JPS62226879A - 封着部を有する窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は封着部を有する窒化アルミニウム焼結体に関し
、さらに詳しくは、その封着部に形成された導電性メタ
ライズ層と焼結体母材との密着性が良好であって、とく
に、電力管用外囲器、マグネトロン用発振部品、レーザ
管用絶縁管などとして有用な窒化アルミニウム焼結体に
関する。

（従来の技術） 窒化アルミニウム（Ａｕ　Ｎ）焼結体は熱伝導性、絶縁
性、耐熱衝撃性および高周波特性に優れているとともに
、高い高温強度を有するため、近年各種電子・電気部品
の素材として注目されている。

ところで、このようなＡｆＬＮ焼結体部品の中には、例
えば、電力管用外囲器、マグネトロン用発振部品、レー
ザ管用絶縁管など、円筒形のＡ！ＬＮ焼結体であって、
かつ、その一端部もしくは両端部が例えば金属部材によ
って封着されてなるものがある。ところで、従来、これ
らの部品はアルミナ（Ａｆｌ　２０３　）　、ベリリア
（Ｂ　ｅ　Ｏ）などの酸化物系セラミックス焼結体によ
り形成されることが一般的であった。しかし、これらの
部品はいずれも優れた放熱性および場合によっては高周
波特性を有することが求められるため、熱伝導率および
高周波特性が充分でないＡＭ。０３や、これらの特性は
満足すべきものの、毒性があってかつ高価なりｅＯに代
わるものとしてＡｉＮが提案されているのである。

Ａ文Ｎ焼結体よりなる封着部を有する円筒形部品は、そ
の封着面に例えば金属よりなるＭ着部材をろライ＝Ｆも
しくははんだ付により接合するための導電性メタライズ
層が形成されていることが必要である。しかしながら、
ＡＩＮ焼結体表面に導電性メタライズ層を形成する場合
、上記したＡ交２０３．Ｂｅｏに適用していたモリブデ
ン−マンガン（Ｍｏ−Ｍｎ）法をそのまま適用すること
ができない。一方、ＡＱＮ焼結体表面には従来よりメタ
ライズ法として公知のダイレクトポンドカッパー法（Ｄ
ＢＣ法）や厚膜法でメタライズ層を形成することができ
るが、しかしこのメタライズ層は高温でのＡ！；ＬＮ焼
結体との密着性が低いため、ろう付やはんだ付に対する
信頼性、すなわち、長期に亘る接合部の信頼性が充分で
ないという不都合がある。

（発明が解決しようとする問題点） このように、ＡＪＩＮ焼結体はその特性の点で上記した
電力管用外囲器、マグネトロン用発振部品およびレーザ
管用絶縁管などの素材として極めて有用であるが、その
封着部に形成される導電性メタライズ層の品質が未だ満
足すべきものでないため、上述の部品への適用が阻まれ
ているというのが現状である。

本発明は従来のかかる問題を解消し、封着部を右する円
筒形のＡｉＮ焼結体であって、その封着部に形成された
導電性メタライズ層とＡｉＮ焼結体ＣＩ材との密着性が
良好で、例えば封着金属などを該メタライズ層にろう付
、はんだ付する際の接合信頼性が高く、しかも、封着後
に該封着部における気密性を良好に保つことができるた
め、前述した各部品として有用なＡ見Ｎ焼結体の提供を
目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明者らは、主として、Ａ交Ｎ焼結体母材の封着部表
面に形成されるメタライズ層の構成成分元素の組合せに
焦点を絞って鋭意研究を重ねた結果、上記［１的を達成
しうる特定の組合せを見至った。

すなわち１本発明の封着部を有する円筒形窒化アルミニ
ウム焼結体は、その封着部に形成された導電性メタライ
ズ層が、 （イ）（１）モリブデン、タングステンおよびタンタタ
ルよりなる群（第１の群）から選ばれた少なくとも１種
、ならびに、 ［ｉＤ　ｆＡ期律表の第■族元素、第ＩＶａ族元素、希
土類元素およびアクチノイド元素よりなる群（第２の群
）から選ばれた少なくとも１種を構成相の成分元素とし
て含有する層、 （ロ）周期律表の第ＩＶａ族元素を少なくとも１種含む
合金よりなる層、または、 （ハ）（１）モリブデン、タングステンおよびタンタル
よりなる群から選ばれた少なくとも１種、ならびに、 （ｉｉ）該窒化アルミニウム焼結体を製造する際に使用
した焼結助剤を構成する元素の少なくとも１種を錨煮相
の虚分−？車として含有する層 であることを４￥徴とする。

