JPS6220863A - Production of surface coated high speed steel member for cutting tool - Google Patents
Production of surface coated high speed steel member for cutting toolInfo
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- JPS6220863A JPS6220863A JP15785385A JP15785385A JPS6220863A JP S6220863 A JPS6220863 A JP S6220863A JP 15785385 A JP15785385 A JP 15785385A JP 15785385 A JP15785385 A JP 15785385A JP S6220863 A JPS6220863 A JP S6220863A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、表面に硬質の被覆層が形成されている切削
工具用表面被覆高速度鋼部材の製造方法に関し、特に、
表面に硬質のチタン化合物被覆層が形成されている。耐
久性に優れた切削工具用表面被覆高速度鋼部材を1反応
性の物理蒸着法を利用して製造する方法に関するもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing a surface-coated high-speed steel member for a cutting tool, in which a hard coating layer is formed on the surface, and in particular,
A hard titanium compound coating layer is formed on the surface. The present invention relates to a method for producing surface-coated high-speed steel members for cutting tools with excellent durability using a one-reactivity physical vapor deposition method.
従来、高速度鋼(以下、ハイスという)は、高速切削に
耐える高い硬さと優れた靭性を有するので1切削工具の
素材として広く使用されているが、このハイス表面に炭
化チタンや窒化チタンのようなチタン化合物からなる硬
質被覆層を設けると、それによって耐溶着性と対焼付性
および耐摩耗性が向上し、工具寿命が飛躍的に延びると
ころから1最近ではこのような被覆層をハイス表面に設
けることも工業的に盛んに利用されており、例えば反応
性の物理蒸着法を利用してスローアウェイチップ表面に
2μm程度の炭化チタンや窒化チタン層を被覆したコー
ティングチップが普及している。Conventionally, high-speed steel (hereinafter referred to as HSS) has been widely used as a material for cutting tools because it has high hardness and excellent toughness that can withstand high-speed cutting. Providing a hard coating layer made of a titanium compound improves welding resistance, seizure resistance, and wear resistance, and dramatically extends tool life. For example, coating chips in which the surface of the indexable chip is coated with a titanium carbide or titanium nitride layer of about 2 μm using a reactive physical vapor deposition method are widely used.
このような炭化チタンまたは窒化チタンの表面被覆層を
有する切削工具用ハイス部材は1反応性の物理蒸着法に
より、まずハイス基体を圧カニlO””〜10−3To
rrの真空雰囲気中で温度: 400〜450℃に加熱
してから、圧カニ 10−’ 〜10−2Torrにお
いてアルゴンによるイオンエツチングを随意にこの基体
に施した後、引続きこの温度と圧力を維持しながら、炭
化チタンまたは窒化チタンによる被覆反応を起こすこと
、すなわち電子ビームなどによって蒸発させた金属チタ
ンおよび被覆炉中に供給されたアセチレンまたは窒素ガ
スをそれぞれイオン化してf1+およびC+または炉と
し、これらのイオンを負に帯電させた基体上に電気的に
引寄せてそれぞれ炭化チタンまたは窒化チタンからなる
被膜を基体表面に形成させること、によって製造されて
いる。A high speed steel member for a cutting tool having a surface coating layer of titanium carbide or titanium nitride is first coated with a pressure crab of 1O"" to 10-3To by a one-reactive physical vapor deposition method.
After heating the substrate to a temperature of 400-450°C in a vacuum atmosphere of rr, the substrate is optionally subjected to ion etching with argon at a pressure crab of 10-' to 10-2 Torr, followed by subsequent maintenance of this temperature and pressure. However, by causing a coating reaction with titanium carbide or titanium nitride, in other words, metallic titanium evaporated by an electron beam or the like and acetylene or nitrogen gas supplied into the coating furnace are ionized to form f1+ and C+ or the furnace, and these It is manufactured by electrically attracting ions onto a negatively charged substrate to form a coating made of titanium carbide or titanium nitride, respectively, on the surface of the substrate.
しかしながら、上記のように400〜450℃において
炭化チタンまたは窒化チタンのようなチタン化合物をハ
イス基体にコーティングすると。However, if a titanium compound such as titanium carbide or titanium nitride is coated on a high speed steel substrate at 400 to 450°C as described above.
