の移動量が、予め
設定されたドクタロールのオフセット値に基づいて補正
され、両ローラ１，２がそれらの左右端部間に隙間を発
生しないようにしてローラ外周面相互が当接される。

このドクタロール２の移動と並行して、同じくステップ
８２０において、コーチングロール１が、第６図（ａ）
に示す基準位置Ｐ。から第６図（Ｃ）に示す位ＮＰ２へ
移動される。この場合、コーチングロール１とバックア
ップロール３の面間距離ｈ３は、次のようにして決定さ
れる。すなわち、両ロール１．３間を通過する基板１０
の板厚をｔ□。

基板１０の表面に塗布される塗布液の膜厚をｔｌとした
場合、面一距離ｈ３は、ｈ３−０１　（ｉｏ　＋ｉ１）で決定される。ここで、Ｃ１はコーチングロール１の弾
性率等により定まる定数で、一般的には「１」以下であ
る。このコーチングロール１の移動時においても、コー
チングロール１の操作側端部の移動量がオフセット補正
される。例えば第７図（ａ）、　（ｂ）の例の場合には
、コーチングロール１の操作側端部が反対側端部よりも
隙間寸法Δｈ１゜Δｈ２だけ余分に下降するように移動
制御され、ロール１．３の対向外周面が相互に平行とな
るように調整される。

次に、ステップ８２１において、塗布液流通センサ３８
が塗布液の流通を検知すると、タイマ（時間Ｔ１）がセ
ットされ（ステップ８２１．Ｓ２２）、コーチングロー
ル１とドクタロール２の間の液溜りに、ロール長手方向
に亘り全体に所要塗布液がひきわたるまでの時間Ｔ１が
経過してから（ステップ８２３）　、ドクタロール２が
第８図（Ｃ）に示すようにコーチングロール１側へ所要
」（Ｌ　　−１３）押し込まれる（ステップ５２４）。

同時に、回転駆動手段１６．４２（第２図）が作動して
コーチングロール１およびバックアップロール３が所要
の高速度で回転し始める（ステップ５２４）。これによ
り、コーチングロール１の回転に従動してドクタロール
２も高速回転し始め、両ロール１．２の表面全体に塗布
液が付着される。

この塗布液はコーチングロール１とドクタ０−ル２との
間の潤滑剤的作用を果たし、ドクタロール２のコーチン
グロール１への押し込みにより発生する摩擦を低減して
ロール−９２の摩耗を防止する。

上記ドクタロール２の押込みは、所定時１ｉｉＴ２だけ
行なわれる（ステップ８２５．８２６）。このように、
ドクタロール２を所定時間Ｔ２だけコーチングロール１
へ押込むようにしたのは、第９図に示すようにコーチン
グロール１の表面に溝６１が円周状に均一ピッチで切設
されているため、これらの溝６１に塗布液６０を均一に
付着させようとした場合、ドクタロール２を押込まない
で行うと均一付着に極めて長時間を要することとなるた
めである。これに対し、ドクタロール２をコーチングロ
ール１へ押し込んだ状態で両ロール１゜２を高速回転さ
せれば、溝６１が圧縮・復元を繰り返して比較的短時間
（所定時間Ｔ２）で溝６１に塗布液６０が均一に付着さ
れることとなる。

所定時間Ｔ２が経過すると、次に、ドクタロール２が、
基板表面に形成される塗布膜の膜厚ｔ１によって決定さ
れる設定位置Ｐ１３（第８図（ｄ）参照）へ移動する（
ステップ５２７）。この移動時においても、ドクタロー
ル２の操作側端部の移動がオフセット補正され、ドクタ
ロール２のコーチングロール１への押込量が、ロール２
の左右端部で同一となるように調整される。

次に、駆動手段４２によるバックアップロール３６３よ
び搬送ロール４の回転速度が、基板１０を搬送するのに
必要な所定値に設定され、また、駆動手段１６によるコ
ーチングロール１の回転速度が、高速から通常回転速度
に１；７］換えられる（ステップ８２８）。

これにより塗布準備が完了し、この後、作業者は所要の
基板１０を搬送ロール４からロール１゜３間に送り込ん
で、基板１０の表面に所要膜厚ｔ１の塗布膜を形成させ
る。

（３）　　ロール位置自動修正ところで、このロールコータにおいては、上記塗布作業
中において、コーチングロール１またはドクタロール２
が設定位置から位置ずれすると、そのロール位置が元の
設定位置に自動的に修正されるように１１ｍされる。す
なわち、塗布準備が終了して塗布工程に入ると、ステッ
プ８２９へ進んでロール位置自動修正のサブルーチン処
理が行なわれる。このサブルーチン処理は、ステップ＄
３０のデータ変更またはステップ８３１のモード変更が
なされるまでの間、繰り返し実行される。