まず、本発明のＡｕＮ焼結体は封着部を有する円筒形、
すなわち中空の焼結体であり、その使用目的に応じて一
端部もしくは両端部の封着部に導電性メタライズ層が形
成されてなるものである。

この円筒形Ａ文Ｎ焼結体において、導電性メタライズ層
を形成すべき面はその端部であればとくに限定されるも
のではなく１例えば焼結体端部外周面あるいは端面など
、封着部材の取り付は位置により適宜設定されることが
好ましい。さらに。

ＡｕＮ焼結体自体の特性に関しても格別限定されるもの
ではないが、！ｊｉ　’ｙｌしたような各用途、すなわ
ち、電力管用外囲器、マグネトロン川発振部品およびレ
ーザ管用絶縁管などに適用する場合は。

高い放熱性が貿求されるので、その熱伝Ａ率か５０ｗ／
ｍ−に以」二であることが好ましい。

さて１本発明にあっては、導電性メタライズ層は１１１
１述した（イ）、（ロ）または（ハ）で示される層とし
て形成される。

まず、　（イ）で示されるメタライズ層にあって、第１
の群に属する元素、すなわち、モリブデン（Ｍｏ）、タ
ングステン（Ｗ）およびタンタル（Ｔａ）は、耐熱性に
優れ、かつ、ＡＩＮ焼結体母材の熱膨張係数とほぼ近似
した熱膨張係数を有するものであり、該メタライズ層の
耐熱性および耐熱サイクル特性の向上に資する成分であ
る。

これらの成分元素は、１種または２種以上が組合わされ
て構成相に含まれている。その場合に、これらの元素は
、例えば、各元素単体で、または各元素を含む化合物も
しくは固溶体として、またはこれら？ｎｎ体化化合物よ
び固溶体から選ばれた２種以上の混合体として存在する
。このうち、化合物としては、これらの元素の酸化物、
窒化物、）父化物、酸窒化物、１女窒化物、炭酸化物、
炭酸窒化物、ホウ化物、ケイ化物などがあげられ、かか
る化合物はＬ記元素の他に、後述する第２の群に属する
元素を少なくとも１種および／または第２の群に属する
元素以外の元素を少なくとも１種含む複合化合物であっ
てもよい、また、固溶体にあっでもこれと同様である。

・方、第２の群に屈する元Ｊ、すなわち、周期律表の第
ｍ族元Ｊ（Ｂ、Ａｉ、Ｓｃ、Ｇａ、Ｉｎ、ＴＭ）、第ｒ
Ｖａ族元素（Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ）、希１：類元素（Ｙ、
Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ。

Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙ
ｂ、Ｌｕ）およびアクチノイド元素（Ａｃ、Ｔｈ、Ｐａ
、Ｕ、Ｎｐ、Ｐｕ、Ａｍ、Ｃｍ、Ｂｋ、Ｃｆ、Ｅｓ、Ｆ
ｍ、Ｍｄ、Ｎｏ。

“　　Ｌｒ）は、後述するメタライズ層形成工程、すな
わち加熱工程において、ＡｕＮとのぬれ性が優れており
、導電性メタライズ層とＡｕＮ焼結体との密着性の向り
に資する成分である。なお、この第２の群に属する元素
のうち、とくに好ましいものは、Ａｌｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、
Ｈｆ、Ｙ、Ｃｅ、　Ｄｙ。

Ｔｈ、Ｓｍなどである。

これらの成分元素は、上記第１の群に属する成分元素と
同様、１種または２種以上が組合わされて構成相に含ま
れており、その存在状可；も前記と同様に１例えば、各
覚書単体で、または各覚書を含む上に列挙した如き化合
物もしくは固溶体として、またはこれら単体、化合物お
よび固溶体から選ばれた２挿具」−の混合体として存在
する。