これらのチタン化合物によって形成される被覆層とハイ
ス基体との直接的な結合および被覆層の基体に対する拡
散が殆ど生じないため、その被覆層は密着性に乏しく、
このようにして得られた表面被覆ハイス切削工具は切削
時に剥離を生じ易く1したがって工具寿命が短いという
欠点があった。Direct bonding between the coating layer formed by these titanium compounds and the HSS substrate and diffusion of the coating layer into the substrate hardly occur, so the coating layer has poor adhesion.
The thus obtained surface-coated high-speed steel cutting tool has the disadvantage that it tends to peel off during cutting, 1 and therefore has a short tool life.
そこで1本発明者等は、このような問題を解決するため
に種々研究を重ねた結果。Therefore, the inventors of the present invention have conducted various studies to solve such problems.
(1) 炭化チタン1窒化チタン、炭窒化チタン。(1) Titanium carbide 1 Titanium nitride, titanium carbonitride.
炭窒酸化チタンおよび炭酸化チタン(以下、これらをそ
れぞれTiC、TiN 、 T1CN 、 TiCN0
およびTiC0で表わし、また便宜上これらを総称して
チタンの炭・窒・酸化物という)を1反応性の物理蒸着
法によってハイス基体にコーティングする場合、基体の
温度をハイスの焼戻し温度よりも高くすると、ハイスの
変態に伴う被覆層と基体との直接的な反応および被覆層
の基体への拡散が増進して1両者の間の密着性が向上す
ること。Titanium carbonitride oxide and titanium carbonate (hereinafter referred to as TiC, TiN, T1CN, TiCN0, respectively)
When coating a high speed steel substrate with titanium carbon, nitride, and oxide (denoted as titanium carbon, nitride, and titanium oxide for convenience) by one-reactive physical vapor deposition, the temperature of the substrate is higher than the tempering temperature of the high speed steel. , the direct reaction between the coating layer and the substrate accompanying the transformation of the high speed steel and the diffusion of the coating layer into the substrate are promoted, and the adhesion between the two is improved.
(2) ハイスの焼戻し温度は一般に530〜650
℃と低いため、前記の基体温度を極端に上昇させたり、
あるいはその上昇させた温度を長時間保持するとハイス
がなまって軟化するので、その温度は560〜650℃
で、コーティング時間は2〜10分間が適していること
。(2) The tempering temperature of high speed steel is generally 530 to 650.
Because it is as low as ℃, it may cause the substrate temperature to rise extremely,
Alternatively, if the elevated temperature is maintained for a long time, the high speed steel will become dull and soften, so the temperature should be 560 to 650℃.
A suitable coating time is 2 to 10 minutes.
(3) 前記コーティングでは十分な厚さの被覆層が
得られないが1これを予備的なコーティングとし、その
後本コーティングによって、この予備コーティングによ
って形成された予備被覆層の上に全体で厚さ0.5〜1
0μmとなる本被覆層を形成させれば、全体として密着
性の優れた被覆層が得られ、その結果工具寿命が飛躍的
に延びた切削工具用表面被覆ハイス部材が得られること
、(4)予備コーティングの後に施す本コーティング時
の基体温度を従来より若干高めてもハイスに対して悪影
響を及ぼすことなく、前記予備被覆層となじみのよい本
被覆層が得られ1本コーティング温度としては450〜
500℃が適していること。(3) Although the above coating does not provide a coating layer with sufficient thickness, 1 this is used as a preliminary coating, and then the main coating is applied to the preliminary coating layer formed by this preliminary coating to a total thickness of 0. .5-1
(4) If this coating layer with a thickness of 0 μm is formed, a coating layer with excellent adhesion as a whole can be obtained, and as a result, a surface-coated high speed steel member for a cutting tool with a dramatically extended tool life can be obtained; Even if the substrate temperature during the main coating applied after the preliminary coating is slightly higher than before, there is no adverse effect on the HSS, and a main coating layer that is compatible with the preliminary coating layer can be obtained.
500℃ is suitable.
(5)前記予備コーティング終了後、予備コーティング
の温度より降温しながら本コーティングを開始した場合
でも前述のとおυ密着性に優れた被覆層が得られること
、
を見出した。(5) It has been found that even when the main coating is started after the preliminary coating is completed while the temperature is lowered from the temperature of the preliminary coating, a coating layer excellent in vu adhesion as described above can be obtained.
