JPS62203403U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す図、第２図
Ａ，Ｂおよび第３図はその部分詳細図、第４図は
ポツテイング剤の比誘電率の温度依存性を示す図
、第５図は従来の技術を示す図である。 ３１……外筒、３２……内筒、３３……ロツド
、３４……ガイド、３５……絶縁部材、３６……
ピストン、３７……シール、３８……カバー、４
１……貯留槽、４７……コイルばね、４８……油
、４９……取付け用ねじ、５０……ダスト・ブー
ツ、５１……検出回路ユニツト、５３……電極棒
、５７……ポツテイング剤。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ シリンダチユーブと、このシリンダチユーブ
   内を該シリンダチユーブに対し電気的に絶縁した
   状態で相対的に変位可能なロツドと、これらシリ
   ンダチユーブおよびロツドをそれぞれ電極とし、
   これら電極間で形成される静電容量を計測して、
   前記シリンダチユーブと前記ロツドの相対位置に
   応じた信号を出力する検出回路ユニツトとを具え
   、この検出回路ユニツトの内部を誘電率の小さい
   誘電体により封止したことを特徴とする静電容量
   式シリンダ変位計。 ２ 前記シリンダチユーブを、外筒と、この外筒
   内に該外筒に対して電気的に絶縁して保持した内
   筒とをもつて構成して、この内筒に対して前記ロ
   ツドを相対的に変位可能に設けると共に、前記検
   出回路ユニツトを前記外筒の外面に設けたことを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   静電容量式シリンダ変位計。