JPS62229520A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS62229520A JPS62229520A JP7088286A JP7088286A JPS62229520A JP S62229520 A JPS62229520 A JP S62229520A JP 7088286 A JP7088286 A JP 7088286A JP 7088286 A JP7088286 A JP 7088286A JP S62229520 A JPS62229520 A JP S62229520A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は磁気記録媒体、特にＣｏ−Ｎｉ系の金属膜に
特定の希土類元素を含有させて磁気特性および耐食性を
向上させた磁気記録媒体に関するものである。
特定の希土類元素を含有させて磁気特性および耐食性を
向上させた磁気記録媒体に関するものである。
γ−ＦｅｚｅｓやＦｅなどの磁性粉末と合成樹脂バイン
ダーとを混練して得られる混練物を、非磁性基板上に塗
布してなる磁気記録媒体が従来から使用されている。・ この種の塗布型の磁気記録媒体に対して基板上に金属磁
性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒体が開
発されている。
ダーとを混練して得られる混練物を、非磁性基板上に塗
布してなる磁気記録媒体が従来から使用されている。・ この種の塗布型の磁気記録媒体に対して基板上に金属磁
性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒体が開
発されている。
この金属薄膜タイプの磁気記録媒体を形成する方法とし
ては、（ａｌ湿式法としての化学メッキ法、（ｂ）乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。
ては、（ａｌ湿式法としての化学メッキ法、（ｂ）乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。
一般には（ａｌの湿式法に比較して、基板に施す下地処
理や磁性層の長手方向や幅方向に対する均質性などの点
から、（ｂ）の乾式法による方が良好な磁気記録媒体が
得られると考えられている。
理や磁性層の長手方向や幅方向に対する均質性などの点
から、（ｂ）の乾式法による方が良好な磁気記録媒体が
得られると考えられている。
しかし、この乾式法によって形成された金属薄膜型磁気
記録媒体は酸化物磁性粉末に比べ熱力学的安定性は極め
て低く、且つ、空孔が多い構成であり、空気中において
腐食し性能の低下を招きやすい。
記録媒体は酸化物磁性粉末に比べ熱力学的安定性は極め
て低く、且つ、空孔が多い構成であり、空気中において
腐食し性能の低下を招きやすい。
従来から、磁気記録媒体に対して磁気特性を低下させる
ことなく、耐食性を向上させることを目的とする試みが
なされている。例えば、特開昭５６−１５０１４号、同
５７−１９６５０７号、同５８−１３４４１４号に添加
金属を添加したり、オゾンと酸素との混合ガスを磁性層
形成部分に差し向けたり、あるいは酸素原子数を定量的
に設定したりして磁気記録媒体の耐食性を向上させるこ
とが開示されている。
ことなく、耐食性を向上させることを目的とする試みが
なされている。例えば、特開昭５６−１５０１４号、同
５７−１９６５０７号、同５８−１３４４１４号に添加
金属を添加したり、オゾンと酸素との混合ガスを磁性層
形成部分に差し向けたり、あるいは酸素原子数を定量的
に設定したりして磁気記録媒体の耐食性を向上させるこ