この発明は、上記知見に基づいて発明されたもので、
反応性の物理蒸着法を利用して、チタンの炭・窒・酸化
物のうちから選ばれたいずれか1種の被覆成分を切削工
具用高速度鋼基体にコーティングすることによって、前
記被覆成分からなる被覆層が表面に形成されている切削
工具用表面被覆高速度鋼部材を製造する方法において、
前記基体を真空中で温度=560〜650℃に昇温した
後、直ちにこの温度において前記被覆成分を前記基体に
2〜10分間予備コーティングして、前記基体表面に前
記被覆成分からなる予備被覆層を形成させ1ついでこの
ように予備コーティングされた前記基体を温度:450
〜500℃まで降温した後、またはその降温途中および
前記降温後において、前記予備被覆層を形成させるため
に使用した被覆成分と同じ被覆成分を前記予備被覆層の
上に本コーティングして、前記予備被覆層表面に前記被
覆成分からなる本被覆層を形成させ、それ(でよって。This invention was invented based on the above knowledge, and utilizes a reactive physical vapor deposition method to coat cutting tools with any one of titanium's coating components selected from carbon, nitrate, and oxide. A method for producing a surface-coated high-speed steel member for a cutting tool, in which a coating layer made of the coating component is formed on the surface by coating a high-speed steel substrate for use,
After heating the substrate in vacuum to a temperature of 560 to 650°C, immediately pre-coat the coating component on the substrate at this temperature for 2 to 10 minutes to form a preliminary coating layer made of the coating component on the surface of the substrate. The thus precoated substrate was then heated to a temperature of 450°C.
After the temperature has been lowered to ~500°C, or during and after the temperature drop, the same coating component as that used to form the pre-coating layer is main-coated on the pre-coating layer to form the pre-coating layer. A main coating layer made of the coating component is formed on the surface of the coating layer, and then the main coating layer is formed on the surface of the coating layer.
前記予備被覆層と本被覆層とからなる。全体で厚さ10
5〜10μmの被覆層を前記基体にコーティングするこ
とを特徴とする、前記切削工具用表面被覆高速度鋼部材
の製造方法
を提供するものである。It consists of the preliminary coating layer and the main coating layer. Overall thickness 10
The present invention provides a method for manufacturing the surface-coated high-speed steel member for a cutting tool, characterized in that the substrate is coated with a coating layer of 5 to 10 μm.
ついで、この発明において、予備コーティング温度、予
備コーティング時間、本コーティング温度および被覆層
の厚さをそれぞれ上記のとおりに限定した理由を述べる
。Next, the reason why the pre-coating temperature, pre-coating time, main coating temperature and coating layer thickness are each limited as described above in this invention will be described.
(a) 予備コーティング温度
予備コーティング温度が5&0℃未満では予備被覆層と
基体との直接的な反応およびその被覆層の基体への拡散
が十分に達成されないために両者の間で所望の密着性が
得られず、一方それが650℃を越えると2〜10分間
の予備コーティング中にハイスがなまって軟化してしま
うところから。(a) Pre-coating temperature If the pre-coating temperature is less than 5°C, the direct reaction between the pre-coating layer and the substrate and the diffusion of the coating layer into the substrate will not be achieved sufficiently, so that the desired adhesion between the two will not be achieved. On the other hand, if the temperature exceeds 650°C, the HSS becomes dull and softens during preliminary coating for 2 to 10 minutes.
その予備コーティング温度を560〜650℃と定めた
。The pre-coating temperature was set at 560-650°C.
(b) 予備コーティング時間
予備コーティング時間が2分未満であると、基体を前記
の予備コーティング温度まで上昇させても、予備被覆層
と基体との直接的な反応およびその被覆層の基体への拡
散が十分に進行しないために両者の間で所望の密着性が
得られず、一方それが10分を越すと、基体を上記温度
に保ってもノ・イスがなまって軟化してしまうところか
ら、@記時間を2〜10分間と定めた。(b) Pre-coating time A pre-coating time of less than 2 minutes prevents direct reaction of the pre-coating layer with the substrate and diffusion of the coating layer into the substrate, even if the substrate is raised to the pre-coating temperature mentioned above. Because the adhesion does not proceed sufficiently, the desired adhesion cannot be obtained between the two, and on the other hand, if the adhesion exceeds 10 minutes, the adhesive becomes dull and softens even if the substrate is kept at the above temperature. The time was set at 2 to 10 minutes.
