JPS6220902A - バルブポジシヨナ - Google Patents

バルブポジシヨナ

Info

Publication number
JPS6220902A
JPS6220902A JP16008585A JP16008585A JPS6220902A JP S6220902 A JPS6220902 A JP S6220902A JP 16008585 A JP16008585 A JP 16008585A JP 16008585 A JP16008585 A JP 16008585A JP S6220902 A JPS6220902 A JP S6220902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
signal
pressure chamber
air
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16008585A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0418162B2 (ja
Inventor
Masato Kuroda
正人 黒田
Masatoshi Fujiwara
正利 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP16008585A priority Critical patent/JPS6220902A/ja
Publication of JPS6220902A publication Critical patent/JPS6220902A/ja
Publication of JPH0418162B2 publication Critical patent/JPH0418162B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Servomotors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、空気式調節弁に用いるバルブポジショナに関
するものである。
〔従来の技術〕
従来の一般的なバルブポジショナは、入力信号と弁の変
位量との偏差を機械的変位量としてノズル−7ラツパに
与え、このノズル・7ラツパのノズル背圧を空気圧信号
として取シ出した後、パイロットリレーで圧力増幅し調
節弁のエアーモータに供給するように構成されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、このような従来のバルブポジショナでは、入力
信号と弁の変位量との偏差が大きい場合に高速で応動さ
せることが困難であった。特にエアーモータの容量が大
きい場合には空気回路に空気圧信号の容量増幅用のブー
スターリレーを別途付加するなどして高速応動に対応さ
せる必要があった。
〔問題点を解決するための手段〕
このような問題点を解決するために、本発明は、入力信
号と弁の開度との偏差を示ナバルブ駆動信号をパルス幅
変調した後空気圧信号に変換し、この空気圧信号によっ
て弁を駆動する手段に加え、バルブ駆動信号が示す偏差
の絶対値が所定値よυも大きいときに弁の駆動圧力室を
空気圧源または大気と連通させる手段を設け、かつ上記
所定の値を、弁開度が小さいときには大きく、大きいと
きには小さく設定する手段を備えたものである。
〔作用〕
入力信号と弁の開度との間に大きな偏差(絶対値)が存
在する場合、駆動圧力室が空気圧源または大気に直結さ
れることによシその圧力は急速に変化し弁の開度を大き
く変化させる。開度が小さい場合、つまフ高負荷の場合
と開度が大きい場合。
つまシ低負荷の場合とで、同じ入力信号の変化幅に対す
る応答特性に差が生じるが、本発明によれば、空気圧@
または大気に連通させる偏差(所定値)を弁開度に応じ
て変化させることにより、負荷の如何にかかわらず円滑
に希望値に収束される。
〔実施例〕
第1図は本発明のバルブポジショナの一実施例を示すブ
ロック図である。
空気式調節弁10は駆動圧力室101とバルブ102と
を含み、駆動圧力室101に供給される空気圧によって
バルブ102の開閉調節がなされる。
駆動圧力室101には空気管12が接続されておシ、こ
の空気管12の他端は三方切換弁14.大容量給気弁1
6および大容量排気弁18に接続されている。
三方切換弁14は、空気管12の他に圧力P1の空気圧
源に連通ずる空気管20および圧力PGの大気に連通す
る空気管22と接続する。そして、空気管20と空気管
12の接続および空気管22と空気管12の接続の切少
