JPS62218563A - 絶縁性管内面の金属コ−テイング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は絶縁性管内の金属コーティング方法に関する。

更に詳しくは金属の酸化物や窒化物のような絶縁性物質
を原料としたセラミックス製管の内面に金属をコーティ
ングして電気伝導性を付与するための金属コーティング
方法に関する。

従来技術 従来の絶縁性管内に金属をコーティングする方法として
は、水溶液による無電界メッキによってコーティングさ
れていた。しかし、この方法によると、コーティングで
きる金属に制限があり、またコーティングに使用した水
溶液の廃液処理を行わなければならない欠点があった。

発明の目的 本発明は従来の金属コーティング方法の欠点をなくすべ
くなされたもので、その目的はコーティングできる金属
に制限がなく、また廃液処理もない新しい絶縁性管内に
金属コーティングをする方絶縁性管内面に低圧気体放電
を利用して金属をコーティングする方法によると、従来
法の欠点を解消し得られることを知見し得た。この知見
に基いて本発明を完成した。

本発明の要旨は、真空容器内に入れた絶縁性管の内部に
金属製電極を挿入し、容器内に不活性ガスを導入して低
圧気体放電を発生させ、放電により電極から金属を飛散
させて管内面をコーティングすることを特徴とする絶縁
性管内面の金属コ−ティング方法。にある。

本発明の方法を実施する装置に基ずいて説明すると、第
１図はその装置の概要図で、１はガラス製の真空容器、
４は絶縁性のセラミックス製管。

５は管の保持具で、４のセラミックス製管の中心と１の
真空容器の中心を一致させるために管の両端に５の保持
具を取り付け、一方の保持具には巻き取り用の線８を結
ぶ。４のセラミックス製管を致するように保持部６を真
空容器１に取り付ける。

排気口２より排気し排気系の到達圧力まで減圧した後、
３のガス導入口より不活性気体を導入して真空容器内の
圧力を放電開始圧以上とする。７の放電電極間に交流の
高電圧を印加し放電を開始させる。放電により生じた不
活性気体のイオンは交互に電極を衝撃し、電極金属を飛
散させる。飛散した電極金属は管の内面に堆積するが、
内面全てを均一にコーティングするために、モーターを
巻き取り部９のギヤに接続し管を一定速度で移動する。

本発明において真空槽内の圧力の変動や印加電圧の変動
は、イオンのエネルギーや密度を変化させコーティング
速度を不安定にする。そこで１０の電磁石に通電し放電
部分に磁場を作り放電を安定化させる。

また放電用の電源は放電電流を安定化するため固体金属
を水溶液を使用せずに絶縁性の管の内面に均一にコーテ
ィングできる。

従って、従来法におけるようなコーティングに使用した
水溶液の廃液処理を必要とせず、またコーティングする
金属には制限がない等の優れた効果を奏し得られる。

実施例 電極金属に直径０．５ｗｍ、長さ１．０１ｎの金線を用
い、コーティング用の管を長さ４００ｍｍ、内径１０酊
、外径１４ｍのアルミナ焼結体として、第１図に示す装
置を使用した。

真空容器を排気系の到達圧力１Ｏ−３Ｐａまで排気した
後、アルゴンガスを導入し容器の圧力を５００ｐａとし
た。電極間に１２００Ｖの交流を印加し放電を開始させ
た。電磁石に通電し放電部分に１００Ｇａｕｓｓ　の磁
場が生じるようにした。巻き取り部にモーターを接続し
、毎分１０１ｍの速度で管を移動第１図は本発明の方法
を実施する装置の概要図である。

１：真空容器、　　　　　２：排気口。

３：ガス導入口、　　　　４：絶縁性管。

５：保持具、　　　　　　６；電極保持部。

７：電極、　　　　　　　８：巻き取り用の線。

９：巻き取り部５　　１０：電磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空容器内に入れた絶縁性管の内部に金属製電極を挿入
   し、容器内に不活性ガスを導入して低圧気体放電を発生
   させ、放電により電極から金属を飛散させて管内面をコ
   ーティングすることを特徴とする絶縁性管内面の金属コ
   ーティング方法。