JPS6228673A

JPS6228673A - マルチプロ−バ

Info

Publication number: JPS6228673A
Application number: JP60168789A
Authority: JP
Inventors: Koichi Yoshida; 光一吉田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-07-31
Filing date: 1985-07-31
Publication date: 1987-02-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は複数のスプリング・コンタクト式プローブから
成るマルチプローバ、特に極低温たとえば４”Ｋにおい
て各種回路基板の電気特性、特に高周波電圧特性の測定
に好適なマルチプローバに関する。

〔従来の技術〕

近年、ニューメディア、ＯＡ、光通信、半導体などの急
激な技術進歩が行われており、これに伴い所謂［部品と
部品の接点に係る接点技術（コンタクト・テクノロジー
）」並びに［接点を接続する接続技術（コネクション・
テクノロジー）」の高精密化、高性能化が各種新技術に
共通の基礎技術として強く要求されている。具体例とし
て、半Ｉｃ・ＬＳＩ検査システム、中でもプリント基板
やセラミックの多層基板などの各種回路基板の電気特性
、例えば高周波電圧を測定する検査工程において、検査
装置の主要部分を構成するコンタクト式プローブ、特に
スプリング・コンタクト式プローブは、従来上記電気特
性をくずさずに測定するという課題に対して、所謂接点
技術並びに接続技術に係るものであるが、その要求使用
条件、例えば高周波領域での使用条件や超低温から高温
度までの広範囲にわたる温度条件などに十分耐えること
が出来ず、また回路外部からはノイズをひろい、内部か
らノイズを生じる為、その測定結果は要求される精度と
信頼性に欠けがちで、これらの使用条件、環境条件に対
して技術的に十分満足させ得ないという問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記従来のものの問題点に着目してなされたも
ので、その目的としては超低温たとえば４°Ｋにおいて
各種回路基板など検査対象物の電気特性をくずさずに高
精度で信頼性の高い測定を可能とした超精密でかつ位置
合せ機構を有し、小型のデユワ装置内でも使用可能なス
プリング・コンタクト式のマルチプローバを提供するこ
とにある。

さらに詳述すると、本発明の目的はプローブが試験片に
接触する際に、生ずる測定信号の反射を抑制して電気特
性を正確に測定でき、位置合せ機構を有し、プローバ本
体と、この本体と測定装置とワンタッチにて接続可能に
接′１７を端子を有する同軸ケーブルユニットに分離し
たことにより、位置合せ調整が容易に行なうことができ
る前述したスプリング・コンタクト式のマルチプローバ
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段とその作用〕上記目的を
達成するため、本発明は複数のスプリング・コンタクト
式プローブに接続された同軸ケーブルの他端に接続端子
を設け、該複数のスプリング・コンタクト式プローブは
被測定物の近くで一体のパネルにより共通に接地される
ことにより上記プローブと被測定物との接触時に発生す
る例えば入力信号の反射を抑制し、希望したインピーダ
ンス整合を取るようにして波形が乱されずに被測定物の
電気特性を測定でき、またプローバ本体と測定装置とを
接続する同軸ケーブルユニットにはワンタッチにて着脱
できる多極の接続端子を設け、これらはすべて共通のパ
ネルにて接地されるため耐ノイズ性を有し、また、被測
定物の位置合せテーブルを超低温槽たとえば小型のデユ
ワ装置にもプローブと一体で挿入可能にコンパクト化し
たことにより測定の調整を簡単にしたことを要旨とする
。