換えをパルス幅変調器24からの信号に応じて行なう。
大容量給気弁16は、比較器26からの信号によシ空気
管20と空気管12との断続を行なうオン・オフ切換弁
であシ、大容量排気弁18は、比較器28からの信号に
よシ空気管22と空気管12との断続を行なうオン・オ
フ切換弁である。
弁リフト検知器30は、バルブ102の位置を検出して
その位置に応じた電圧値Vlを出力するもので1、ロー
タリーエンコーダやポテンショメータ等によシ構成する
ことができる。
入力モジュール32は、入力端子34から入力される4
〜20mAの入力信号を電圧値v2に変換するものであ
り、この電圧値v2は比較部36において弁リフト検知
器30からの電圧値v1と比較される。
電圧値v1と電圧値V2との偏差εは入力信号の指標す
るバルブ位置と実際のバルブ位置との差を表すものであ
シ、バルブ駆動信号としてパルス幅変調器24.比較器
26および比較器28に入力される。
パルス幅変調器24は、第2図■の特性図に示すように
、入力したバルブ駆動信号eが、−δl≦C≦δl  
        −@−−−(1)を満足するときだけ
、バルブ駆動信号eをパルス幅変調する。1=−δ1 
のときのデユーティレシオを零とし、C;δlのときの
デユーティレシオを「1」とし、(1)式を満足すると
きの8とデユーティレシオとの関係はリニアとなってい
る。
第3図の波形図は、1=εlのときすなわちデユーティ
レシオがrO,7J のときのパルス幅変調器24の出
力波形を示しておシ、繰f返し周期TO70係が“H”
レベル、残りの30%が”L”レベルとなっている。
バルブ駆動信号8が ε〈−δl            ・・・・・(2)
を満足するときのパルス幅変調器24の出力は2値信号
における”L”レベルとなう、バルブ駆動信号Cが、 I 〉 δ1                   
           ・ ・ ・ ・ ・ (3ンと
満足するときのパルス幅変調器24の出力は2値信号に
おける″H″レベルとなる。
なお、三方切換弁14は、パルス幅変調器24からの信
号が”H”レベルのときには空気管22の開口部を塞い
で空気管20と空気管12を連通し、“L”レベルのと
きには空気管20の開口部を塞いで空気管22と空気管
12を連通する。
比較器26は、第2図体)の特性図に示すように、バル
ブ駆動信号Cが C≧δ2(ただし、δ2〉δ1)   ・・・・・(4
)を満足するときには、2値出力値号が”H”レベルと
なシ、 e〈δ2              ・・・・・(5
)を満足するときには、2値出力値号が”Lルベルとな
る。
大容量給気弁16は、比較器26からの信号が”H”レ
ベルのときには空気管20の開口部が開かれて空気管2
0と空気管12とが接続され、空気圧源(P、)と空気
式調節弁10の駆動圧力室101とが連通し、比較器2
6からの信号が”L′″レベルのときには空気管20の
開口部が閉じられて空気管20と空気管12との接続が
切シ離される。
また、比較器28は、第2図(Qの特性図に示すように
、バルブ駆動信号Cが g≦−δ2(ただし、−δ2〈−61) ・・・・(6
)を満足するときには、2値出力値号が“H”レベルと
な9、 e〉−δ2            ・・・・・(7)
を満足するときには、2値出力値号が′L”レベルとな
る。
大容量排気弁18は、比較器28からの信号が1H”し
゛ペルのときには空気管22の開口部が開かれて空気管
22と空気管12とが接続され、空気式調節弁10の駆
動圧力室101と大気(Pa)とが連通し、比較器28
からの信号が″′L″ルベルのときには空気管22の開
口部が閉じられて空気管22・と空気管12との接続が
切シ離される。
つぎに、本実施例の動作を説明する。
比較部36からのバルブ駆動信号IF)値が例えば第2
図(4)に示したように51(0(11(δ1)であっ
たとすると、パルス幅変調器24はパルス幅変調動作を
実行すると同時に、比較器26および28の出力はとも
に”L″レベルなる。
すなわち、大容量給気弁16および大容量排気弁18は
いずれもが非連通状態となシ、駆動圧力室101と空気
圧源(P−)および大気(P・)とは三方切換弁14の
みによって連通される。
三方切換弁14は今デユーティレシオ0.7のパルス幅
変調信号によ)駆動されているため、駆動圧力室101
と連通ずる空気管12は繰シ返し周期Tの70%の時間
を空気管20すなわち空気圧源(P−)に連通され、3
0%の時間を空気管22すなわち大気(Pa)に連通さ
れる。
しfcがって、空気圧源(Pl)の空気が徐々に駆動圧
力室101に供給され、これに伴ってバルブ102が徐
