JPS62206840A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造装置Info
- Publication number
- JPS62206840A JPS62206840A JP4926486A JP4926486A JPS62206840A JP S62206840 A JPS62206840 A JP S62206840A JP 4926486 A JP4926486 A JP 4926486A JP 4926486 A JP4926486 A JP 4926486A JP S62206840 A JPS62206840 A JP S62206840A
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- JP
- Japan
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- lead frame
- solder
- rail
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- chips
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- Pending
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 abstract description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造装置に関するものである。
従来、この種の半導体装置の製造装置には、第3図に示
す、ように半導体素子1が搭載されたリードフレーム4
の両側縁を搬送レール2により支え、リードフレーム4
を搬送レール2上に滑走させて搬送するものがある。3
はリードフレーis 4のン%き上がりを防止するレー
ルガイドである。従来、搬送レール2の支持面2aは平
坦であり、リードフレーム4に面接触させていた。
す、ように半導体素子1が搭載されたリードフレーム4
の両側縁を搬送レール2により支え、リードフレーム4
を搬送レール2上に滑走させて搬送するものがある。3
はリードフレーis 4のン%き上がりを防止するレー
ルガイドである。従来、搬送レール2の支持面2aは平
坦であり、リードフレーム4に面接触させていた。
ところで、半製品の半導体素子を搭載しているリードフ
レーム4にはハンダメッキが施されている。
レーム4にはハンダメッキが施されている。
しかしながら、従来のようにリードフレーム4は搬送レ
ール2に面接触しているから、リード、フレーム4の滑
走時の摩擦力が大きいため、リードフレー1z4のハン
ダメッキが剥がれ、これが半製品の半導体素子に付着し
5次工程でハンダくずが付着したまま半導体素子が樹脂
月止されてしまい、品質を低下させる慮れがあった、ま
たハンダくずが搬送レールに付着し、円滑な搬送の妨げ
になるという問題があった。
ール2に面接触しているから、リード、フレーム4の滑
走時の摩擦力が大きいため、リードフレー1z4のハン
ダメッキが剥がれ、これが半製品の半導体素子に付着し
5次工程でハンダくずが付着したまま半導体素子が樹脂
月止されてしまい、品質を低下させる慮れがあった、ま
たハンダくずが搬送レールに付着し、円滑な搬送の妨げ
になるという問題があった。
本発明の[1的はリードフレーt1と搬送レールとの摩
擦力を減少させることにより、リードフレームからのハ
ンダの剥がれを防止する半導体装置の製造装置である。
擦力を減少させることにより、リードフレームからのハ
ンダの剥がれを防止する半導体装置の製造装置である。
本発明は半導体素子が搭載されたリードフレームの両側
縁を搬送レールにより支え、リードフレームを搬送レー
ル上に滑走させて搬送する半導体装置の製造装置におい
て、搬送レールの支持面を中高状に形成し、該搬送レー
ルの中高状支持面でリードフレームの両側縁を支えたこ
とを特徴とする半導体装置の製造装置である。
縁を搬送レールにより支え、リードフレームを搬送レー
ル上に滑走させて搬送する半導体装置の製造装置におい
て、搬送レールの支持面を中高状に形成し、該搬送レー
ルの中高状支持面でリードフレームの両側縁を支えたこ
とを特徴とする半導体装置の製造装置である。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図、第2Ij!iにおいて、搬送レール2の長さ方
向にリードフレーム4」−の半導体索子1との接触を避
ける溝zbを設け、1梓2bの両側壁の断面を滑らかな
曲面をなす中高状に形状し、該中高状支持面2a、2a
の頂部にリードフレーム4の両側縁を支える。3はリー
ドフレーム4の浮き上がりを防止するレールガイドであ
る。
向にリードフレーム4」−の半導体索子1との接触を避
ける溝zbを設け、1梓2bの両側壁の断面を滑らかな
曲面をなす中高状に形状し、該中高状支持面2a、2a
の頂部にリードフレーム4の両側縁を支える。3はリー
ドフレーム4の浮き上がりを防止するレールガイドであ
る。
したがっ;、本発明によれば、搬送レール2の中、(″
6状支持而2a、2aによりリードフレーム4の両側縁
を支えるため、!JQ送レール2はリードフレーム4に
対して線接触することとなり、面接触による摩擦抵抗が
小さく、したがってハンダメッキ剥がれによるハンダく
ずの発生が少なくなり、たとえ、くずが発生してもレー
ルの中高状曲縁より落下するため、搬送レール内部への
ハンダくず詰り。
6状支持而2a、2aによりリードフレーム4の両側縁
を支えるため、!JQ送レール2はリードフレーム4に
対して線接触することとなり、面接触による摩擦抵抗が
小さく、したがってハンダメッキ剥がれによるハンダく
ずの発生が少なくなり、たとえ、くずが発生してもレー
ルの中高状曲縁より落下するため、搬送レール内部への
ハンダくず詰り。
又半製品への付着等の問題はなくなる。
以上説明したように本発明は半導体装置が搭載されたリ
ードフレームを線接触にてガイドするようにしたので、
リードフレームのハンダメッキ剥がれを防止し、半製品
へのハンダくず付着による品質低下の問題を解消でき、
かつm送し−ル内部へのハンダくず詰りによる搬送1〜
ラブル発生を防止できるという効果がある。
ードフレームを線接触にてガイドするようにしたので、
リードフレームのハンダメッキ剥がれを防止し、半製品
へのハンダくず付着による品質低下の問題を解消でき、
かつm送し−ル内部へのハンダくず詰りによる搬送1〜
ラブル発生を防止できるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は同斜
視図、第3図は従来例を示す断面図である。
視図、第3図は従来例を示す断面図である。
Claims (1)
- (1)半導体素子が搭載されたリードフレームの両側縁
を搬送レールにより支え、リードフレームを搬送レール
上に滑走させて搬送する半導体装置の製造装置において
、搬送レールの支持面を中高状に形成し、該搬送レール
の中高状支持面でリードフレームの両側縁を支えたこと
を特徴とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4926486A JPS62206840A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 半導体装置の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4926486A JPS62206840A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 半導体装置の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62206840A true JPS62206840A (ja) | 1987-09-11 |
Family
ID=12825967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4926486A Pending JPS62206840A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | 半導体装置の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62206840A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6367791B1 (en) * | 2000-07-07 | 2002-04-09 | Stratasys, Inc. | Substrate mounting system for a three-dimensional modeling machine |
| KR100383514B1 (ko) * | 2001-05-15 | 2003-05-12 | 한미반도체 주식회사 | 소형반도체 패키지 이송장치 |
| USD514913S1 (en) | 2004-02-10 | 2006-02-14 | Stratasys, Inc. | Three-dimensional modeling substrate |
| US7127309B2 (en) | 2004-02-10 | 2006-10-24 | Stratasys, Inc. | Modeling apparatus with tray substrate |
-
1986
- 1986-03-06 JP JP4926486A patent/JPS62206840A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6367791B1 (en) * | 2000-07-07 | 2002-04-09 | Stratasys, Inc. | Substrate mounting system for a three-dimensional modeling machine |
| KR100383514B1 (ko) * | 2001-05-15 | 2003-05-12 | 한미반도체 주식회사 | 소형반도체 패키지 이송장치 |
| USD514913S1 (en) | 2004-02-10 | 2006-02-14 | Stratasys, Inc. | Three-dimensional modeling substrate |
| US7127309B2 (en) | 2004-02-10 | 2006-10-24 | Stratasys, Inc. | Modeling apparatus with tray substrate |
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