〔発明の実施例〕

以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

図面は本発明の一実施例を示す斜視図である。まず構成
を説明すると（１１はスプリング・コンタクト式プロー
ブで被測定物（２）の電極に接触し、上記プローブ（１
）はプローブパネル（３）にて共通に接地されており′
、上記プローブ（１）の他端部は同軸ケーブル（４ａ）
と電気的に接続されている。上記同軸ケーブル（４ａ）
の他端には接続端子（５ａ）が取り付けられており、こ
れらの端子はすべて共通にコネクタパネル（６ａ）で接
地されている。上記被測定物（２）は昇降テーブル（７
）に載せられ、これは昇降ツマミ（８）を回転すること
により上下移動される。（９）はブローバ本体を保護す
るバイブであり、この一端には同軸ケーブルユニットと
接続するためのフランジ００）が設けられている。また
、プローバ本体に接続する同軸ケーブルユニットは同軸
ケーブル（４ｂ）の両端に接続端子（５ｂ）　、　（５
ｃ）を有しており、これらはコネクタパネル（６ｂ）　
、　（６ｃ）にて共通に接地されており、接続端子（５
ｂ）は複数の接続端子を同時にワンタッチにて着脱され
る。上記同軸ケーブルユニットは補強パイプ（１１）で
保護されており、図示しない超低温槽たとえばデユワ装
置を密閉するゴムせん（１２）を有している。

次に、この実施例の作用を説明する。

被測定物（２）を昇降テーブル（７）上で位置合せし、
これを上昇することによりスプリング・コンタクト式プ
ローブ（１１と上記被測定物（２）の電極とをコンタク
トさせる。位置合せ後、同軸ケーブルユニットを接続し
図示しない超低温槽たとえば、デユワ装置に挿入し固定
する。いま接続端子（５ｃ）に高周波信号が印加される
と、上記同軸ケーブル（４ｂ）。

（４ａ）とスプリング・コンタクト式プローブ（１１を
経て被測定物（２）に信号が入力され、被測定物（２）
からの出力信号は上記スプリング・コンタクト式プロー
ブ（１）と同軸ケーブル（４ａ）　、　（４ｂ）を経て
図示しない測定装置により波形が乱されることなく計測
される。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば位置合せ機構を合
せ持つことにより被測定物の任意の位置の電極にコンタ
クト可能となりブローバ本体に接続端子を設けたこと、
しかもワンタッチにて着脱可能としたことにより、小型
化され測定の調整が簡単になるという効果を有し、小型
の超低温槽にも使用できるという実用的効果を存してい
る。またインピーダンス整合に加えて、材質に非磁性体
を用いたことにより信号が乱されず、かつ共通に接地し
たコネクタパネル及びプローブパネルを設けたことによ
り耐ンイズ性を向上し電気特性を高精密に計測を行なう
ことができるという大なる効果を有している。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すマルチプローバの一部破
断面を含む斜視図である。（１）・・・スプリング・コンタクト式プローブ（２）
・・・被測定物（３）・・・プローブパネル（４ａ）　、　（４ｂ）・・・同軸ケーブル（５ａ）　
、　（５ｂ）　、　（５ｃ）−接続端子（６ａ）　、　
（６ｂ）　、　（６ｃ）−コネクタパネル（７）・・・
昇降テーブル特許出曝人　　吉田光−

Claims

【特許請求の範囲】

（１）複数のスプリング・コンタクト式プローブと、測
定装置への接続端子と、被測定物の位置合せ機構を有す
る本体と、上記本体と測定装置とを接続する複数の接続
端子を有する同軸ケーブルユニットとから構成されたこ
とを特徴とするマルチプローバ。
（２）上記本体と上記測定装置とを接続する上記同軸ケ
ーブルユニットの上記複数の接続端子はそれぞれの中心
導体と外部導体が同時にワンタッチ方式で着脱可能にし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマルチ
プローバ。
（３）上記スプリング・コンタクト式プローブはプロー
ブパネルにより共通に接地されたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項のいずれかに記載のマル
チプローバ。
（４）上記接続端子はコネクタパネルにより共通に接地
されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第
３項のいずれかに記載のマルチプローバ。
（５）上記マルチプローバはすべて非磁性体にて構成さ
れることを特徴とする上記特許請求の範囲第１項ないし
第４項のいずれかに記載のマルチプローバ。