JPS62209748A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS62209748A JPS62209748A JP61052841A JP5284186A JPS62209748A JP S62209748 A JPS62209748 A JP S62209748A JP 61052841 A JP61052841 A JP 61052841A JP 5284186 A JP5284186 A JP 5284186A JP S62209748 A JPS62209748 A JP S62209748A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばレーザー光等の照射により、記録・消
去・再生が可能な光磁気記録媒体に関する。
去・再生が可能な光磁気記録媒体に関する。
従来の光磁気記録媒体において、記録媒体として例えば
、特開昭57−94948のように重希土類金属Tb、
Dy、 G(1のうち1種類以上およびFeまたはC
oのうち1種類以上で形成された非晶質合金が用いられ
てきた。
、特開昭57−94948のように重希土類金属Tb、
Dy、 G(1のうち1種類以上およびFeまたはC
oのうち1種類以上で形成された非晶質合金が用いられ
てきた。
レーザー光のスポットで記録層を加熱しながら、外部磁
界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記録時
より低パワーの直線偏光した上記し−ブー光のスポラト
ラ入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用して
再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられる記
録媒体においては、少なくとも次の性質を満たすことが
必要である。
界を加え反転磁区を形成することによシ記録し、記録時
より低パワーの直線偏光した上記し−ブー光のスポラト
ラ入射し、カー効果あるいはファラデー効果を利用して
再生を行なう、いわゆる光磁気記録方式に用いられる記
録媒体においては、少なくとも次の性質を満たすことが
必要である。
1、半導体レーザーで記録・消去を行なえる程度にキュ
リ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べて、キュリ
一温度が充分高いこと。
リ一温度が低く、通常の使用環境温度に比べて、キュリ
一温度が充分高いこと。
2 記録媒体が、多結晶であると生ずる粒界ノイズ、単
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
結晶であると生ずる製造の困難さを回避するため、記録
媒体が非晶質であること。この場合、結晶化温度がキュ
リ一温度に比べて充分高いことが必要である。
3、再生は、カー効果、ファラデー効果を利用するため
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
、上記の効果に起因するカー回転角、ファラデー回転角
が大きいこと。
4、垂直磁化膜であること。
そのため、上記のような重希土類金属−遷移金属非晶質
合金が記録層として用いられてきた。
合金が記録層として用いられてきた。
しかし、光磁気記録媒体として用いられる重希土類−遷
移金属非晶質合金には、次のような欠点がある。
移金属非晶質合金には、次のような欠点がある。
1、室温でのみかけ上の磁化が消失する補償組成付近で
重希土類金属と遷移金属は金属間化合物を作シやすい。
重希土類金属と遷移金属は金属間化合物を作シやすい。
これらの金属間化合物は割れやすいため、合金ターゲッ
トを作製するには、特殊な技術が必要である。
トを作製するには、特殊な技術が必要である。
2 補償組成より遷移金輌が多い領域では、遷移金属中
のCOを増加することによシ、カー回転角、ファラデー
同点角を増大することができる。
のCOを増加することによシ、カー回転角、ファラデー
同点角を増大することができる。
しかし、Fe’ccoで置換することにより、キュリ一
温度が高くなるため、記録・消去時に必要な熱エネルギ
ーが大きくなってしまう。
温度が高くなるため、記録・消去時に必要な熱エネルギ
ーが大きくなってしまう。
& 希土類−遷移金属非晶質合金は酸化されやすい。
そこで、本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは均一な組成の膜を作製しやすぐ
する合金ターゲットの作製を可能にし、記録・消去特性
を向上させかつ、長期間にわたる光磁気特性の安定性を
向上させ、従来のものと比べて安価で高性能な光磁気記
録媒体を提供することにある。
その目的とするところは均一な組成の膜を作製しやすぐ
する合金ターゲットの作製を可能にし、記録・消去特性
を向上させかつ、長期間にわたる光磁気特性の安定性を
