JPS6221068A - フラツト形探針 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電気的測定時に用いられる被測定物との接触用
の探針に関し、特に高密度実装に通し高周波特性が優れ
るフラット形探針に関する。

〔従来の技術〕

各種回路基板やＩＣパッケージの電気的特性の測定にお
ける測定手段と被測定物との従来の接続手段としては、
ニードル状ないしはソケットビン状の探針を有するコン
タクト式プローブを用い被測定物に接合させたり、被測
定物がら立体的に信号線を引き出し、その接続部を介し
て前記コンタクト式プローブに接続したりするものであ
った。

〔発明が解決しようとする問題点〕

近年、ニューメディア、ＯＡ、光通信半導体などの急激
な技術進歩が行なわれており、これに伴いいわゆる「部
品と部品の接点に係る接点技術（コンタクトテクノロジ
ー）」並びに「接点を接続する接続技術（コネクション
テクノロジー）」の高１ｆｒｔ密化、高性能化が各種新
技術に共通の基礎技術として強く要求されている。具体
例として半導体やＬＳＩの検査装置における回路素子、
プリント基板やセラミックの多層基板などの各種回路基
板の電気特性、例えば高周波電圧を測定する検査工程に
おいて、検査装置の主要部分を構成するコンタクト式プ
ローグは、従来上記電圧特性をくずさずに測定するとい
う課題に対して、前記の接点技術、並びに接続技術に係
わるものであるが、その要求使用条件、例えば超高周波
領域での使用条件や超低温から高温度まで広範囲にわた
る温度条件や密集した電極と探針との接続作業の能率向
上などに十分応えることができなかった。特に高周波領
域において、その測定の結果は要求される精度と信頼性
に欠けるという問題があった。

本発明は以上の従来の接続技術の問題点を解決しようと
するもので、その目的は各種回路基板やフラット形ＩＣ
パッケージなど高精度で高信頼性が求められる被測定物
を、その電気特性をくずさずに高周波領域においても測
定可能とした超精密でかつ高密度実装可能なフラット形
探針を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明における上記問題点の解決の手段は被測定物との
電気的なコンタクト部を一端に有する第１の電導層と、
該第１の電導層と対を成す第２の電導層を電気容量等が
空間的に一様になるように前記第１の電導層と対向状に
絶縁層に設けると共に、前記第１の電導層の他端側に第
２の電導層を含めた測定手段との接続部を設けたフラッ
ト形探針である。好適な実施例としては前記絶縁層の両
面に第１および第２の電導層を対向させたものとする。

〔作　用〕

本発明のフラット形探針はエツチング技術により超小形
にもあるいは一枚の絶縁層に集合状にも製作できるので
、密集して配置することが可能であり、またコンタクト
部はフラット形なので圧接により接続することができ、
接続の作業性がよくなる。たとえばフラット形のＩＣパ
ッケージの測定やプラグインタイブの回路基板の測定に
好適なものとなる。第１の電導層は信号線として、第２
の電導層は測定手段の接地線として用いられ、互に対向
状に形成されるのでその間の電気容量等が一様になり、
その形状や間隔を適切に決定することによって特性イン
ピーダンスを測定手段側に整合させることができる。こ
のため信号の反射やクロストークなどを押えることがで
きるので高周波特性が良くなり、高周波領域での測定が
可能となる。

〔実施例〕

本発明を図面に基づいて詳細に説明する。

図は本発明のフラット形探針の好適な実施例の斜視図で
ある。図において、フラット形探針は第１の電導層１と
第２の電導層２とを、絶縁層３の上下に対向状に着設す
る。該第１および第２の電導層はエツチング技術により
形成しても良いし、予め所定の形状に加工したものを接
着しても良い。

前記第１の電導層１の一端である先端部にはほぼフラッ
トな形状を成した被測定物とのコンタクト部４を形成す
る。該コンタクト部４は被測定物の電極との接触により
電気的接続を行なうもので接触抵抗が少くなるよう必要
により金メッキ等が施される。さらに第１の電導層ｌの
他端である末端部には例えば図示しない測定手段との接
続部５が設けられる。該接続部５は図ではソケットピン
５ａを絶縁層３に配設し、測定手段の接続線にプラグピ
ンを設けて嵌合接続させるものであるが、直に該接続線
を接続部５へ溶着しても良いし、測定用ピンを立設して
も良い。第２の電導層２は末端部において、たとえば測
定手段の接地線に接続すべく前記同様にソケットピン５
ｂが設けられ、ソケットピン５ａ、５ｂが絶縁層３に配
設されて接続部５が構成される。本発明の他の実施例と
しては一つの絶縁層の上下に前記電導層をエツチング技
術により密集状にプリント配線することも可能である。

なお、本実施例は絶縁層３を挟着して二つの電導層１．
２を設けた糸、その片面に平行状に配設しても同様に目
的が達成されるものである。

以上のように構成された本発明のフラット形探針の作用
を説明する。今、第１の電導層１のコンタクト部４に被
測定物の高周波被測定信号（Ａ）が入力されると、第１
の電導層１及び接続端子５を経て測定器で計測される。

このとき第２の電導層２は被測定物と同一に接地されて
いる。したがって、ノイズ発生が押えられ、高周波測定
信号（Ａ）が乱されず被測定物の電気特性を高精度に測
定できる。さらにこの場合複数の探針をより多く同一の
被測定物に配置され、高密度実装が容易に実現される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、探針をフラット形状にしたことにより
、より多くの同時平面配置が可能で、しかも被測定物の
電極に対しては精細なピッチで配置でき、高密度実装に
適するという効果が得られる。また、コンタクト部と接
続部間は同一の電導層で構成されているので、組配を必
要と廿ず、接続誤りを排除することができ、かつ従来の
接触抵抗を完全に無くすることもできるという大なる効
果が得られる。更に、電気容量を空間的に一様としたこ
とにより、高周波領域においても被測定物の電気特性を
くずさずに高精度で信頼性の高い測定を実現出来るとい
う大なる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示す一部破断斜視図である。 １・・・第１の電導層 ２・・・第２の電導層 ３・・・絶縁層 ４・・・コンタクト部 ５・・・接続部 ５ａ、５ｂ・・・ソケットピン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物との電気的なコンタクト部を一端に略フ
   ラット形に有する第１の電導層と、該第１の電導層と対
   を成す第２の電導層とを、絶縁層に絶縁して対向状に着
   設すると共に、前記第１の電導層の他端と前記第２の電
   導層とに測定手段との接続部を備えて成ることを特徴と
   するフラット形探針。
2. （２）前記第２の電導層は前記絶縁層における前記第１
   の電導層が着設された面の反対面にそれに対向させて着
   設されたことを特徴とする前記第１項に記載のフラット
   形探針。
3. （３）上記接続部は上記第１および第２の電導層と絶縁
   層とにより一体に形成され前記測定手段の特性インピー
   ダンスと整合されていることを特徴とする前記第１項ま
   たは第２項のいずれかに記載のフラット形探針。