JPS6221066A

JPS6221066A - スプリング・コンタクト式プロ−ブ

Info

Publication number: JPS6221066A
Application number: JP15962685A
Authority: JP
Inventors: Koichi Yoshida; 光一吉田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-07-19
Filing date: 1985-07-19
Publication date: 1987-01-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はスプリング・コンタクト式プローブ、詳しくは
各種回路基板の電気特性、特に高周波高電圧特性の測定
に用いられるスプリング・コンタクト式プローブの改良
に関する。

〔従来の技術〕

近年、ニューメディア、ＯＡ、光通信、半導体などの急
激な技術進歩が行われており、これに伴い所謂「部品と
部品の接点に係る接点技術（コンタクト・テクノロジー
）」並びに［接点を接続する接続技術（コネクション・
テクノロジー）」の高精密化、高性能化が各種新技術に
共通の基礎技術として強く要求されている。具体例とし
て、半導体・ＬＳＩ検査システム、中でもプリント基板
やセラミックの多層基板など各種回路基板の電気特性、
例えば高周波高電圧を測定する検査工程において、検査
装置の主要部分を構成するコンタクト式プローブ、特に
スプリング・コンタクト式プローブは、従来上記電気特
性をくずさずに測定するという課題に対して、所謂接点
技術並びに接続技術に係わるものであるが、その要求使
用条件、例えば高周波高電圧領域での使用条件や超低温
から高温度までの広範囲にわたる温度条件などに十分応
えることが出来ず、また回路外部からはノイズをひろい
、内部からノイズを生じる為、その測定結果は要求され
る精度と信頼性に欠けがちで、これらの使用条件、環境
条件に対して技術的に十分満足させ得ないという問題点
があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが最近、スプリング・コンタクト式プローブに対
して、高周波高電圧領域での使用条件や超低温から高温
度までの広範囲にわたる温度条件が一層厳しいものが要
望されるようになり、この要望に応えるため各種回路基
板など検査対象物の電気特性をくずさずに高精度で信頼
性の高い測定を、高周波高電圧領域においても可能とし
た超精密でかつ低コストのスプリング・コンタクト式プ
ローブが必要になる。

〔問題点を解決するための手段とその作用〕本発明は前
記の如くスプリング・コンタクト式プローブのコンタク
ト部と同軸ケーブルとを接続するコネクタ部にアッテネ
ータ抵抗を内蔵して、その減衰作用により計測の電気的
安定性を得、かつ該プローブの高耐電圧特性の向上を図
るよう“にしたことを要旨とする。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

図面は、本発明の一実施例を示す部分断面斜視図である
。

まず、構成を説明すると、（１）はプローブ先端部であ
り、例えば先の尖ったコンタクト部（２ａ）を形成した
ニードル（２）と、該ニードル（２）の他端に軸方向に
対して可動に装着され、上記コンタクト部（２ａ）が接
触圧力を受けるとバネの反発力を生じて圧着されるスプ
リング（３）と、該スプリング（３）を封装するスプリ
ングプローブ（４）とから成る軸芯部（１ａ）を有する
。該軸芯部（１ａ）は上記ニードル（２）を突出させた
状態でテフロン又はポリイミド・セラミックなどを素材
とする円筒型の誘電体（５）中心部に挿着固定され、更
に該誘電体（５）の外周は銅又はステンレス・スチール
製の同軸状外部導体（６）により密着包装されている。

（７）は、一端に上記プローブ先端部（１）を、他端に
同軸ケーブルＱｌを配設して双方を電気的に接続するコ
ネクタ部であり、その中心軸上には、両端を内部導体（
９）で直線状に接合されたアッテネータ抵抗（８）が配
設され、上記プローブ先端部（１）のニードル（２）と
上記同軸ケーブルα〔とにそれぞれ上記内部導体（９）
を介して一体に接続固定されている。該アッテネータ抵
抗（８）は、上記プローブ先端部（１）の誘電体（５）
で一体に被着された構造を有し、さらにその外周部は上
記外部導体（６）で一体に密着包装されている。そして
、上記アッテネータ抵抗（８）を含む内部導体（９）と
上記外部導体（６）とで電気回路を形成するように構成
される。