向上させ、従来のものと比べて安価で高性能な光磁気記
録媒体を提供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、基体上に形成され、情報を
光により記録・消去・再生できる記録媒体として、軽希
土類金属Sm、Nd、Pr、Ceのうち1種類以上、重
希土類金属Tl)、 D71 Gdのうち1種類以上、
遷移金属Fθ、Co、Niのうち1種類以上およびCr
、 Ti、 Alのうち1種類以上からなることを特徴
とする。
光により記録・消去・再生できる記録媒体として、軽希
土類金属Sm、Nd、Pr、Ceのうち1種類以上、重
希土類金属Tl)、 D71 Gdのうち1種類以上、
遷移金属Fθ、Co、Niのうち1種類以上およびCr
、 Ti、 Alのうち1種類以上からなることを特徴
とする。
軽希土類金属Sm、 N(1,Pr、 COのうち1種
類以上をLR,重希土類金属Tb、 Dy、 G4のう
ち1種類以上をHR,遷移金属Fe、Co、Niのうち
1種類以上をTMとし、さらにCr、Ti、Alのうち
1種類以上をAと表わしたとき、紐取式を(L Rx
HR,−、)yT M、−y−、A2としたとき本発明
では、x、y、Zは0.1 <x <Q、4.0.2≦
y≦0.5 、0 (Z < 0.1である。xはよシ
好ましくは、Q、15くx≦α35.最も好ましくは[
1,2≦X≦α6である。またyはよシ好ましくはα2
≦yくα4.最も好ましくは、Q、2くy≦a、35で
ある。また2はよシ好ましくは、α02≦2≦01.最
も好ましくは、0.03≦2≦108である。またLR
として好ましくは、8mあるいはN(Lであシ、最も好
ましくはSmとN(1の混合物である。
類以上をLR,重希土類金属Tb、 Dy、 G4のう
ち1種類以上をHR,遷移金属Fe、Co、Niのうち
1種類以上をTMとし、さらにCr、Ti、Alのうち
1種類以上をAと表わしたとき、紐取式を(L Rx
HR,−、)yT M、−y−、A2としたとき本発明
では、x、y、Zは0.1 <x <Q、4.0.2≦
y≦0.5 、0 (Z < 0.1である。xはよシ
好ましくは、Q、15くx≦α35.最も好ましくは[
1,2≦X≦α6である。またyはよシ好ましくはα2
≦yくα4.最も好ましくは、Q、2くy≦a、35で
ある。また2はよシ好ましくは、α02≦2≦01.最
も好ましくは、0.03≦2≦108である。またLR
として好ましくは、8mあるいはN(Lであシ、最も好
ましくはSmとN(1の混合物である。
〔実施例1〕
実施例によシ、本発明の効果について述べる。
本実施例1および実施例2,3.4で示す光磁気記録媒
体はすべてスパッタリングによう作製した。
体はすべてスパッタリングによう作製した。
なお本実施例1および実施例2,3.4において軽希土
類金員の総量が原子比で4係をこえるものについては、
低周波溶解炉で溶解し鋳造したのち、直径8インチ、厚
さ4m+に成形したものをスノくツタリング用ターゲッ
トとした。
類金員の総量が原子比で4係をこえるものについては、
低周波溶解炉で溶解し鋳造したのち、直径8インチ、厚
さ4m+に成形したものをスノくツタリング用ターゲッ
トとした。
実際に記録層を作製するにあたり使用した合金ターゲッ
ト組成と試料番号の対応表を表1に、記録層組成と試料
番号の対応表を表2に示しである。
ト組成と試料番号の対応表を表1に、記録層組成と試料
番号の対応表を表2に示しである。
表1
表2
表1.2かられかるように、合金ターゲットからスパッ
タリングで得られる光磁気記録媒体においては、希土類
金属が合金ターゲットに含まれているよりも少なくなる
という傾向をもつ。但し、このような組成変化の程度は
、スパッタガスの種類、圧力、ターゲットへの投入電力
、ターゲット、基板間距離によっても変わる。表2に示
した記録層の作製条件は、到達真空度I X 10−’
Torr以下1スパッタガスはArで、Arガス圧1
m Torr。
タリングで得られる光磁気記録媒体においては、希土類
金属が合金ターゲットに含まれているよりも少なくなる
という傾向をもつ。但し、このような組成変化の程度は
、スパッタガスの種類、圧力、ターゲットへの投入電力
、ターゲット、基板間距離によっても変わる。表2に示
した記録層の作製条件は、到達真空度I X 10−’
Torr以下1スパッタガスはArで、Arガス圧1
m Torr。
DCスパッタ法をルい、ターゲットへの投入電力は約4
00Wであった。また、ターゲット基体間距離は基体中
心とターゲット中心の距離ではかつて10.であった。
00Wであった。また、ターゲット基体間距離は基体中
心とターゲット中心の距離ではかつて10.であった。
ナオ、本実施例1で作製した合金ターゲットの酸素濃度
は重量比で0.05%以下であり、焼結体に比べてはる
かに小さい。
は重量比で0.05%以下であり、焼結体に比べてはる
かに小さい。
〔実施例2〕
第1図に、ガラス基体上に、 (Na12 D70.