また、本発明において、第１の群に属する元；にと第２
の群に属する元素との構成比はとくに限定されるもので
はなく、使用する元；にの種類あるいはＭ１合わせによ
って適宜設定すればよいが、例えば、第１の群に属する
元素の合計と第２の群に属する元素の合計との比が、原
子比で９０：ＬＯ〜１０：９０程度に設定されることが
好ましい。

かかる（イ）の導電性メタライズ層をその封着部に有す
る第９．Ｎ焼結体は例えば、次のようにして製造される
。

すなわち、まず、ＡＩＮ粉末と酸化イツトリウム（Ｙ２
Ｏ２）、酸化力）Ｌｔシウム（Ｃａｂ）　、酸化アルミ
ニウム（ＡＪ１２０３）、酸化ランタン（Ｌａ２０）お
よび酸化セリウム（ＣｅＯ）などから選ばれた少なくと
も１種の焼結助剤粉末とを混合・成形して円筒形の成形
体を製造し、ついで、該成形体を常法により焼結して円
筒状のＡ交Ｎ焼結体を得る。

しかるのち、この円筒形のＡｕＮ焼結体の封着面に上記
第１の群および第２の群からそれぞれ選択された元素を
含むペーストもしくは液状物を塗布する。このペースト
もしくは液状物は、具体的には、」二足元票の単体ある
いは化合物粉末をエチルセルロース、ニトロセルロース
などの粘Ｈ剤に分散せしめて得られる。このとき、原料
粉末としては、」−記各元素の単体粉末や、各元素を含
む導電性無機化合物、すなわち、酸化物、窒化物、炭化
物、ケイ化物、ホウ化物、酸窒化物、炭窒化物、ホウ窒
化物、ケイ窒化物、水素化物、塩化物、フッ化物、臭化
物、ヨウ化物、硝酸塩、亜硝酸塩、硫酸塩、亜硫酸塩、
ホウ酸塩、リン酸塩、亜リン酸塩、炭酸塩、シュウ酸塩
、塩素酸塩、ケイ酸塩、水酸化物、アンモニウム塩、あ
るいは焼成して導電性となる無機化合物もしくは有機化
合物（例えば、アルコキシド、ゾル−ゲル）などを使用
することができる。また、かかるペーストもしくは液状
物中には、」二足第１および第２の群から選ばれた元素
もしくは該元素を含む化合物がｅｊ、ｌで全体の５重量
％以上含有されていることが望ましい。

ついで、上記のようにＡ文Ｎ焼結体母材表面にペースト
もしくは液状物を塗布したのち、乾燥させて、しかるの
ち、加熱処理することによりメタライズ層を形成する。

このときの加熱温度は、成分元素の種類および組合わせ
によっても異なるが、通常は、１１００〜１８００℃程
度である。

また、雰囲気ガスとしては、窒票ガス、ドライホーミン
グガス、ウェットホーミングガスなどを使用でき、処理
時間は０．５〜２時間程度に設定することが好ましい。

なお、上記のようにまずＡ文Ｎ焼結体を製造したのち導
電性メタライズ層を形成する方法に代えて、Ａ！；ＬＮ
の成形体に上記メタライズ層となるべきペーストを塗布
したのち、Ａ文Ｎの焼結温度およびメタライズ層の形成
温度をともに満足する温１隻で焼成し、ＡＩＮの焼結と
導電性メタライズ層の形成とを同時に行なう、いわゆる
同時焼結法を適用することもできる。

つぎに、（ロ）で示される導電性メタライズ層は、第Ｉ
Ｖａ族元素、すなわち、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム
（Ｚ　ｒ）およびハフニウム（Ｈｆ）のうちの少なくと
も１種を含有する合金層である。かかる合金層において
、第■ａ族元素以外の合金成分としては、とくに制限さ
れるものではないが、なるべくＡｕＮ焼結体とのぬれ性
が良好な合金を形成するものが好ましい、具体的には。