々に変位する。
仮に、入力端子34に入力される信号が一定であるとす
ると、バルブ102の変位によってバルブ駆動信号Cは
次第に零に近づき、g = Qとなったときにパルス幅
変調器24の出力信号のデユーティレシオは0.5とな
る。
空気式調節弁10は、このときの供給空気圧でバルブ1
02の変位が停止するように調節されてhるため、以後
入力信号が変化しない限シバルプ102の駆動は停止す
る。
つぎに、入力端子34に入力される信号が急激に増大し
た場合を考える。
入力信号レベルの増大によってノ(ルプ駆動信号Iが〔
ξ≧δ2)となったとすると、比較器28は依然“L”
レベルの信号を出力して大容量排気弁18を非連通状態
を保持させているが、比較器26の出力は′″H”レベ
ルとなフ、大容量給気弁16を連通状態にする。
まえ、パルス幅変調器24はパルス幅変調動作を停止し
て”H”ジベル信号を出力し、これによって、三方切換
弁14は常時空気管12と空気管20とを連通させる。
し九がって、駆動圧力室101は三方切換弁14および
大容量給気弁16の2つの弁を介して空気圧源(pm)
と連通することになシ、駆動圧力室101に供給される
圧力は急上昇し、バルブ102が大きく変位する。すな
わち、大きな入力の増加に対して高速に応答することに
なる。
バルブ102の変位によって、eの値が小さくなフ〔−
δ1≦1≦δ1〕となれば、上述し次パルス幅変調動作
に戻る。
逆に入力端子34に入力される信号が急激に減少した場
合、すなわち〔ε≦−δ2〕となった場合には、パルス
幅変調器24の出力および比較器26の出力が”L”レ
ベル、比較器28の出力が”H”レベルとなる。これに
よシ、三方切換弁14は空気管12と空気管22t一連
通状態にし、大容量給気弁16を非連通状態にし、大容
量給気弁18を連通状態にする。
したがって、駆動圧力室101は三方切換弁14および
大容量排気弁18の2つの弁を介して大気(po)と連
通することになシ、駆動圧力室101に供給される圧力
は急降下し、εの値が大きくなった時とは逆の方向にバ
ルブ102が大きく変位する。
バルブ102の変位によって、Iの値が大きくなシ〔−
δ1≦C≦δ1〕となるとパルス幅変調動作に戻ること
は、上記の場合と同様である。
ところがここで、入力信号が同じように変化しても、そ
の時の負荷レベルの如何、つまシ、上記変化が生じる前
の駆動圧力室101内の圧力の如何によって、空気圧源
または大気と連通させたときの応答特性に差が生じる。
例えば、同じ入力信号の変化l@20%増大または減少
に対し、負荷レベルが60〜80%程度と高い状態にあ
るときは正常な応答を示すが、負荷レベルが0〜20%
程度と低い状態にあるときには応答はオーバーシュート
(0vershoot)の傾向をもつということが生じ
る。この原因は、本実施例が、大容量給気弁16または
大容量排気弁18が入力信号の変化によって開いて、偏
差がδ2になったときに閉じる構成をとっているが、弁
の無駄時間および応答時間によシ、電気的な信号が送出
されてから弁が実際に完全に閉じるまでに所定の時間を
要し、特に負荷レベルが低い場合には流量が大きいこと
から、この間に行き過ぎてしまうことにあると考えられ
る。
これを図を用いてざらに詳#4BVC説明する。第4図
(ロ))は、負荷レベルが0%(同図中0)で示す)と
75%(同図中(ロ)で示す)の場合について、25係
の入力信号増大に対してのバルブ102のステム位置に
対応した駆動圧力室101の圧力の変化を示したもの、
同図の)はそのときの大容量給気弁16を駆動する比較
器26の出力を示したものである。
仮にδ2が5%であるとして、1oにおいて入力信号が
図中1点鎖線で示したように25qb増大すると、その
時点で偏差Cは25%となって大容量給気弁26が開く
。そして弁り7ト検知器30がt=5%を検知したとこ
ろで大容量給気弁26は閉じ、あとはパルス幅変調信号
によシ駆動される三方切換弁14の動きによシ希望値に
収束する。
ところが、圧力は図中破線で示したようVcPM(本実
施例では1.4にy/cmりに向けて指数関数的に増大
するため、t1時点での圧力の微分係数、換言すれば流
量は、負荷レベルによシ異な夛、負荷レベルが小のとき
に大、大のときに小となる。また、空気系スイツチは電
気系のそれと比較して応答が遅いため、大容量給気弁1
6は実際には1.よシも遅れて閉まる。このため流量が
大きいとき、つまシ低負荷のときには希望値よりも行き
過ぎてしまう。これは、δ2の値を大きめにとることに
よシ解消できるが、そうすると逆に高負荷のときにオー