(Cj 本コーティング温度
一般に2本コーティング時の基体温度と予備コーティン
グ時とのそれとの差が小さい方が予備被覆層と本被覆層
とのなじみがよくなって耐久性に富んだ被覆層が得られ
るとともに、従来よりもコーティングの温度を若干、す
なわち50℃上昇させてもハイスに悪影響が現われない
ところから。(Cj Main coating temperature Generally speaking, the smaller the difference between the substrate temperature during two coatings and that during pre-coating, the better the pre-coating layer and main coating layer will fit together, resulting in a highly durable coating layer. In addition, even if the coating temperature is increased slightly, ie, by 50°C, compared to the conventional technology, there will be no adverse effect on the high speed steel.
従来の400〜450℃というコーティング温度の代り
に、この発明においては本コーティングの温度を450
〜500℃と定めた。Instead of the conventional coating temperature of 400-450°C, in this invention the coating temperature is 450°C.
The temperature was set at ~500°C.
(d) 被覆層の厚さ
被覆層全体の厚さが0..5μm未満では優れた切削性
能を示す切削工具用表面被覆ハイス部材が得られず、一
方それが10μmを越えても切削性能の上で格別の向上
効果が得られないことから、その厚さを0.5〜10μ
mと定めた。(d) Thickness of coating layer The thickness of the entire coating layer is 0. .. If the thickness is less than 5 μm, it will not be possible to obtain a surface-coated HSS member for a cutting tool that exhibits excellent cutting performance, and if it exceeds 10 μm, no particular improvement in cutting performance will be obtained. .5~10μ
It was determined as m.
この発明は、従来、チタンの炭・窒・酸化物被膜をハイ
ス基体表面に付着させるのに一般に利用されている反応
性の物理蒸着法によって遂行され、それには、アセチレ
ン、窒素または一酸化炭素のようなガスが導入されて、
10”−’〜10−2Torrの圧力に保たれている
被覆炉中で金属チタンを電子ビームなどによって蒸発さ
せるとともにこれらの反応成分を放電現象を利用してイ
オン化してTi”、N+、C”、O+等のイオンを生成
させ、そしてこれらの陽イオンをマイナス・チャージに
負荷されているハイス基体上に電気的吸引力によって付
着させ、それによって基体表面上にチタンの炭・窒・酸
化物の被膜を形成させる。The invention is accomplished by a reactive physical vapor deposition process conventionally commonly utilized to deposit titanium carbon-nitrogen-oxide coatings on the surface of high-speed steel substrates, including the use of acetylene, nitrogen, or carbon monoxide. When a gas like this is introduced,
In a coating furnace maintained at a pressure of 10"-' to 10-2 Torr, metallic titanium is evaporated using an electron beam or the like, and these reactive components are ionized using a discharge phenomenon to produce Ti", N+, and C". , O+, etc., and these cations are deposited on the negatively charged high-speed steel substrate by electrical attraction, thereby causing carbon, nitride, and oxides of titanium to be deposited on the surface of the substrate. Form a film.
この発明は種々の切削工具用表面被覆ノ1イス部材の製
造に適用できるが、特にスローアウェイチップに特有な
コーティングチップの製造に対して好都合に利用するこ
とができる。The present invention can be applied to the production of surface-coated nozzle members for various cutting tools, and can be particularly advantageously used for the production of coated tips specific to indexable tips.
ついで、この発明を実施例により比較例と対比しながら
説明する。Next, the present invention will be explained by examples and in comparison with comparative examples.
