JPS62204265U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62204265U JPS62204265U JP9165286U JP9165286U JPS62204265U JP S62204265 U JPS62204265 U JP S62204265U JP 9165286 U JP9165286 U JP 9165286U JP 9165286 U JP9165286 U JP 9165286U JP S62204265 U JPS62204265 U JP S62204265U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold panel
- cryopump
- cold
- main body
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例１に係るクライオポン
プの説明図、第２図は第１図のクライオポンプの
一部を構成するコールドパネルの断面図、第３図
は従来のコールドパネルの断面図、第４図は本考
案の実施例２に係る真空容器の説明図である。 １……ケーシング、２，４……コールドパネル
、２ａ……コールドパネル本体、２ｂ……黒化層
、３……コールドバツフル、５……活性炭、６…
…冷凍機、７……コールドヘツド。
プの説明図、第２図は第１図のクライオポンプの
一部を構成するコールドパネルの断面図、第３図
は従来のコールドパネルの断面図、第４図は本考
案の実施例２に係る真空容器の説明図である。 １……ケーシング、２，４……コールドパネル
、２ａ……コールドパネル本体、２ｂ……黒化層
、３……コールドバツフル、５……活性炭、６…
…冷凍機、７……コールドヘツド。
Claims (1)
- クライオポンプ又は真空容器内部に設置される
とともに、冷凍機又は冷媒により冷却されるコー
ルドパネルにおいて、銅を含む金属からなるコー
ルドパネル本体の表面を陽極酸化法により黒化す
ることを特徴とするコールドパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165286U JPS62204265U (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165286U JPS62204265U (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62204265U true JPS62204265U (ja) | 1987-12-26 |
Family
ID=33446818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9165286U Pending JPS62204265U (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62204265U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5239841A (en) * | 1975-09-25 | 1977-03-28 | Hitachi Ltd | Absorption face for sunheat water heater |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP9165286U patent/JPS62204265U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5239841A (en) * | 1975-09-25 | 1977-03-28 | Hitachi Ltd | Absorption face for sunheat water heater |
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