銀（Ａｇ）、￥１４（Ｃｕ）　、　＝−／ケル（Ｎｉ）
、モリブデン（Ｍｏ）などをあげることができ、これら
を単独であるいは適宜組合わせて用いることができる。

Ｔｉをはじめとする第ＩＶａ族元素は、上記ｒＶａ族元
素以外の合金成分元素と合金を形成していても、また１
合金を形成せず上記少なくとも２種の合金成分よりなる
合金中に例えば分散せしめられたような状態で存在して
いてもよい、このうち、合金層の少なくとも一部が共晶
合金であ体と良好にぬれるためさらに有利である。かか
る共晶合金の具体例としては、ＡｇとＣｕまたはＭ　ｏ
　Ｎ　ｉとＡｇとＣｕとをそれぞれ共晶組成となるよう
に組合わせたものをあげることができる。

なお、かかる合金中で、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの
少なくとも１種が占める割合は、とくに限定されるもの
ではないが１通常、１〜１０重量％程度であることが好
ましい。

Ｉ−記（ロ）の導電性メタライズ層は例えば次のように
して形成することができる。

すなわち、上記と同じ＜ＡｕＮ焼結体の所望の面に、」
二足第ＩＶａ族元素およびその他の合金成分元素を含む
ペーストまたは液状物を塗布したのち焼成すればよい。

このとき使用する粘着剤としてはに記と同様のものがあ
げられる。原料粉末としては、」−記各元素単体粉末ま
たは上述したような化合物粉末を使用することができる
。また、焼成は、真空中もしくはＡｒなどの不活性ガス
中で行なうことが好ましく、焼成温度は１合金層を形成
ナス＋ジノ、〉子υの五［粕訟ｔｔメ釦＾壮げ上。ても
卑なるが、通常は８００〜１ｏｏｏ℃程度である。

さらには、このようなペーストもしくは液状物を使用す
る方法のほかに、各合金成分元素の箔もしくは粉末また
はその両者をＡ文Ｎ基板上に載置して上記と同様に焼成
する方法を採用することもできる。

さらに、上記（イ）で示されるメタライズ層について述
べたと同様、同時焼結法を適用することもＩＴ丁能であ
る。

最後に（ハ）で示される導電性メタライズ層は、Ｍｏ、
ＷおよびＴａから選ばれる少なくとも１種の元素と；　
Ａｎ　Ｎ焼結体を製造する際に使用した焼結助剤を構成
する金属元素の少なくとも１種を構成相の成分元素とし
て含有するものである。Ｍｏ、ＷおよびＴａは上記（イ
）で示される層と同様の形態で、１種または２種以上が
組合されてメタライズ層に含まれている。一方、焼結助
剤としては上に列挙したものがあげられ、（ハ）で示さ
れるメタライズ層中には、これらの焼結助剤の構成金属
、すなわち、Ｙ、Ｃａ、Ａ！Ｌ、Ｌａ、Ｃｅなどから選
ばれる少なくとも１種が含有されている。これらの金属
元本は、上記と同様金属単体として、または種々の化合
物もしくは固溶体として存在する。

この（ハ）で示される導電性メタライズ層を形成する際
も、上記（イ）および（ロ）で示されるものと同様にそ
れぞれの元素の単体あるいは化合物粉末よりなる原料ペ
ーストをＡｆＬＮ焼結体の所望の面に塗布したのち１１
００〜１８００　’Ｃ程度の温度で焼成すればよい。い
ま、仮にＡｆＬＮ焼結体を製造した際に使用した焼結助
剤がＹ２Ｏ３であるとすると、原料ペーストには、Ｙｉ
ｉ体、ＹＦ、　またはＹ２Ｏ３などを含有させればよい
。

この（ハ）で示される導電性メタライズ層に含まれる、
焼結助剤と同一の金属元素の含有量は３〜５０爪量％、
とくに１０〜２０重着％とすることが好ましい。

このようにして得られた封着部に導電性メタライズ層を
有する円筒形Ａ立Ｎ焼結体の該封着部に金１４よりなる
封着部材を接合する場合は、まず、この導電性メタライ
ズ層にＮｉなとのメッキを施し、続いて、ホーミングガ
ス中、６００〜８５０℃で該メッキ層を７ニールし、し
かるのち、ろう付もしくははんだ付を行なえばよい。