（１１）は、高電圧の試験片で、上記コンタクト部（２
ａ）の接触により測定・検査を受ける対象物である。

次に、この実施例の作用を説明する。

いま、プローブの同軸ケーブルＱｌが図示しない測定装
置（例えば電圧計）に接続されており、高周波高電圧（
例えば２０．０００Ｖ）が検査対象物の試験片（１１）
に印加され、かつニードル（２）のコンタクト部（２ａ
）が上記試験片（１１）と接触状態に保持されている場
合には、上記コンタクト部（２ａ）が受ける接触圧力に
より上記ニードル（２）はスプリング（３）の反発力を
軸方向に生じ、試験片（１１）に圧着されるので、該試
験片（１１）との接触は確実に保持される。

そして、上記測定装置がＯＮ状態に作動すると、アッテ
ネータ抵抗（８）がニードル（２）のコンタクト部（２
ａ）を経て印加された２０．０００Ｖの高電圧をプロー
ブの許容耐電圧以下（例えば、２．５００Ｖ）に落すよ
うに調整するので、該測定装置の電圧計端子には２、５
００Ｖよりやや高めの端子電圧が得られる。これは、上
記電圧計に測定電圧より高い電圧が加わるのは、コンタ
クト部（２ａ）で形成される測定端子から電圧計端子ま
での上記同軸ケーブルαωを含む導線と電圧計の漂遊容
量とによる直列共振誤差が原因である。本実施例によれ
ばこの直列共振誤差の如く不安定要素を除去できる。

従って、本実施例において、アッテネータ抵抗（８）を
内蔵したプローブは、該アッテネータ抵抗（８）が行な
う電圧減衰量の調整作用により、高周波高電圧の場合で
もプローブの高耐電圧特性を良好に維持した状態で測定
・検査を実行できるようにする。

しかも、このアッテネータ抵抗（８）はインピーダンス
・マツチング用としての作用効果が得られることは明ら
かである。

また、上記アッテネータ抵抗（８）は上記実施例の如く
、コネクタ部（７）の軸芯上に１本内蔵するかわりに、
複数本設ける構造としたものであってもよく、従って、
本発明の特許請求の範囲に反することなく種々変更する
ことができるものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、スプリング・コ
ンタクト式プローブのコネクタ部に両側を内部導体で保
持したアッテネータ抵抗の減衰作用によた計測の電気的
安定性を得てインピーダンス・マツチングを実現し、か
つ高耐電圧特性の向上を図ることができ、その結果高周
波高電圧領域においても各種回路基板を試験片とする検
査対象物の電気特性をくずさずに高精度で信頼性の高い
測定を可能とし、しかも超精密でかつ低コストに製作す
ることが出来るという大なる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すスプリング・コンタクト
式プローブの部分断面斜視図である。（２）・・・　ニードル（３）・・・　スプリング（５）　　・・・　誘電体（６）　　・・・　外部導体（７）　　・・・　コネクタ部（８）・・・　アッテネータ抵抗（９）　　・・・　内部導体

Claims

【特許請求の範囲】

（１）コンタクトを先端に形成したニードルと該ニード
ルに装着され上記コンタクト部と試験片との接触圧力に
よりバネの反発力が生じて圧着されるスプリングとを有
するプローブ先端部と、同軸ケーブルとの接続のためコ
ネクタ部と、上記コネクタ部を介して上記プローブ先端
部に一体に取り付けられ電気的に接続された同軸ケーブ
ルとを備えたスプリング・コンタクト式プローブにおい
て、上記コネクタ部にアッテネータ抵抗を内蔵したこと
を特徴とするスプリング・コンタクト式プローブ。
（２）アッテネータ抵抗は、コネクタ部の中心軸上に両
端面を内部導体で挟着されたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のスプリング・コンタクト式プローブ
。