とが開示されている。
しかし、これらにおいてはいずれも耐食性の向上は僅か
には認められるが充分でなく、場合によっては飽和磁化
や残留磁化が減少し磁気記録媒体の再生出力の低下が生
じてしまうこともある。
には認められるが充分でなく、場合によっては飽和磁化
や残留磁化が減少し磁気記録媒体の再生出力の低下が生
じてしまうこともある。
この発明は、前述の従来の磁気記録媒体での欠点を解決
し、Ｃｏ−Ｎｉ系の金属薄膜タイプの磁気記録媒体に特
定の希土類元素を添加させることにより、磁気特性およ
び耐食性を向上させたものを提供することを目的とする
。
し、Ｃｏ−Ｎｉ系の金属薄膜タイプの磁気記録媒体に特
定の希土類元素を添加させることにより、磁気特性およ
び耐食性を向上させたものを提供することを目的とする
。
この発明では、非磁性基板上にＣｏ、Ｎｉ 、金属Ｍ１
または金属島と金属Ｍ２、希土類元素Ｒ及び酸素よりな
る磁性層が形成され、金属りはＢ、 Ａ １ ＋Ｓｔ、
Ｐ。
または金属島と金属Ｍ２、希土類元素Ｒ及び酸素よりな
る磁性層が形成され、金属りはＢ、 Ａ １ ＋Ｓｔ、
Ｐ。
Ｇｅ、 Ｓｎ、 Ｓｂ＋ Ｓｅ＋ Ｔｅ、 Ｐｂ、旧の
うちの１種以上、金属Ｍ２はＣｕ、 ’ｒｔ、 ｖ、
Ｃｒ、 Ｚｒ、 Ｎｂ＋ Ｍｏ、 Ｗ、 Ｔａのうちの
１種以上、希土類元素ＲはＹ、 Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎ
ｄ。
うちの１種以上、金属Ｍ２はＣｕ、 ’ｒｔ、 ｖ、
Ｃｒ、 Ｚｒ、 Ｎｂ＋ Ｍｏ、 Ｗ、 Ｔａのうちの
１種以上、希土類元素ＲはＹ、 Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎ
ｄ。
Ｓｍ＋ Ｇｄ＋ Ｔｂ＋ Ｄｙのうちの１種以上からな
りこの磁性層の組成は、重量にてＮｉ０〜２０％、金属
Ｍ１または金属島と金属Ｍ、５％以下、希土類元素８１
％未満、酸素３〜１３％、残部Ｃｏなる構成となってい
る。
りこの磁性層の組成は、重量にてＮｉ０〜２０％、金属
Ｍ１または金属島と金属Ｍ、５％以下、希土類元素８１
％未満、酸素３〜１３％、残部Ｃｏなる構成となってい
る。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
まず、非磁性基板上に形成される磁性層の組成限定理由
について説明する。
について説明する。
Ｎｉは基本的には磁気記録媒体の残留磁化を減少させる
傾向を存するものであるが、ＣＯを主体とする金属の磁
性層の耐食性を向上させる効果がある。
傾向を存するものであるが、ＣＯを主体とする金属の磁
性層の耐食性を向上させる効果がある。
２０重量％を超えて含有させると、磁性層の残留磁化が
大幅に低下し、再生出力が低下してしまう。
大幅に低下し、再生出力が低下してしまう。
８１ Ａｇ、ｓｉ、 ｐ、 Ｇｅ、 Ｓｎ、 Ｓｂ、
Ｓｅ、 Ｔｅ、 ｐｂ、 ａｉのうちの１種以上からな
る金属島は、磁性層の耐食性を安定させるために含有さ
れ、Ｃｕ、 ｒｉ、 ｖ、 Ｃｒ＋Ｚｒ、 Ｎｂ、 Ｍ
ｏ＋ Ｗ＋ Ｔａのうちの１種以上からなる金属Ｍ２は
、磁性層の耐食性を向上させるために含有されるが、５
重量％を超えて含有させると、残留磁化が低下する。
Ｓｅ、 Ｔｅ、 ｐｂ、 ａｉのうちの１種以上からな
る金属島は、磁性層の耐食性を安定させるために含有さ
れ、Ｃｕ、 ｒｉ、 ｖ、 Ｃｒ＋Ｚｒ、 Ｎｂ、 Ｍ
ｏ＋ Ｗ＋ Ｔａのうちの１種以上からなる金属Ｍ２は
、磁性層の耐食性を向上させるために含有されるが、５
重量％を超えて含有させると、残留磁化が低下する。
Ｙ＋ Ｌａ、 Ｃｅ＋ Ｐｒ＋ Ｎｄ＋ ｓＭ、 Ｇｄ