75)α28 (FeO,55CoO,45)α72−
z (Cr、 Ti、 At)zを約2000X形成し
、その上に保護層としてAlを約1oooX形成したも
のについて基体側から光を入射した場合のカー(ロ)転
角と2の関係を示す。入射光の波長は7800’Aであ
る。
75)α28 (FeO,55CoO,45)α72−
z (Cr、 Ti、 At)zを約2000X形成し
、その上に保護層としてAlを約1oooX形成したも
のについて基体側から光を入射した場合のカー(ロ)転
角と2の関係を示す。入射光の波長は7800’Aであ
る。
Ti、A4においては2が0.05より小さければ、カ
ー回転角の低下はみられないが、Crにおいては低下し
てしまう。
ー回転角の低下はみられないが、Crにおいては低下し
てしまう。
〔実施例3〕
第2図は、実施例1表2に示した試料番号1゜2.3を
ガラス基体上に約500^をそれぞれ形成したものと、
TbO,2o(pθα90 Co0.10 )0.80
を約500″に形成したものについて、60℃、9
0%RHに保った時間とファラデー回転角を初期値で規
格化したものとの関係を示したものである。保護膜はつ
けていない。明らかに、 Cr、 Ti、 A2の添
加により、耐食性が向上している。これらの元累は、原
子比で5%程度の添加で効果がある。実施例2で示した
ように、この程度の添加では、カー回転角の大幅な低下
はみられていない。従って、これらの元累を原子比で5
%程度添加することによシ光磁気特性を劣化させずに耐
食性をあげることができた。
ガラス基体上に約500^をそれぞれ形成したものと、
TbO,2o(pθα90 Co0.10 )0.80
を約500″に形成したものについて、60℃、9
0%RHに保った時間とファラデー回転角を初期値で規
格化したものとの関係を示したものである。保護膜はつ
けていない。明らかに、 Cr、 Ti、 A2の添
加により、耐食性が向上している。これらの元累は、原
子比で5%程度の添加で効果がある。実施例2で示した
ように、この程度の添加では、カー回転角の大幅な低下
はみられていない。従って、これらの元累を原子比で5
%程度添加することによシ光磁気特性を劣化させずに耐
食性をあげることができた。
〔実施例4〕
実施例1表2に示した試料番号1,2.3の光磁気記録
媒体の記録・再生特性を調べるために、溝付きポリカー
ボネイト基体上に約SOO;それぞれ形成し、その上に
窒化アルミニウムを約100OA形成し、その上に窒化
アルミニウムを約1oooX形成し、さらにその上にア
ルミニウムを約500X形成した。第6図に記録・再生
特性評価に用いた光磁気記録媒体の構成を示す。
媒体の記録・再生特性を調べるために、溝付きポリカー
ボネイト基体上に約SOO;それぞれ形成し、その上に
窒化アルミニウムを約100OA形成し、その上に窒化
アルミニウムを約1oooX形成し、さらにその上にア
ルミニウムを約500X形成した。第6図に記録・再生
特性評価に用いた光磁気記録媒体の構成を示す。
再生信号は光磁気記録媒体の反射光から得、次のような
条件で記録・再生を行なった。
条件で記録・再生を行なった。
溝間記録、再生パワー1tnW、記録磁界6000e
、線速毎秒4.7 m +記録周波数IMH2,バンド
幅30 KH2である。
、線速毎秒4.7 m +記録周波数IMH2,バンド
幅30 KH2である。
第4図に本発明の光磁気記録媒体の再生時のC7N比お
よび2次高調波抑圧比と記録レーザーパワーとの関係を
示す。記録層だけを厚さ約500XのTl)α20(F
ea90Co(Llo)0.80に変えた場合の第4図
と同様の図が第5図である。
よび2次高調波抑圧比と記録レーザーパワーとの関係を
示す。記録層だけを厚さ約500XのTl)α20(F
ea90Co(Llo)0.80に変えた場合の第4図
と同様の図が第5図である。
表3が本発明の光磁気記録媒体と前記Tb0.20(F
eO,90Coα10)0.80 i用いた情報記録媒
体を用いた光磁気記録媒体における記録・再生特性評価
の結果を1とめたものである。試料番号1〜3までは、
実施例1の表1.2と対応している。
eO,90Coα10)0.80 i用いた情報記録媒