第４図（ｂ）は、上記サブルーチン処理の内容を示した
フローチャートである。まず、一定時間Ｔ６　（Ｔ、−
０の場合もある）がセットされ（ステップ８３２）、時
間Ｔ６経過後、各ロール１．２のいずれか一端の現在位
置が、位置検知手段１５゜１５’　、２５．２５’　に
より検出され（ステップ８３３．８３４）、設定位置と
比較される（ステップ５３５）。この比較において、現
在位置が設定位置に一致している場合は、位置修正を行
う必要がないので、サブルーチン処理を終了する。一方
、現在位置が設定位置よりずれている場合は、そのロー
ルの端部位置を設定位置に一致するように駆動手段１３
．１３’　、２３．２３’　により修正する（ステップ
８３６，３３７）。

上記サブルーチン処理は、各ロール１．２の端部毎に行
なわれる。

また、必要に応じて、位置ずれが所定時間以上長く続く
場合には、警報を発生するように構成することもできる
。

このロール位置自動修正工程においても、上記のオフセ
ット補正が行なわれることは言うまでもない。

（４）　　設定値変更塗布作業中において、基板１０の表面に塗布される塗布
液の膜厚ｔ１や、基板１０の板厚ｔ。

等に変更が生じた場合は、第４図（ａ）に示すステップ
Ｓ３０において、データ変更指令を与え、変更しようと
する新たな膜厚ｔ　や板厚ｔ。等のデ−タを操作盤（図
示省略）より入力する。これらの変更データが入力され
ると、入力された膜厚ｔ１や板厚ｔ。を実現するために
必要な各ロール１゜２の位置や、搬送速度および洗浄液
用ポンプ３６の吐出量等が制御部５０（第２図）におい
て演算され、その演算結果に応じて第４図（Ｃ）に示す
データ変更処理が実行される。

まず、膜厚変更に関係してドクタロール２の位置の変更
を要する場合（ステップ３３８はＹＥＳ）には、ステッ
プ８３９からステップ８４１の処理が行なわれる。この
処理は゛、塗布準備段階（第４図（ａ））におけるステ
ップ８２４からステップＳ２８の処理と同様である。す
なわち、ドクタロール２の押込量およびコーチングロー
ル１の回転数を増してからタイマ（時間Ｔ　　”）をセ
ットし、所定時間Ｔ２′経過後にドクタロール２を新た
な設定位置に移動させて、各ロール−，３，４の回転速
度を所要の搬送速度に設定する。この場合も、ドクタロ
ール２の移動に際し、オフセット補正がなされることは
言うまでもない。

また、板厚変更に関係して、コーチングロール１の位置
の変更を要する場合（ステップ８３８はＮｏ、ステップ
８４２はＹＥＳ）には、ステップ８４３において新たな
設定位置にコーチングロール１を移動させる。この場合
も、コーチングロール１の移動に際し、オフセット補正
がなされることは言うまでもない。

さらに、膜厚変更に関係して搬送速度の変更を要する場
合（ステップ８３８，８４２はＮＯ，ステップ３４４は
ＹＥＳ＞には、ステップ８４５において各ロール−，３
，４の回転速度が所定の搬送速度が得られるように変更
され（ステップ５４５）、また、塗布液量の変更を要す
る場合（ステップ８３８，８４２，８４４はＮＯ，ステ
ップ８４６はＹＥＳ）には、ステップ８４７において塗
布液用ポンプ３６の吐出量が調整される。

こうして、各ステップＳ４１．８４３，８４５゜８４７
の変更処理が完了すれば、ステップ８４８を経て、第４
図（ａ）のステップ８２９に戻る。

（５）　　ロール洗浄全ての基板１０の塗布を終了すると、第４図（ａ）のス
テップ８３１において、「洗浄」ヘモードを変更する。

第５図に洗浄処理の手順を示したフローチャートを示す
。同図からも分るように、洗浄モードへの変更は、ステ
ップ８４９において洗浄ボタンをオン操作にすることに
よって行なわれる。洗浄ボタンをオンにすると、塗布液
用ポンプ３６が停止し、ロール１．３．４が回転停止し
た後（ステップ８５０）　、ステップＳ５１において洗
浄液用ポンプ３１がオンとなり、容器３０より洗浄液６
２がフィルタ３２を経てノズル３４へ送られる。

つぎに、ドクタロール２が第８図（ｄ）の位置Ｐ１３か
ら同図（ｂ）の位置Ｐ１１へ移動し、コーチングロール
１もバックアップロール３から離れた適当な位置に移動
する（ステップ５５２）。この場合も、各ロール１．２
の移動に際し、オフセット補正が行なわれることは言う
までもない。

その後、ステップ＄５０において、洗浄液流通センサ３
３が洗浄液６２の流通を検知すると、タイマ（時間Ｔ３
）がセットされる（ステップ５５４）。そして、コーチ
ングロール１とドクタロール２の液溜りに洗浄液６２が
溜るまでの時間Ｔ３が経過すると（ステップ５５５）、
コーチングロール１とバックアップロール３が回転し始
め、またコーチングロール２の回転に従動してドクタロ
ール２も回転し始め、さらに洗浄液用ノズル３４がロー
ル長手方向に揺動しはじめて、各ロール１゜２．３の洗
浄が開始される（ステップ８５６）。

この洗浄がタイマによりセットされた所定時間Ｔ４だけ
実行されると（ステップ８５７，８５８＞、各ロール１
．２が第６図（ａ）と第８図（ａ）に示す基準位置に戻
り（ステップ５５９）、洗浄液用ポンプ３１が停止する
（ステップ５６０）。ついで、ステップ８６１において
タイマ（時間Ｔ５）がセットされ、乾燥に要する時間Ｔ
５の経過を待って（ステップ５６２）、洗浄工程を終了
する。

なお、上記実施例においては、ロール洗浄工程を塗布工
程後に行うようにしているが、Ｏ−ル洗浄工程は塗布工
程前に行うようにしてもよい。

以上のように、この実施例によれば、起動に先立ちオフ
セット値を測定し、起動後コーチングロール１をバック
アップロール２に対し接離駆動し、あるいはドクタロー
ル２をコーチングロール１に対し接離駆動する際に、上
記オフセット値を用いてロール移動ｍをオフセット補正
するようにしたため、ロール１，３およびロール１，２
の相対向するロール外周面が任意の移動位置で常に平行
に保たれて、基板１０の表面に均一な膜厚の塗布膜を形
成することができる。

また、ロール１，２の接離駆動手段としてパルスモータ
等で構成される駆動手段１３．１３’　。

２３．２３’を使用し、ロール位置検知手段としてリニ
アエンコーダ等で構成される位置検知手段１５．１５’
　、２５．２５’を使用することにより、膜厚の微調整
が可能となるとともに、膜厚調整の自動化も図れる。

なお、上記実施例においては、コーチングロール１をバ
ックアップロール３に対し接離駆動し、ドクタロール２
をコーチングロール１に対し接離駆動しているが、逆に
、バックアップロール３をコーチングロール１に対し接
離駆動し、コーチングロール１をドクタロール２に対し
接離駆動するように構成してもよく、あるいはロール１
．３およびロール１，２のロール相互を相対的に接離駆
動するように構成してもよい。

（発明の効果）以上のように、この発明によれば、起動に先立ちオフセ
ット値を測定し、起動後、コーチングロールに対しドク
タ又はバックアップロールを相対的に接離駆動する際に
、それらの移動量をオフセット補正するようにしたため
、基板の表面に均一な膜厚の塗布膜を形成することがで
き、しかも膜厚の微調整を自動化できるという効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明が適用されたロールコータの概略斜視
図、第２図はその概略構成図、第３図はロールコータの
オフセット設定手順を示すフローチャート、第４図はロ
ールコータの起動およびデータ変更手順を示すフローチ
ャート、第５図はロールコータの洗浄手順を示すフロー
チャート、第６図はコーチングロールの動作説明図、第
７図はロール間に隙間が発生する理由を説明する図、第
８図はドクタロールの動作説明図、第９図はコーチング
ロールの要部断面図、第１０図および第１１図は従来の
ロールコータの概略構成図である。１・・・コーチングロール、　　　２・・・ドクタロー
ル３・・・バックアップロール１３．１３−・・・昇降駆動手段１５．１５−・・・昇降位置検知手段２３．２３′・・・進退駆動手段２５．２５−・・・進退位置検知手段５０・・・制御部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）コーチングロールに対しドクタおよびバックアッ
プロールが相対的に接離自在に配設されたロールコータ
の制御方法であって、起動に先立ち、コーチングロールに対しドクタ又はバッ
クアップロールを相対的に近接駆動し、コーチングロー
ルとドクタ又はバックアップロールとの一端側を対接さ
せて他端側に生じる隙間寸法を測定し、その値を記憶し
、起動後、コーチングロールに対しドクタ又はバックアッ
プロールを相対的に接離駆動する際に、他端側が一端側
よりも前記隙間寸法分だけ所定方向へ余分に移動される
ように移動量を制御するロールコータの制御方法。
（２）ドクタは、塗布工程前に、予めコーチングロール
に所定時間押圧される特許請求の範囲第（１）項記載の
ロールコータの制御方法。
（３）ドクタは、起動時において隙間寸法分だけ移動修
正された設定位置からずれると、そのずれが検知されて
元の設定位置へ修正移動される特許請求の範囲第（１）
項記載のコールコータの制御方法。
（４）コーチングロールに対し、ドクタおよびバックア
ップロールが接離駆動手段により相対的に接離自在に配
設されたロールコータにおいて、コーチングロールの両
端とドクタ又はバックアップロールの両端間の相対的な
移動量を個別に検知する移動量検知手段と、コーチングロールの一端とドクタ又はバックアップロー
ルの一端とを対接させたときに生じるロール他端側の隙
間寸法のデータが格納される記憶手段と、前記接離駆動手段を介してコーチングロールに対しドク
タ又はバックアップロールを相対的に接離駆動する際に
、前記記憶手段に格納されている隙間寸法データと前記
移動量検知手段の検知信号とに基づいて、他端側が一端
側よりも隙間寸法分だけ近接方向へ余分に移動されるよ
うに移動量を制御する制御手段とを備えた、ロールコー
タ。
（５）接離駆動手段はパルスモータを含み、移動量検知
手段はリニアエンコーダで構成される特許請求の範囲第
（４）項記載のロールコータ。