＋ Ｔｂ＋ Ｄｙのうちの１種以上からなる希土類元素
Ｒは、Ｃｏ−Ｎｉ系金属磁性層の磁気特性および耐食性
を向上させるために添加含有させる。１重量％以上でも
、本発明の目的を達成することができるが、既に出願し
た（特願昭６０−２９０８５６号）ので、本発明ではＲ
の添加量は１重量％未満とした。
＋ Ｔｂ＋ Ｄｙのうちの１種以上からなる希土類元素
Ｒは、Ｃｏ−Ｎｉ系金属磁性層の磁気特性および耐食性
を向上させるために添加含有させる。１重量％以上でも
、本発明の目的を達成することができるが、既に出願し
た（特願昭６０−２９０８５６号）ので、本発明ではＲ
の添加量は１重量％未満とした。
酸素は、磁気記録媒体の保磁力の向上を目的として、一
部は金属と化合して酸化物金属膜を形成し、他は磁気記
録媒体の磁性層中、に吸着され、磁気記録媒体内に含有
される。３重量％未満であると、酸素の添加含有の効果
は認められず磁気記録媒体の保磁力は向上せず、又耐食
性が低下する。
部は金属と化合して酸化物金属膜を形成し、他は磁気記
録媒体の磁性層中、に吸着され、磁気記録媒体内に含有
される。３重量％未満であると、酸素の添加含有の効果
は認められず磁気記録媒体の保磁力は向上せず、又耐食
性が低下する。
一方、１３重量％を超えて含有されると、酸化の影響が
太き（現れ、金属酸化物の比率が増加してしまって充分
な耐食性が得られず又飽和磁化Ｍｓが低下してしまう。
太き（現れ、金属酸化物の比率が増加してしまって充分
な耐食性が得られず又飽和磁化Ｍｓが低下してしまう。
以上のような本発明組成の磁性層の厚みは０．１μｍか
ら１．０μｍ程度が望ましい。０．１μｍ未満では充分
な再生出力が得られずまた厚みが１．０μｍを超えると
、基板の可撓性が低下し記録密度を上げることが難かし
くなる。
ら１．０μｍ程度が望ましい。０．１μｍ未満では充分
な再生出力が得られずまた厚みが１．０μｍを超えると
、基板の可撓性が低下し記録密度を上げることが難かし
くなる。
このような磁性層が形成される非磁性基板としては適度
の可撓性と抗張性を有し薫着時の耐熱性を有する例えば
厚みが５〜２５μｍのポリエステル、アセテート、ポリ
カーボネート、ポリイミドなどのプラスチックフィルム
、ディスク状基板としてガラス基板、八１などの金属基
板などが使用される。
の可撓性と抗張性を有し薫着時の耐熱性を有する例えば
厚みが５〜２５μｍのポリエステル、アセテート、ポリ
カーボネート、ポリイミドなどのプラスチックフィルム
、ディスク状基板としてガラス基板、八１などの金属基
板などが使用される。
次に、本発明の磁気記録媒体の作成法について説明する
。この場合、高密度記録化の要請から、形成される磁性
層の保磁力が高く、且つ飽和磁束密度が高いことが要求
されるので、スパッタリング法、イオンブレーティング
法、真空蒸着法などのような乾式法を採用することが望
ましい。
。この場合、高密度記録化の要請から、形成される磁性
層の保磁力が高く、且つ飽和磁束密度が高いことが要求
されるので、スパッタリング法、イオンブレーティング
法、真空蒸着法などのような乾式法を採用することが望
ましい。
乾式法においては、保磁力を向上させるために、基板に
対して斜めに組成原子を入射させて金属薄膜を形成させ
ることにより、保磁力を向上させることが可能である。
対して斜めに組成原子を入射させて金属薄膜を形成させ
ることにより、保磁力を向上させることが可能である。
基板に対して斜めに組成原子を入射させると、針状の金
属薄膜組織が結晶の配向方向を基板に対して斜めにして
成長する。このような状態では結晶の配向及び形状異方
性が磁気異方性特性の原因となり、このように磁気異方
性が増加することにより磁気記録媒体の保磁力が向上す