体を用いた光磁気記録媒体における記録・再生特性評価
の結果を1とめたものである。試料番号1〜3までは、
実施例1の表1.2と対応している。
試料番号4は前記Tba20(Fe[1,9[] Co
O,jD)CL8Dを示す。
O,jD)CL8Dを示す。
表3
表3中の最適記録パワーは2次高調波抑圧比が最も小さ
くなる記録パワーと足義し、C/N比は最適記録パワー
で記録したものを再生したときの値を示した。最適記録
パワーは、静的に測定したキュリ一温度Tcとほぼ対応
し’I’cの太きいものは記録パワーが大きい。
くなる記録パワーと足義し、C/N比は最適記録パワー
で記録したものを再生したときの値を示した。最適記録
パワーは、静的に測定したキュリ一温度Tcとほぼ対応
し’I’cの太きいものは記録パワーが大きい。
このように本発明の光磁気記録媒体においては、むやみ
に記録パワーをあげることなく、高いφ比を得ることが
できる。
に記録パワーをあげることなく、高いφ比を得ることが
できる。
以上述べてきたように、本発明の光磁気記録媒体によれ
ば、割れにくい合金が作シやすぐなるため、大面積の合
金ターゲラトラ作れる。大面積の合金ターゲットによれ
ば、組成・膜厚の均一化をはかれるため量産に適すると
いう効果を有する。
ば、割れにくい合金が作シやすぐなるため、大面積の合
金ターゲラトラ作れる。大面積の合金ターゲットによれ
ば、組成・膜厚の均一化をはかれるため量産に適すると
いう効果を有する。
また、遷移金属中のco#度を増すことによシカ−回転
角、ファラデー回転角を増大できるが、本発明の光磁気
記録媒体では、キュリ一温度があまシ高ぐlらないため
%最適記録・消去パワーかあ″!シ大きくならないです
むという効果も有する。
角、ファラデー回転角を増大できるが、本発明の光磁気
記録媒体では、キュリ一温度があまシ高ぐlらないため
%最適記録・消去パワーかあ″!シ大きくならないです
むという効果も有する。
さらに、不働態形成金属Ti、 Cr、 Aj!も含む
ため耐食性も向上できるという効果も有する。
ため耐食性も向上できるという効果も有する。
第1図 (Nd[,25Dy0.75 )0.30
(Fe0.55 CoO,45)0.7O−z(Cr、
Ti、 fil)Zのカー回転角と2の関係を示す図 第2図 本発明における光磁気記録媒体およびTb0
.20(F’eCL90 CoO,10)0.80 f
60℃、90’%RHに保った時間と初期値で規格化
したファラデー回転角の関係を示す図 第5図 記録・再生特性評価に用いた光磁気記録媒体
の構成を示す図 1・・・・・・ポリカーボネイト 2・・・・・・窒化アルミニウム 5・・・・・・本発明の光磁気記録媒体またはTb F
e6・・・・・・窒化アルミニウム 4・・・・・・アルミニウム 第4図 本発明の(Ndα25 DyQ、75%23
(Fe[L55Coα45川72(CrO,2AlO,
4TiO,す01口5の記録パワーとCA比との関係を
示す図 第5図 従来例の’rbo、2o(Feα80CoO
110)α80の記録パワーと074比との関係を示す
図以 上 1ltl願人 セイコーエプソン株式会社Δ Cr × Tし く酢> o 、#(tgo、
z5[ケo、”75”)0−3べFeoJfy○os’
)o−7−z (Cr、n、A2)z中xZ鴻 11辺 ん1 第 31刀 0 2 斗 6 fIIO官己伽良レ
ー寸し−ノぐワー (肴、W)第41辺
(Fe0.55 CoO,45)0.7O−z(Cr、
Ti、 fil)Zのカー回転角と2の関係を示す図 第2図 本発明における光磁気記録媒体およびTb0
.20(F’eCL90 CoO,10)0.80 f
60℃、90’%RHに保った時間と初期値で規格化
したファラデー回転角の関係を示す図 第5図 記録・再生特性評価に用いた光磁気記録媒体
の構成を示す図 1・・・・・・ポリカーボネイト 2・・・・・・窒化アルミニウム 5・・・・・・本発明の光磁気記録媒体またはTb F
e6・・・・・・窒化アルミニウム 4・・・・・・アルミニウム 第4図 本発明の(Ndα25 DyQ、75%23
(Fe[L55Coα45川72(CrO,2AlO,
4TiO,す01口5の記録パワーとCA比との関係を