（実施例） 実施例１ 第１図に示したようなレーザ管用絶縁管を製造した。す
なわち、まず焼結助剤として１重量％のＹ２Ｏ３を含有
するＡ４Ｎ粉末を常法により成形したのち約１８００℃
で約１時間焼結して軸心に貝通孔１ａを有する円筒形Ａ
文Ｎ焼結体ｌを得た。ついで、このＡ文Ｎ焼結体１の両
端の封着部１ｂおよび１ｂに対応する領域の外周面に導
電性メタライズ層２および３を形成した。このメタライ
ズ工程は、まず、Ｌｉ２ＭｏＯ４粉末とＴｉＯ２粉末と
ニトロセルロースとを重量比で３：２：１０で混合して
原料ペーストを調製し、このペーストを焼結体１の所定
面に塗布・乾燥後に空気中で加熱処理し、ついでＨ２／
Ｎ２ガス中、約１１００°Ｃで１時間加熱することによ
り行なった。

しかるのち、この導電性メタライズ層にＮｉメッキを施
してこれを約８００°Ｃでアニールしたのちコバール（
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）製の封着部材４および５をそれ
ぞれ導電性メタライズ層２および３にろう付した。しか
るのち、この封着部ｔｂおよびＩＣにおけるヘリウムリ
ークテストを行なったところリーク速度Ｉ　Ｘ　１０−
ａｃｃ　ａｔｍ／ｓｅｅ以下で長期間変化せずシール性
が良好であることが確認された。

このように、／ＩＮ焼結体よりなるレーザ管用絶縁管は
従来材であるＢｅＯと比べて遜色のない高い熱伝導性お
よび絶縁性を有するとともに。

ＢｅＯのようなｉＩｉ性もなく、価格もＢｅＯの１／３
〜Ｉ１５　と極めて安価であるという利点を有する。

しかも、その封着部における接合信頼性も高く、シール
性にも優れている。

実施例２ 第２図に示したような電力管用外囲器を製造した。すな
わち、まず焼結助剤として１重量％のＹ２Ｏ３を含有す
るＡ文Ｎ粉末を常法により成形したのち約１８００°Ｃ
で約１時間焼結して軸心に貫通孔１１ａを有する円筒形
Ａ交Ｎ焼結体１１を得た。ついで、このＡ交Ｎ焼結体１
１の両端の封着部１１ｂおよびｌｌｂに対応する領域の
外周面に導電性メタライズ層１２および１３を形成した
。このメタライズ工程は、まず、Ａｇ、ＣｕおよびＴｉ
の各粉末を重量比で７１：２７：２（ＡｇおよびＣｕは
共晶組成）となるように混合し、この混合粉末１００重
量部に対し、メチルセルロース３０！ＩｉＱ部を配合す
ることにより原料ペーストを調製し、このペーストを焼
結体１１０所定面に塗布・、乾燥後にＡｒガス中におい
て、約８３０°Ｃまで加熱し、約５分間保持することに
より行なった。

しかるのち、この導電性メタライズ層にＮｉメッキを施
してこれを約６００℃で７ニールしたのちコバール製の
封着部材１４および１５をそれぞれ導電性メタライズ層
１２および１３にろう付した。しかるのち、この封着部
１１ｂおよび１１ｃにおけるヘリウムリークテストを行
なったところリーク速度Ｌ　Ｘ　Ｉ　０−８ｃｃ　ａｔ
ｍ／ｓｅｃ以下で長期間変化せずシール性が良好である
ことが確認された。

さらに、この電力管用外囲器は、従来材であるＡ！；Ｌ
２０３よりなるものに比べて、とくに高周波域での効率
が約１０％上昇していることが確認された。これはＡｉ
Ｎの放熱性がＡｌ２Ｏ３に比べてはるかに高いことに起
因する。

実施例３ 第３図に示したようなマグネトロン用発振部品を製造し
た。すなわち、まず焼結助剤として１重ｊ１１−％のＹ
２Ｏ３を含有するＡｆＬＮ粉末を常法により成形したの
ち約１８００℃で約１時間焼結して軸心に貫通孔２１ａ
を有する円筒形ＡｉＮ焼結体２１を得た。ついで、この
Ａ見Ｎ焼結体２１の一端部の封着部２１ｂに対応する領
域、すなわち。