バーダンプ(Overdamp ) してしまう。以と
、入力信号の急増の場合について説明したが、急減の場
合も同様である。
そこで、このように負荷レベルによシ応答性に差異が生
ずるのを避けるため、本発明ではδ2の値を負荷レベル
に応じて変えるものとする。これは1例えば周知のプロ
セッサユニットを備えたマイクロコンビ二−タを利用す
ることによりきわめて容易に実現できる。例えば第5図
は、第1図上で比較器26.28およびパルス幅変調器
24をマイクロコンピュータを利用して構成した場合に
プロセッサユニットが実行する処理プログラムの一例を
示したものである。同図において、プロセッサユニット
はAD変換された入力信号および弁リフト検知器30の
出力を取シ込み、負荷レベルXを求める(ステップ10
1)。次いで偏差ζを算出するとともに、予めメモリに
与えられている第6図に示すような負荷レベルとa2の
値とを関係づけるデータ(図示の例ではδ2=1/x)
から対応するδ2Xを求める(ステップ102)。そし
てeの絶対値とδ2にとの大小関係をチェックしくステ
ップ103)、前者が後者を下回れば所定のパルス幅変
調信号を与えて三方切換弁14を動作させ(ステップ1
04)、前者が後者以上の場合にはgの正負によp大容
量給気弁16または大容量排気弁18を動作させる(ス
テップ105)。以上ノ処理・プログラムを所定周期で
繰シ返し実行する。
なお、上述し九実施例では負荷レベルと22の値との関
係を固定データとして予め与えたが、動作初期において
学習により獲得させるものとすれば1個々の装置ごとに
適しなよシ望ましい制御が行なえる。
M7図は本発明の他の実施例を示すブロック図である。
本実施例は1g1図に示し次バルブポジショナに、偏差
が零に近いときには駆動圧力室内の圧力を封止する手段
を付加したものである。
すなわち、従来のバルブポジショナにはノズル・75ツ
バとパイロットリレーが用いられているが、このノズル
・7ラツパとパイロットリレーに平衡状態であっても空
気を消費する。具体的には、セミブリード型パイロット
リレーやブリード型パイロットリレーを用いたバルブポ
ジショナではノズル部とパイロットリレ一部で5〜15
Nt/mimの空気消費がある。
平衡状態での空気消費を極力少なくしたパイロットリレ
ーとして、従来からノンブリード型パイロットリレーが
あるが、これとても空気消費が零ではなく、ま次、ノズ
ル部での空気消費は避けられない、しかもノンブリード
型パイロットリレーは応答性が悪いという欠点を有して
いる。
本実施例はこのような事情に鑑みて、上述したように入
力信号と弁の変位量との偏差が大きい場合てあってもブ
ースターリレーを用いることなく調節弁を高速に応動さ
せ得ることに加え、平衡状態での空気消費量を零とした
バルブポジショナを提供するものである。
第7図において、第1図と同一もしくは相当部分は同一
の符号上付してその詳細な説明は省略する。
比較器40は、第8図の特性図に示すように、入力した
バルブ駆動信号Cが、 一δoくさくδ0        ・拳・−・(8)(
ただし、−δlく−60<0.0<δ0くδ1)を満足
するときだけ”L”レベルを出力し、その他のときは”
H″レベル出力する。
比較器40の出力はオン・オフ切換弁42およびゲート
回路44に対して与えられる。
オン・オフ切換弁42は、三方切換弁14、大容量給気
弁16および大容量排気弁18に連通する空気管121
と駆動圧力室」01に連通する空気管122の間に設け
られ、比較器40の出力が“L“レベルのときには非連
通状態となって駆動圧力室101内の圧力を封止し、比
較器40の出力が”rレベルのときには連通状態となる
ゲート回路44は、パルス幅変調器24と三方切換弁1
4の信号入力端子との間に設けられ、比較器40の出力
が”L”レベルのときには出方信号が”L″レベルなシ
、比較器40の出力が“H”レベルのときにはパルス幅
変調器24の出力信号がそのまま出力される。
したがって、ゲート回路44の出力は第9図に示すよう
に、 ■(g(−az 、−ao<、<δO〕のときには”L
”レベルとなシ。
■〔1〉δ1〕のときには”H”レベルとなシ、■〔−
δ1≦ε≦−δ0.δO≦6≦δ1〕のときにはパルス
幅変調動作となる。
つぎに、本実施例の動作を説明する。
バルブ駆動信号Iの値が。
Cく−δQ、JQ(g を満足するときには、前述した実施例と同じ動作をする
ので、その説明は省略する。
そこで、バルブ駆動信号Cの値が、 −δ0くIくδO となったときの動作を説明する。
バルブ駆動信号eの値が〔−δ0くeくδ0〕の範囲内
に入ると、三方切換弁14はパルス幅変調動作を止めて
空気管20f:塞ぐ。一方大容量給気弁16は、バルブ
駆動信号Cの値がC=<δ2〕であることから非連通状
態となっている。そのため、空気圧源(pm)からの空
気供給経路は一切S断され、この状態での空気消費は零
となる。
一方、オン・オフ切換弁42は、バルブ原動信号−の値
が一δOく8〈δ0の範囲内に入ることによって非連通
状態となるため、空気f121が三方切換弁14t−介
して大気(po)と連通しているが、駆動圧力室101
内の空気が排気されることはなく、バルブ102の位置
が一定に保持される。
なお、新たな信号入力によってバルブ駆動信号eの値が
変化して〔−δ0くCくδO〕の範囲外となれば、この
封止状態は解除される。
本実施例においても、前述したと同様にδ2を可変設定
することにより、負荷レベルによらず良好な応答特性が
得られる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明のバルブポジショナによれ
ば、入力信号と弁の開度との偏差を示すバルブ、駆動信
号をパルス幅変調した後空気圧信号に変換し、この空気
圧信号によシ空気式調節弁を駆動すると井に、バルブ駆
動信号が示す偏差が所定値よりも大きい場合に空気式調
節弁の駆動圧力室を空気圧源または大気と連通させるの
で、入力信号と弁の変位量との偏差が大きい場合であっ
てもブースターリレーを用いることなく調節弁を高速に
応動させることができる。しかも、上記所定値を弁の開
度に応じて可変設定するようにしたことによp、負荷レ
ベルによらず常に最適の応答特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のバルブポジショナの一実m例を示すブ
ロック図、第2図は前記実施例のパルス幅変調器および
比較器の特性図、第3図はパルス幅変調器の出力波形図
、第4図は負荷レベルによる応答特性の違いを説明する
ための図、第5図は比較器26.28およびパルス幅変
調器24t−マイクロコンピュータを利用して構成した
場合のプロセッサユニットにおける処理プログラムの一
例を示す70−チャート、第6図は負荷レベルとδ2の
値との関係の一例を示す図、第7図は本発明のバルブポ
ジショナの他の実施例を示すブロック図、第8図は比較
器の特性図、第9図はゲート回路の特性図である。 10・・・・空気式調節弁、101−・・・駆動圧力室
、102・・・・バルブ、12 、121 、122゜
20.22・・・・空気管、14・・・・三方切換弁、
16・・・・大容量給気弁、18・・・・大容量排気弁
、24・・・・パルス@変調器、26゜28・・・・比
較器、30・・・・弁す7ト検知器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 入力信号と空気式調節弁の弁の開度との偏差を示すバル
    ブ駆動信号をパルス幅変調する手段と、前記パルス幅変
    調手段の出力信号をパルス幅変調された空気圧信号に変
    換し、この空気圧信号を前記空気式調節弁の弁の開度を
    変位させるための駆動圧力室に入力する手段と、前記バ
    ルブ駆動信号の絶対値が所定の値よりも大きいときに前
    記駆動圧力室を空気圧源または大気と連通させる手段と
    、上記所定の値を、上記弁の開度が大きいときに小さく
    、当該開度が小さいときには大きく設定する手段とを備
    えたことを特徴とするバルブポジショナ。
JP16008585A 1985-07-22 1985-07-22 バルブポジシヨナ Granted JPS6220902A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16008585A JPS6220902A (ja) 1985-07-22 1985-07-22 バルブポジシヨナ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16008585A JPS6220902A (ja) 1985-07-22 1985-07-22 バルブポジシヨナ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6220902A true JPS6220902A (ja) 1987-01-29
JPH0418162B2 JPH0418162B2 (ja) 1992-03-27

Family

ID=15707539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16008585A Granted JPS6220902A (ja) 1985-07-22 1985-07-22 バルブポジシヨナ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6220902A (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5164190A (ja) * 1974-11-30 1976-06-03 Toyoda Chuo Kenkyusho Kk Ryutaiakuchueetanoseigyohoho oyobi sonosochi
JPS6012702U (ja) * 1983-07-05 1985-01-28 エスエムシ−株式会社 シリンダ制御装置
JPS6049101A (ja) * 1983-08-29 1985-03-18 Daifuku Co Ltd 空圧作動アクチュエ−タの制御方式

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5164190A (ja) * 1974-11-30 1976-06-03 Toyoda Chuo Kenkyusho Kk Ryutaiakuchueetanoseigyohoho oyobi sonosochi
JPS6012702U (ja) * 1983-07-05 1985-01-28 エスエムシ−株式会社 シリンダ制御装置
JPS6049101A (ja) * 1983-08-29 1985-03-18 Daifuku Co Ltd 空圧作動アクチュエ−タの制御方式

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0418162B2 (ja) 1992-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5950668A (en) Control valve positioners having improved operating characteristics
WO1998015741A9 (en) Control valve positioners having improved operating characteristics
US4617952A (en) Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same
JPH10339301A (ja) 自動制御空気圧装置の制御方法および自動制御空気圧装置
CN110985747B (zh) 一种压电阀门定位器及其快速定位方法
CN101782088A (zh) 补偿气动驱动的设备的滞后的方法和电子装置
CA2435225C (en) Method and apparatus for multiple-input-multiple-output of a valve/actuator plant
JPS6220902A (ja) バルブポジシヨナ
US5699824A (en) Electrical-pneumatic system
US7505818B1 (en) Converter method, system and apparatus
KR890000611B1 (ko) 전자-공기식 변환기용 제어 시스템
US11658603B2 (en) Feature set and methods for a digital positioner
US7493195B2 (en) Fluid regulation control
US7406910B2 (en) Device and method for controlling the position of a pneumatic actuator
EP4198673B1 (en) System for selectively controlling a flow of fluid and associated control method
JPS6136501A (ja) バルブポジシヨナ
JPS6220901A (ja) バルブポジシヨナ
JPH0724641Y2 (ja) 電空ポジショナ
JP2916847B2 (ja) ポジショナ
JP2767376B2 (ja) 電磁比例弁の作動制御方法
JP3295885B2 (ja) 電空ポジショナのゼロ/スパン調整方法
JPS6262001A (ja) バルブポジショナ
JPH06248978A (ja) ラジアルタービン発電装置
JPS62274102A (ja) バルブポジシヨナ
JPH0140799Y2 (ja)