示す図 第5図 従来例の’rbo、2o(Feα80CoO
110)α80の記録パワーと074比との関係を示す
図以 上 1ltl願人 セイコーエプソン株式会社Δ Cr × Tし く酢> o 、#(tgo、
z5[ケo、”75”)0−3べFeoJfy○os’
)o−7−z (Cr、n、A2)z中xZ鴻 11辺 ん1 第 31刀 0 2 斗 6 fIIO官己伽良レ
ー寸し−ノぐワー (肴、W)第41辺
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)基体上に形成され、情報を光により記録、消去、
再生できる記録媒体として、軽希土類金属Sm、Nd、
Pr、Ceのうち1種類以上、重希土類金属Tb、Dy
、Gaのうち1種類以上、遷移金属Fe、Co、Niの
うち1種類以上およびCr、Ti、Alのうち1種類以
上からなる合金を用いることを特徴とする光磁気記録媒
体。 (2)上記記録媒体として、組成式を {(LR)_x(HR)_1_−_x}_yTM_1_
−_y_−_zA_zと書きあらわしたとき、 0.1≦x≦0.4 0.2≦y≦0.5 0<z≦0.1 の範囲にある合金を用いることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の光磁気記録媒体。 (但し、LRは軽希土類金属Sm、Nd、Ce、Prの
うち1種類以上、HRは重希土類金属Tb、Dy、Gd
のうち1種類以上、TMは遷移金属Fe、Co、Niの
うち1種類以上、およびAはCr、Ti、Alのうち1
種類以上を示す。)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61052841A JP2543677B2 (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 光磁気記録媒体 |
| NL8602167A NL8602167A (nl) | 1985-08-26 | 1986-08-26 | Magneto-optisch registratiemedium. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61052841A JP2543677B2 (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62209748A true JPS62209748A (ja) | 1987-09-14 |
| JP2543677B2 JP2543677B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=12926071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61052841A Expired - Lifetime JP2543677B2 (ja) | 1985-08-26 | 1986-03-11 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2543677B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122608A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-31 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP61052841A patent/JP2543677B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122608A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-31 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2543677B2 (ja) | 1996-10-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |