JPS62204154A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS62204154A JPS62204154A JP61046164A JP4616486A JPS62204154A JP S62204154 A JPS62204154 A JP S62204154A JP 61046164 A JP61046164 A JP 61046164A JP 4616486 A JP4616486 A JP 4616486A JP S62204154 A JPS62204154 A JP S62204154A
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- JP
- Japan
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- lens
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- acoustic wave
- air bearing
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡に係り、特に機械走査型の超音
波顕微鏡に関するものである。
波顕微鏡に関するものである。
超音波顕微鏡φこおいてに、観察する試料を撮像するた
めに、該試料と音波レンズとを相対的に動かす、すなわ
ち走査する必要がある。また、前記音波レンズの試料に
対する合焦点位置は、観察に用いる超音波の周波数によ
って異なるが試料表面から数十μないし数玉離れた位置
である。前記試料に対して合焦点位置に音波レンズを配
置する場合、該合焦点位置に音波レンズが位置した時点
で反射エコーが最大となることを利用し、該音波レンズ
と試料との間隔を調整していた。しかしながら、音波レ
ンズと試料との間の音波伝播を行なうための媒質例えば
水等に泡を含んでいたり、前記試料からの反射エコーが
小さい場合等、前述の反射エコーの最大点を求めること
ができず５間隔調整時に音波レンズと試料とが接触して
双方が損傷する恐れがあった。また、音波レンズあるい
は試料の走査面と試料表面とが一致せず傾きを有してい
る場合、試料表面と走査面との相対的な傾きを調整する
必要があり、この操作時においても、音波レンズと試料
とが接触する可能性が大きかった。
めに、該試料と音波レンズとを相対的に動かす、すなわ
ち走査する必要がある。また、前記音波レンズの試料に
対する合焦点位置は、観察に用いる超音波の周波数によ
って異なるが試料表面から数十μないし数玉離れた位置
である。前記試料に対して合焦点位置に音波レンズを配
置する場合、該合焦点位置に音波レンズが位置した時点
で反射エコーが最大となることを利用し、該音波レンズ
と試料との間隔を調整していた。しかしながら、音波レ
ンズと試料との間の音波伝播を行なうための媒質例えば
水等に泡を含んでいたり、前記試料からの反射エコーが
小さい場合等、前述の反射エコーの最大点を求めること
ができず５間隔調整時に音波レンズと試料とが接触して
双方が損傷する恐れがあった。また、音波レンズあるい
は試料の走査面と試料表面とが一致せず傾きを有してい
る場合、試料表面と走査面との相対的な傾きを調整する
必要があり、この操作時においても、音波レンズと試料
とが接触する可能性が大きかった。
したがって、音波レンズと試料との相対的な二次元走査
時に前記接触が起ると、音波レンズが破壊するとともに
試料にも傷が生じ、観察不能になる等の問題があった。
時に前記接触が起ると、音波レンズが破壊するとともに
試料にも傷が生じ、観察不能になる等の問題があった。
このため、音波レンズと試料との間隔調整すなわち音波
レンズの合焦点位置への位置決めには細心の注意をはら
う必要があり、観察時が永くなる傾向にあり、十分な配
慮がなされていなかった。なお、この種の装置としては
、特開昭５７−１５６８７号公報が公知である。
レンズの合焦点位置への位置決めには細心の注意をはら
う必要があり、観察時が永くなる傾向にあり、十分な配
慮がなされていなかった。なお、この種の装置としては
、特開昭５７−１５６８７号公報が公知である。
上記従来技術は、前述のように音波レンズと試料との間
隔すなわち合焦点位置を決定する際に、該音波レンズと
試料とが接触する恐れがあるため、操作が慎重になり、
観察時間の増化等効率低下を来すとともに、前記接触が
生じた場合には以後観察が続行できないという欠点があ
った。なお、前記不具合は媒質内に泡が混入したり、あ
るいは、走査面と試料表面との傾斜によって、反射エコ
ーが小さい場合鉦こ特に前述の不具合が生じ易いという
欠点があった。
隔すなわち合焦点位置を決定する際に、該音波レンズと
試料とが接触する恐れがあるため、操作が慎重になり、
観察時間の増化等効率低下を来すとともに、前記接触が
生じた場合には以後観察が続行できないという欠点があ
った。なお、前記不具合は媒質内に泡が混入したり、あ
るいは、走査面と試料表面との傾斜によって、反射エコ
ーが小さい場合鉦こ特に前述の不具合が生じ易いという
欠点があった。
本発明の目的とするところは、音波レンズと試料との接
触を防止し、効率的な試料の観察が行なえる超音波顕微
鏡を提供することにある。
触を防止し、効率的な試料の観察が行なえる超音波顕微
鏡を提供することにある。
上記目的は、音波レンズと試料との相対的な走査を行な
う空気軸受において、該空気軸受における空気圧を検知
する圧力検出手段を設けたことにより達成される。
う空気軸受において、該空気軸受における空気圧を検知
する圧力検出手段を設けたことにより達成される。
すなわち、音波レンズと試料との間で相対的な。
走査を行なうため、試料あるいは音波レンズを空気軸受
で支持し、音波レンズにはその先端に対応してわずかに
試料側へ突出させた当り防止手段を設け、該音波レンズ
と試料との間隔調整時の前記当り防止手段と試料との接
触を前記圧力検出手段により空気軸受の変動として検出
するようにしたものであり、音波レンズと試料との直接
的な接触を避けることによって前記目的を達成できる。
で支持し、音波レンズにはその先端に対応してわずかに
試料側へ突出させた当り防止手段を設け、該音波レンズ
と試料との間隔調整時の前記当り防止手段と試料との接
触を前記圧力検出手段により空気軸受の変動として検出
するようにしたものであり、音波レンズと試料との直接
的な接触を避けることによって前記目的を達成できる。
以下、本発明による超音波顕微鏡の一実施例を図によっ
て説明する。同図において、ｌはレンズホルダ２を音波
レンズ３を支持する加振板で、その端部は図中Ｘ方向の
加振を行なうだめの駆動源である加振器５と接続されて
いる。また、該加振板ｌは図中右側にその断面を示した
気体軸受すなわち空気軸受７で前記加振動作が行なえる
ように支持されている。なお、前記空気軸受７は前記加
振板ｌの上下および側端面に配置された吹出ロアａｅ
７ｂｌ ７Ｃを有しており、これらの吹出ロアａｔ
７ｂｌ ７Ｃから空気を吹き出すことにより加振
板１を走査可能に支持するものである。６は該空気軸受
７の少なくとも上下方向の吹出ロアａまたは７Ｃの一方
における供給空気圧力の変化を検知する圧力検出器であ
る。４は前記音波レンズ３に併設してレンズホルダ２に
取付けられた当り防止具で、音波レンズ３の半球穴が形
成されている先端部よりわずかに突出して設置されてい
る。９は前記音波レンズ３に対向して配置された試料で
、試料台８によって図中Ｙ方向すなわち前記Ｘ方向と直
交する方向に走査可能に支持されている。１０は前記加
振器５のＸ方向の走査および試料台８のＹ方向の走査を
同期させて二次元走査を行なわせるための走査制御器で
ある。１１は前記圧力検出器６に接続された異常検出器
で、空気軸受７における供給圧力に変化が生じた際の該
圧力検出器６からの入力により制御信号を出力するもの
である。
て説明する。同図において、ｌはレンズホルダ２を音波
レンズ３を支持する加振板で、その端部は図中Ｘ方向の
加振を行なうだめの駆動源である加振器５と接続されて
いる。また、該加振板ｌは図中右側にその断面を示した
気体軸受すなわち空気軸受７で前記加振動作が行なえる
ように支持されている。なお、前記空気軸受７は前記加
振板ｌの上下および側端面に配置された吹出ロアａｅ
７ｂｌ ７Ｃを有しており、これらの吹出ロアａｔ
７ｂｌ ７Ｃから空気を吹き出すことにより加振
板１を走査可能に支持するものである。６は該空気軸受
７の少なくとも上下方向の吹出ロアａまたは７Ｃの一方
における供給空気圧力の変化を検知する圧力検出器であ
る。４は前記音波レンズ３に併設してレンズホルダ２に
取付けられた当り防止具で、音波レンズ３の半球穴が形
成されている先端部よりわずかに突出して設置されてい
る。９は前記音波レンズ３に対向して配置された試料で
、試料台８によって図中Ｙ方向すなわち前記Ｘ方向と直
交する方向に走査可能に支持されている。１０は前記加
振器５のＸ方向の走査および試料台８のＹ方向の走査を
同期させて二次元走査を行なわせるための走査制御器で
ある。１１は前記圧力検出器６に接続された異常検出器
で、空気軸受７における供給圧力に変化が生じた際の該
圧力検出器６からの入力により制御信号を出力するもの
である。
丘は前記空気軸受７に圧縮空気を供給する空気源、１３
は該空気源認と空気軸受７の吹出ロアａ、７ｂとを接続
する配管途中に設けられた切換弁である。
は該空気源認と空気軸受７の吹出ロアａ、７ｂとを接続
する配管途中に設けられた切換弁である。
該切換弁１３は前記異常検出器１１の制御信号によって
操作されるもので、前記圧力検出器６が空気軸受７への
供給空気圧力に変化が生じたことを検知した時点で異常
検出器１１が作動し、その制御信号によって空気軸受７
の吹出ロアａ、７ｂへの圧縮空気供給を停止するもので
ある。該切換弁１３の動作によって吹出ロアａ、７ｂへ
は圧縮空気が供給されないこととなる。したがって、前
記空気軸受７の吹出ロアＣのみが圧縮空気を吹き出して
しすることになり、加振器１は通常の支持位置よりも上
昇することになる。１４は音波レンズ２に設けられた圧
電膜に電力を供給するためのコネクタ、１５は該コネク
タ１４に接続されたケーブルである。
操作されるもので、前記圧力検出器６が空気軸受７への
供給空気圧力に変化が生じたことを検知した時点で異常
検出器１１が作動し、その制御信号によって空気軸受７
の吹出ロアａ、７ｂへの圧縮空気供給を停止するもので
ある。該切換弁１３の動作によって吹出ロアａ、７ｂへ
は圧縮空気が供給されないこととなる。したがって、前
記空気軸受７の吹出ロアＣのみが圧縮空気を吹き出して
しすることになり、加振器１は通常の支持位置よりも上
昇することになる。１４は音波レンズ２に設けられた圧
電膜に電力を供給するためのコネクタ、１５は該コネク
タ１４に接続されたケーブルである。
このような構成において、試料９の観察を行なう場合、
走査制御器１０の指令により加振器５および試料台８を
動作させＸ方向およびＹ方向の走査を同期させて行なう
。すなわち、加振器５によって加振板１をＸ方向に加振
するととも曝こ該加振と同期させて試料台８をステッピ
ングモータ（図示省略）等によってＹ方向へ移動させ、
音波レンズ３と試料９との相対的な二次元走査を行なっ
て該試料９の超音波画像を撮像する。次に、音波レンズ
３と試料９との間隔設定すなわち合焦点位置合せを行な
う必要がある。この時、該音波レンズ３と試料９とを近
づけ過ぎた場合、まず、当り防止具４が試料９の表面に
接触する。この接触によって加振板１で支持する荷重が
変化するため、空気軸受７の各吹出口？ａ、７ｂ、７ｃ
と前記加振板ｌとの間隔が変化する。この間隔の変化に
よって特に吹出ロアａ、７ｃの供給圧力に変化が生じ、
この変化を圧力検出器６が検出する。そして、異常検出
器１１に出力し、該異常検出器では切換弁３に制御信号
を出力して吹出ロアａおよび７ｂへの圧縮空気の供給を
停止する。したがって、空気軸受７では吹出ロアＣのみ
に圧縮空気が供給されることとなり、加振板１は該加振
板１と空気軸受７との隙間はど上昇することになる。こ
のことにより、前記当り防止具４が試料９に接触した際
に、瞬時に加振板１を上昇させることができるため、試
料９表面の損傷を最少限にすることができる。
走査制御器１０の指令により加振器５および試料台８を
動作させＸ方向およびＹ方向の走査を同期させて行なう
。すなわち、加振器５によって加振板１をＸ方向に加振
するととも曝こ該加振と同期させて試料台８をステッピ
ングモータ（図示省略）等によってＹ方向へ移動させ、
音波レンズ３と試料９との相対的な二次元走査を行なっ
て該試料９の超音波画像を撮像する。次に、音波レンズ
３と試料９との間隔設定すなわち合焦点位置合せを行な
う必要がある。この時、該音波レンズ３と試料９とを近
づけ過ぎた場合、まず、当り防止具４が試料９の表面に
接触する。この接触によって加振板１で支持する荷重が
変化するため、空気軸受７の各吹出口？ａ、７ｂ、７ｃ
と前記加振板ｌとの間隔が変化する。この間隔の変化に
よって特に吹出ロアａ、７ｃの供給圧力に変化が生じ、
この変化を圧力検出器６が検出する。そして、異常検出
器１１に出力し、該異常検出器では切換弁３に制御信号
を出力して吹出ロアａおよび７ｂへの圧縮空気の供給を
停止する。したがって、空気軸受７では吹出ロアＣのみ
に圧縮空気が供給されることとなり、加振板１は該加振
板１と空気軸受７との隙間はど上昇することになる。こ
のことにより、前記当り防止具４が試料９に接触した際
に、瞬時に加振板１を上昇させることができるため、試
料９表面の損傷を最少限にすることができる。
また、音波レンズ３についても当り防止具４が試料９側
へ突出しているため、必ず該当り防止具４が先・こ試料
９に接触することになり、該音波レンズ３が損傷するこ
とはない。
へ突出しているため、必ず該当り防止具４が先・こ試料
９に接触することになり、該音波レンズ３が損傷するこ
とはない。
さらに、前記異常検出器１１の制御信号を走査制御器１
０にも出力することにより、該走査制御器１０で二次元
走査を停止させることができる。したがって、当り防止
具４と試料９との接触に伴って生じる走査駆動系の損傷
および当り防止具４と試料９の損傷を防止できる。
０にも出力することにより、該走査制御器１０で二次元