Ａ文Ｎ焼結体２１の一端面に導電性メタライズ層２２を
形成した。

このメタライズ工程は、まず、ＭＯ粉末と上記の焼結助
材と同一の金属元素を含むＹ２　ｏ３粉末とニトロセル
ロースとを重量比で２：１：１で混合して原料ペースト
を調製し、このペーストを焼結体２１の所定面に塗布・
乾燥後にＮ２ガス中、約１７００°Ｃで１時間加熱する
ことにより行なった。

しかるのち、この導電性メタライズ層にＮｉメッキを施
してこれを約８００℃で７ニールしたのちコバール製の
封着部材２３をそれぞれ導電性メタライズ層２２にろう
付した。しかるのち、この１１着部２１ｂにおけるヘリ
ウムリークテストを行なったところリーク速度Ｉ　Ｘ　
１０　’　ｃｃ　ａｔＩｌ／ｓｅｃ以下で長期間変化せ
ずシール性が良好であることが確認された。また、１１
着部材２３の接合強度は引張り強度として評価した場合
５〜１０　ｋｇ／　ａｍ２であった。

このようにＡＩＮ焼結体よりなるマグネトロン川発振部
材は、従来材であるＡｌ２Ｏ３よりなるものに比べてと
くに高周波領域での効率が改善され、また放熱性が極め
て高いため、冷却用ファンもしくはファンの小型化が達
成される。

なお１本実施例においては、ｌ記３種の部品を例にあげ
て説明したが、未発明の封着部を有する円筒形Ａ交Ｎ焼
結体の適用範囲はこれらに限定されるものではなく、例
えば核融合タライストロン川入射窓など、ＡｆＬＮ焼結
体の有する種々の優れた特性が要求され、しかも、高い
シール性を具備することが必要な各種部品に適用して有
用である。

［発明の効果］ 以１この説明から明らかなように、本発明のＪ＋ｊ７？
部を右する窒化アルミニウム焼結体は、その月ｌｉ部に
特定の構成相を有する密看性の良好な導電性メタライズ
層が形成されているため、このＪＪ着部に例えば金属酸
の封着部材を接合した際の接合信頼性が極めて高く、か
つ、該封着部のシール性も非常に良好であるため、／Ｉ
Ｎ焼結体の特性、すなわち高い放熱性、絶縁性および高
周波特性が要求され、しかも、封着部を形成する必要の
ある各種電子・電気部品に応用してその工業的価値は高
い。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の封着部を有する窒化アルミ
ニウム焼結体の実施例を示す縦断面図である。 １．１１．２１・・・円筒形Ａ文Ｎ焼結体、ｌａ、１１
ａ、２１ａ・・・貫通孔、 ｌｂ、ｌｃ、ｌｌｂ、ｌｉｅ、２１ｂ・・・封着部、２
．３．１２．１３．２２・・・導電性メタライズ層、４
．５．１４．１５．２３・・・封着部材。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくともその一端部に封着部を有し、該封着部
   に導電性メタライズ層が形成されてなる窒化アルミニウ
   ム焼結体であって、 該導電性メタライズ層が、 （イ）（ｉ）モリブデン、タングステンおよびタンタル
   よりなる群（第１の群）から選ば れた少なくとも１種、ならびに、 （ｉｉ）周期律表の第III族元素、第IVａ族元素、希土
   類元素およびアクチノイド元素よ りなる群（第２の群）から選ばれた少 なくとも１種を構成相の成分元素とし て含有する層、 （ロ）周期律表の第IVａ族元素を少なくとも１種含む合
   金よりなる層、または、 （ハ）（ｉ）モリブデン、タングステンおよびタンタル
   よりなる群から選ばれた少なく とも１種、ならびに、 （ｉｉ）該窒化アルミニウム焼結体を製造する際に使用
   した焼結助剤を構成する元素 の少なくとも１種を構成相の成分元素 として含有する層 であることを特徴とする封着部を有する窒化アルミニウ
   ム焼結体。
2. （２）該合金の少なくとも一部が、共晶合金である特許
   請求の範囲第１項記載の窒化アルミニウム焼結体。