鋼種:5KH2のハイスを焼戻し温度=560〜580
℃において焼戻すことによって得られた、硬す:HRc
(ロックウェル硬さCスケール)64を有するハイスか
ら形状: T P P 322のスローアウェイチップ
を多数製作し、これらのチップを基体として、 10
−5Torrの真空度に保持した被覆層、中でこの基体
を560〜600℃の間の温度に昇温させた後、直ちに
この温度においてチタンの炭・窒・酸化物のうちのいず
れか1種を前記基体表面に5〜10分間予備コーティン
グし、ついで基体を450〜500℃まで降温した後、
予備コーティングにおいて使用した被覆成分と同じ被覆
成分を本コーティングすることによって本発明コーティ
ングチップ1〜8を製造するとともに1本発明方法の別
法として、前記製造法において基体温度を480℃まで
降温する間に本コーティングを開始する点1および前記
製造法において予備コーティングする前に、基体温度:
600℃において10〜20分間アルゴンによるエツチ
ングを施す点だけがそれぞれ前記製造法と異っている方
法によって、それぞれ本発明コーティングチップ9およ
び10を製造した。Steel type: 5KH2 high speed steel tempering temperature = 560-580
Hardness obtained by tempering at °C: HRc
(Rockwell hardness C scale) A large number of indexable tips with a shape of T P 322 were manufactured from high speed steel having a hardness of 64, and using these tips as a base, 10
Immediately after raising the temperature of this substrate to a temperature between 560 and 600°C in a coating layer maintained at a vacuum level of -5 Torr, at this temperature, any one of carbon, nitride, and oxide of titanium is formed. is pre-coated on the surface of the substrate for 5 to 10 minutes, and then the temperature of the substrate is lowered to 450 to 500 ° C.,
Coated chips 1 to 8 of the present invention are manufactured by main coating with the same coating components as those used in the preliminary coating, and as an alternative method to the method of the present invention, in the above manufacturing method, while lowering the substrate temperature to 480 ° C. At point 1 of starting the main coating and before pre-coating in the manufacturing method, the substrate temperature:
Coated chips 9 and 10 of the present invention were respectively manufactured by a method that differed from the above manufacturing method only in that etching with argon was performed at 600° C. for 10 to 20 minutes.
さらに比較のため、前記本発明コーティングチップ1〜
8を製造する方法において、その製造条件をこの発明の
範囲から外れた条件とし、かつ温度:450〜500℃
において10〜20分間エツチングを施すことにより(
外れた条件を※印で示す)比較コーティングチップ1お
よび2を製造するとともに、 l 0−5Torrの真
空度に保持した被覆炉中で前記基体を450℃に昇温さ
せた後、同温度においてアルゴンによるエツチングを基
体に施し、引続きその温度においてチタンの炭・窒・酸
化物をコーティングする従来方法によって1従来コーテ
イングチツプ1〜5を製造した。Furthermore, for comparison, the coating chips 1 to 1 of the present invention
8, the manufacturing conditions are outside the scope of the present invention, and the temperature is 450 to 500°C.
By etching for 10 to 20 minutes at (
In addition to manufacturing comparative coating chips 1 and 2 (indicated by *marks indicating conditions that differed from the above), the substrate was heated to 450°C in a coating furnace maintained at a vacuum level of 0-5 Torr, and then heated with argon at the same temperature. Conventional Coating Chips 1-5 were prepared by the conventional method of etching a substrate with a carbon-nitrate oxide of titanium at that temperature.
以上の各方法においては、いずれもエツチング時では基
体電圧: −1,5KV、 Ar圧力、1OTorrで
あり、コーティング時では基体電圧: −0,8KVで
あった。In each of the above methods, the substrate voltage was -1.5 KV and the Ar pressure was 1 O Torr during etching, and the substrate voltage was -0.8 KV during coating.
各チタン化合物の被覆層を形成させるだめの反応ガスと
コーティング時の炉内圧力は次の第1表のとおりであっ
た。The reaction gas used to form the coating layer of each titanium compound and the furnace pressure during coating were as shown in Table 1 below.
第 1 表
このようにして得られた各チップについて、その製造法
種別、予備コーティングの温度および時間1本コーティ
ング温度、および被覆層の成分と厚さを第2表に示した
。Table 1 For each chip thus obtained, the manufacturing method type, pre-coating temperature and time, single coating temperature, and coating layer components and thickness are shown in Table 2.
ついで、これらのチップおよび無コートチップのロック
ウェル硬さCスケール(HRC)を測定するとともに、
これらの工具寿命を評価するため下記の条件による切削
試験を実施し、 vB摩耗が0.3認に達するまでの切
削時間を測定して、これを工具寿命とした。Next, the Rockwell hardness C scale (HRC) of these chips and uncoated chips was measured, and
In order to evaluate the life of these tools, a cutting test was conducted under the following conditions, and the cutting time until vB wear reached 0.3 was measured, and this was taken as the tool life.
切削条件
被削材: SN0M8.HB: 250、ホルダ: P
22R−44、
切削速度: V = 60 m/mR,d −1,5m
x、f −0,1mx/ rev、。Cutting conditions Work material: SN0M8. HB: 250, holder: P
22R-44, cutting speed: V = 60 m/mR, d -1.5m
x, f −0,1mx/rev,.
以上の結果もまとめて第2表に示した。The above results are also summarized in Table 2.