走査を停止させることができる。したがって、当り防止
具４と試料９との接触に伴って生じる走査駆動系の損傷
および当り防止具４と試料９の損傷を防止できる。
このような構成によれば、音波レンズ３と試料９とが接
触することがなく、双方の損傷を防止できる。また、当
り防止具４と試料９との接触時・こおいて、即座に加振
板１を上昇させ、かつ、二次元走査を停止させるため、
試料９の損傷を最少限に押えることができる。したがっ
て、音波レンズ３の取替えあるいは試料９表面の再仕上
げ等の操作もなくすか、あるいは、大幅に削減できるた
め、効率的な該試料９の観察が行なえる。
触することがなく、双方の損傷を防止できる。また、当
り防止具４と試料９との接触時・こおいて、即座に加振
板１を上昇させ、かつ、二次元走査を停止させるため、
試料９の損傷を最少限に押えることができる。したがっ
て、音波レンズ３の取替えあるいは試料９表面の再仕上
げ等の操作もなくすか、あるいは、大幅に削減できるた
め、効率的な該試料９の観察が行なえる。
なお、前記一実施例においては、音波レンズを気体軸受
で支持した実施例について説明したが、本発明はこれ帳
こ限定されるものではな（、試料を気体軸受で支持する
方式の超音波顕微鏡にお（４でも同様な効果を有するも
のである。その場合、気体軸受の接触後の移動方向が異
なる。
で支持した実施例について説明したが、本発明はこれ帳
こ限定されるものではな（、試料を気体軸受で支持する
方式の超音波顕微鏡にお（４でも同様な効果を有するも
のである。その場合、気体軸受の接触後の移動方向が異
なる。
以上説明したように本発明によれば、音波レンズと試料
との接触を防止することができ、効率的な試料の観察が
行なえる。
との接触を防止することができ、効率的な試料の観察が
行なえる。
図は本発明による超音波顕微鋼の一実施例を示す回路図
である。
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、音波レンズと試料とを相対的に機械走査し、該試料
の撮像を行なう超音波顕微鏡において、前記機械走査手
段として気体軸受を用い、該気体軸受に供給される圧縮
空気の圧力変化を検知する圧力検出器と、該圧力検出器
の圧力検出結果によって異常検知の制御出力を出力する
制御手段とから構成したことを特徴とする超音波顕微鏡
。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記制御手段を、
試料と音波レンズとの間隔を拡げる制御指令を出力する
ものとしたことを特徴とする超音波顕微鏡。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記制御手段を、
試料と音波レンズとの相対的な走査動作を停止させる制
御指令を出力するものとしたことを特徴とする超音波顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046164A JPH063438B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046164A JPH063438B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62204154A true JPS62204154A (ja) | 1987-09-08 |
| JPH063438B2 JPH063438B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=12739373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61046164A Expired - Lifetime JPH063438B2 (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063438B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5745448B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2015-07-08 | 三菱電機株式会社 | レンズ駆動装置およびレーザ加工装置 |
-
1986
- 1986-03-05 JP JP61046164A patent/JPH063438B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063438B2 (ja) | 1994-01-12 |
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