JPS62208646A - 半導体ウエハの移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、半導体ウェハの製造工程において、拡ＩＢ
（ｌ！炉内で使用される半導体ウェハをカセットから熱
処理用ボートに、またはその逆に移し替える半導体ウェ
ハの穆し替え装置に関するものである。

（従来の技術） 例えは、本出願人が昭和５７年４月２１日に出願し、特
開昭５８−１８２８４６号として公報に開示された従来
の半導体ウェハの診し替え装置を、その正断面図を第４
図に、そしてそのＡ−Ａ線の矢印方向におりる側断面図
を第５図に示す。

図において、（１）は半導体ウェハ、（２）はこの半導
体ウェハ（１）を複数枚収納するカセット、（３）は半
導体ウェハ（１）を１枚つつ直立させて保持するボート
、（４）はカセット（２）とポー１〜（３）との間で半
導体ウェハ（１）が転動できるように配設されたガイド
レールて、上部レール（４ａ）と下部レール（４ｂ）と
から成る。（５）はカセット（２）の底部幅）から半導
体ウェハ（１）をガイドレール（４）へ押し出す揺動ア
ーム、（６）はこの揺動アーム（５）の駆動装置、（７
１）は揺動アーム（５）の先端部に設けられたＶ溝ロー
ラである。（７２）はその詳細を第５図に示すように、
スライダ（８）の先端部に設けられたＶ溝ローラである
。ここでスライダ（８１ｉ；Ｉ半導体ウェハ（１）がカ
イ］・レール（４）の山形頂げ、】、　Ｉｌｌ　、　ｆ
１２１を越えたイ装置てこＪ］を保持するようになって
いる。（９）はスライダ（８）の駆！ＩＩＪＩ装置、（
向は■溝ローラ（７２）の軸部（１１）に設ｉ−１らね
た玉軸受、（１つはこの軸部（１１）にＴ軸受（Ｉｒｌ
ｌを１に１着する軸用座企である。なお、Ｖ溝ローラ（
月）の取り（＝ｊり方法はこ、ｌ］に準し、ている。

次こ」１らの動作について説明する。カセット（２）内
に保持さねでいる半導体ウェハ（１）をポー１−　（３
）へ移し替える場合、まず揺動アーム（５）の付勢によ
ってカセッｌ−（２）の底部１２１）から半導体ウェハ
（１）をガイＩへレール（４）に向かって押し出す。一
方、半導体ウェハ（Ｌ）　Ｍ　）フイ（、レール・（４
）の（（１形１０部＠１１．１１１２）を越えるりｆミ
ングに合わｔｌ゛ｒスライダ（８）に装着されたＶ溝ロ
ーラ（７２）かこれを迎えに行ぎ、そしでこのスライダ
（８）の移動（こよって半導体ウェハ（１）を支持しな
からこれをポー１−　（３）上に載置する。

上記の動作とは逆に、ボート（３）からカセッｌ−（２
）・＼熱処理済みの半導体ウェハ（１）を移し替える場
合ＣＪ、ス→イタ（８）で半導体ウェハ（１）をポー１
−　（３）からガイドレール（４）へ押し出し、このガ
イドレール（４）の１１１形ｍ部１４１）、　１４２）
を越えると、半導体ウェハ（１）はガイドレール（４）
を転動してカセッｌ−（２）内に収納される。

（発明か解決しようとする問題点） 従来の半導体ウェハの移し替え装置は以上のよう（・ご
構成さ］］でいるので、カセット（２）のピッチと衣な
るピッチをもつボート（３）へ半導体ウェハ（１）な移
し替えるときは非常に効果を発揮するか、カセッｌ−（
２）内における半導体ウェハ（１）の全数をカセッ１−
　（２）のピッチと同一のピッチでポー１−　（３）へ
移し替えるときには、半導体ウェハ（１）を１枚つつ移
し替えるのて効率か悪いという問題かあった。

この発明は、上記のような問題辺を解消するために１（
（ざ４」ｋものて、従来の半導体ウェハ（１）を１枚一
つつ移し替える移し替え機４１１１ｉ（八）以夕（に、
カセッｈ　（２）内に収納さ、１１だ全ウェハの枚数分
を同時にカセッ）−（２）とポー１−　（３ｊ間で移し
替え可能な移し替え機構（Ｂ）を備え、そしてこれを移
し替えの条件により移し替え機構（Ａ）　または（Ｂ）
のいずれかを選択して移し賛えることにより、移し替え
時間を短縮てきる装置を得ることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） この発明に係る半導体ウェハの移し替え装置は、従来と
同等の機能を持つ半導体ウェハ１枚用の移し・Ｈえ機構
（Ａ）　　と、カセット内における半導体ウェハの全収
納枚数用の啓し替え機構（Ｒ）を並列に配置し、これら
を移し替えの条件によりカセ・・１１−おＪ：ひボート
をいずれかの移し替え機構に移動させて移し替えるよう
にしたものである。なお、移し替え機構ＣＢ）　　と穆
し替え機構（Ａ）　　とはほぼ同一機能てあり、これら
は単に半導体ウェハの取り扱い枚数によりその構造に若
干の差があるのみである。

（作用） この発明によれは、カセットとボートの間でピッチか異
なる（例えはカセットからポー１−１−は倍ピツチで半
導体ウェハを配列する）場合には、１枚用の移し替え機
構（Ａ）を使用し、カセットとボートの間を同一ピッチ
で移し替える場合は移し替え機構（ｔｌ）を使用するよ
うにずれは、ホード・＼のあらゆる半導体ウェハ配列に
対し、最短でその移し替えか可能となる。

（発明の実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明による移し替え機構を示す分解斜視図、第
２図、第３図は′ｆ５１図の要部断面図であり、（１）
〜（１カは従来例の第４図、第５図における同一符号と
同一または相当部分である。ａ艶は複数枚移し替え機構
（Ｂ）のカイ］・レール、（１３ａ）は上部レール、（
＋３ｂ）は下部レール、（１４）は１枚移し替え機構（
八）の揺動アーム（５）の先端に取り（ｖｌけた■溝ロ
ーラケース、（Ｉωは複数枚心し替え機構＜Ｂ）の揺動
アーム、（向は揺動アーム（１５）の先端に取り（＝１
けた複数枚移し替え機構（Ｂ）の■溝ローラケース、（
１７）は１枚移し替え機構（Ａ）のスライダ（８）の先
端に取り付けた半導体ウェハ支持具、（１日）は複数枚
下多し替え機構（８）のスライダ、α９）はスライダ（
１日）の先端に取り付けた複数枚移し替え機構（Ｂ）の
半導体ウェハ支持具である。なお、図には省略したか、
ンシムＱ枚移し賛え機構（Ｂ）　の揺動アーム（１５）
およびスラｒり（１８）の駆動装置は、１枚不多し替え
機構（へ）σ）各駆動装置と同等のものを配置している
。

割はＶ講（］−ラう一−ス（＋４）、　（１６）および
ウェハ支持具（１７）ｉ刑［人１てそれそねＶ７苫ロー
ラ（７１）　、　（７２）　を申出方向に拘束オる座金
である。

ｉｌｌ十のように構成さＪまたこの発明の一実施例に−
）い−こ、以下その動作を説明する。まず、半導体ウェ
ハ（１）を１枚つつ移１７、替えるとぎは、従来の例と
同様（ご移しく）え機構（Ａ）におりる揺動アーム（５
）、ス→イタ（８）およびガイドレール（４）の組み合
わｔ！（（でよりオ多１，１える。またカセッｌ−（２
）内におりる全数の半導体−ノエバ（１）を移し替える
ときは複数枚（多しＥ）λ機構（Ｂ）　の１記重ＩＩア
ーｌ＼（１ω、スライダ（旧）およびカイＦ　Ｌ−−ル
（１９の組み合わせて移し替える。

いすＪｌの場合でもその動作は前記従来例と同一　であ
る。

（イｒ明の効果） 以−１のように、この発明によ、Ｉ］は、半導体ウェハ
σ）移１．　（仝え機構か１枚用と複数枚用とをそれそ
ね備えＣいるため、ボート上で各種の半導体ウニへ配列
か要求さ引］る場合、常に最短の時間て半導体ウェハの
移し替えかできる効果かある。

４　図面の簡ｊｌ−ｆ、（説明 第１図はこの発明の一実施例を示す半導体ウェハの移し
替え装置の構成を示す分解斜視図、第２図および第３図
はその要部断面図、第４図は従来の半導体ウェハ移し替
え装置の構成を示す正面図、第５図はそのＡ−Ａ線から
の側断面図である。

図中、（１）は半導体ウェハ、（２）はカセッＩ・、（
３）はポー１−１（４）ｌｌ匂（Ｊカイ［・レール、（
５）、　（１５）は揺動アーム、（７１）　、　（７２
）　　は■ン青ローラ、（８）、　（Ｉ［ｌ）はスライ
ダ、（１４）、　（＋６）はＶ溝ローラケース、（＋７
＋、　＋１９）はウェハ支持具である。

なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）カセットとボートとの間に半導体ウェハのガイド
   レールを配設するとともに、前記半導体ウェハをカセッ
   トからボートへガイドレールを介して転動させる揺動ア
   ームと、前記半導体ウェハの転動途中でこの半導体ウェ
   ハを支持しそしてこれを前記ボート上へ案内するスライ
   ダとを備えた半導体ウェハの移し替え装置において、前
   記ガイドレール、揺動アームおよびスライダからなる移
   し替え機構をそれぞれ半導体ウェハの１枚移し替え用と
   複数枚移し替え用との２組具備して成る半導体ウェハの
   移し替え装置。