第2表に示される結果から、従来コーティングチップは
工具寿命が15〜30分であって、その2.4および5
は切削中に被覆層が剥離したのに対し、本発明コーティ
ングチップはいずれも切削中に被覆層が剥離することな
く、その工具寿命が120〜170分と飛躍的に増大し
、また予備コーティング時間が長ずざるかまたはその温
度が高すぎる方法によって製造された比較コーティング
チップ1および2においては、切削中にハイスがなまっ
て軟化したために工具寿命は極めて短かかった。From the results shown in Table 2, the tool life of conventionally coated inserts is 15 to 30 minutes;
In contrast to the case where the coating layer peeled off during cutting, with the coated chips of the present invention, the coating layer did not peel off during cutting, and the tool life was dramatically increased to 120 to 170 minutes. In Comparative Coated Chips 1 and 2, which were manufactured by a method in which the cutting time was not long or the temperature was too high, the tool life was extremely short because the HSS became dull and softened during cutting.
以上述べた説明から明らかなように、この発明によると
1極めて耐摩耗性にすぐれ、したがって著しく工具寿命
の長い切削工具用表面被覆ハイス部材が得られるという
産業上有用な効果を得ることができる。As is clear from the above description, according to the present invention, it is possible to obtain an industrially useful effect of obtaining a surface-coated high speed steel member for a cutting tool that has extremely excellent wear resistance and therefore has an extremely long tool life.
Claims (1)
ン、炭窒化チタン、炭窒酸化チタンおよび炭酸化チタン
のうちから選ばれたいずれか1種の被覆成分を切削工具
用高速度鋼基体にコーティングすることによつて、前記
被覆成分からなる被覆層が表面に形成されている切削工
具用表面被覆高速度鋼部材を製造する方法において、前
記基体を真空中で温度:560〜650℃に昇温した後
、直ちにこの温度において前記被覆成分を前記基体に2
〜10分間予備コーティングして、前記基体表面に前記
被覆成分からなる予備被覆層を形成させ、ついでこのよ
うに予備コーティングされた前記基体を温度:450〜
500℃まで降温した後、またはその降温途中および前
記降温後において、前記予備被覆層を形成させるために
使用した被覆成分と同じ被覆成分を前記予備被覆層の上
に本コーティングして、前記予備被覆層表面に前記被覆
成分からなる本被覆層を形成させ、それによつて、前記
予備被覆層と本被覆層とからなる、全体で厚さ:0.5
〜10μmの被覆層を前記基体にコーティングすること
を特徴とする、前記切削工具用表面被覆高速度鋼部材の
製造方法。Using a reactive physical vapor deposition method, one coating component selected from titanium carbide, titanium nitride, titanium carbonitride, titanium carbonitride, and titanium carbonate is applied to a high-speed steel substrate for cutting tools. In the method for producing a surface-coated high-speed steel member for a cutting tool, the substrate is heated to a temperature of 560 to 650° C. in vacuum, the surface of which is coated with a coating layer made of the coating component. Immediately after raising the temperature, 2 coats of the coating component are applied to the substrate at this temperature.
Pre-coating for ~10 minutes to form a pre-coating layer made of the coating component on the surface of the substrate, and then heating the thus pre-coated substrate to a temperature of 450~
After the temperature has been lowered to 500° C., or during and after the temperature decrease, the same coating component as that used to form the pre-coating layer is main-coated on the pre-coating layer to form the pre-coating. A main coating layer made of the above-mentioned coating components is formed on the surface of the layer, whereby the total thickness of the preliminary coating layer and the main coating layer is 0.5.
A method for manufacturing a surface-coated high-speed steel member for a cutting tool, characterized in that the substrate is coated with a coating layer of ~10 μm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15785385A JPS6220863A (en) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | Production of surface coated high speed steel member for cutting tool |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15785385A JPS6220863A (en) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | Production of surface coated high speed steel member for cutting tool |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6220863A true JPS6220863A (en) | 1987-01-29 |
| JPH0377272B2 JPH0377272B2 (en) | 1991-12-10 |
Family
ID=15658799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15785385A Granted JPS6220863A (en) | 1985-07-17 | 1985-07-17 | Production of surface coated high speed steel member for cutting tool |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6220863A (en) |
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1985
- 1985-07-17 JP JP15785385A patent/JPS6220863A/en active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5888761A (en) * | 1992-10-23 | 1999-03-30 | Ricoh Seiki Company, Ltd. | Etching method for forming air bridge pattern on silicon substrate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0377272B2 (en) | 1991-12-10 |
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