る。さらに乾式法では、磁性層の磁気特性の再現性に優
れ、且つ長手方向、幅方向に対して均一のものが製作し
易い。
属薄膜組織が結晶の配向方向を基板に対して斜めにして
成長する。このような状態では結晶の配向及び形状異方
性が磁気異方性特性の原因となり、このように磁気異方
性が増加することにより磁気記録媒体の保磁力が向上す
る。さらに乾式法では、磁性層の磁気特性の再現性に優
れ、且つ長手方向、幅方向に対して均一のものが製作し
易い。
非磁性基板には、磁性層との密着性を向上させるために
、コロナ放電処理やプライマー処理などの下地処理を行
うことが望ましい。
、コロナ放電処理やプライマー処理などの下地処理を行
うことが望ましい。
以下、この発明の磁気記録媒体をその実施例に対し図面
を使用し、その製造法に従って詳細に説明する。
を使用し、その製造法に従って詳細に説明する。
第１図は、この発明の磁気記録媒体の実施例の製造装置
の断面構成を示すもので、はぼベル状の真空蒸着槽１１
が形成される。この真空蒸着槽１１には、真空ポンプ１
２が接続され、真空ポンプ１２を駆動させることにより
、真空蒸着槽１１内を所定の真空度に設定可能な構成と
なっている。
の断面構成を示すもので、はぼベル状の真空蒸着槽１１
が形成される。この真空蒸着槽１１には、真空ポンプ１
２が接続され、真空ポンプ１２を駆動させることにより
、真空蒸着槽１１内を所定の真空度に設定可能な構成と
なっている。
真空蒸着槽１１の底板１３上に電子ビーム蒸発源１４が
設けられ、この電子ビーム蒸発源１４内に強磁性金属１
５が配置される。強磁性金属１５はＣｏ、 Ｎｉさらに
Ｂ、 Ａ２．Ｓｉ＋ Ｐ、 Ｇｅ、 Ｓｎ、 Ｓｂ＋
Ｓｅ＋Ｔｅ、 Ｐｂ、 Ｂｉのうちの１種以上からなる
金属Ｈ３または金属島とＣｕ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ＋
Ｚｒ、 Ｎｂ、 Ｍｏ、 Ｗ、 Ｔａのうちの１種以
上からなる金属りおよびＹ、 Ｌａ、 Ｃｅ＋Ｐｒ、
Ｎｄ、 Ｓｍ、 Ｇｄ、 Ｔｂ＋ Ｄｙのうちの１種以
上からなる希土類元素Ｒからなり、その組成比が所定の
膜組成となるように設定されている。
設けられ、この電子ビーム蒸発源１４内に強磁性金属１
５が配置される。強磁性金属１５はＣｏ、 Ｎｉさらに
Ｂ、 Ａ２．Ｓｉ＋ Ｐ、 Ｇｅ、 Ｓｎ、 Ｓｂ＋
Ｓｅ＋Ｔｅ、 Ｐｂ、 Ｂｉのうちの１種以上からなる
金属Ｈ３または金属島とＣｕ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｃｒ＋
Ｚｒ、 Ｎｂ、 Ｍｏ、 Ｗ、 Ｔａのうちの１種以
上からなる金属りおよびＹ、 Ｌａ、 Ｃｅ＋Ｐｒ、
Ｎｄ、 Ｓｍ、 Ｇｄ、 Ｔｂ＋ Ｄｙのうちの１種以
上からなる希土類元素Ｒからなり、その組成比が所定の
膜組成となるように設定されている。
一方、酸素ボンベ１６からバリアプルリークバルブ１７
を介して導入管１８が導出され、導入管１８の端部が底
部１３を貫通して真空蒸着槽１１内に挿入されている。
を介して導入管１８が導出され、導入管１８の端部が底
部１３を貫通して真空蒸着槽１１内に挿入されている。
真空蒸着槽ｌｌ内に回動自在に送り出しロール２１及び
巻取りロール２２が設けられ、これら送り出しロール２
１及び巻取りロール２２間にはキャン２３が回動自在に
設けられる。
巻取りロール２２が設けられ、これら送り出しロール２
１及び巻取りロール２２間にはキャン２３が回動自在に
設けられる。
電子ビーム蒸発源１４とキャン２３間にシャフタ２５が
設けられる。このシャッタ２５は、回転可能であり、成
膜時のみ開かれる。遮断片２６により、蒸発物の基板に
対する最大入射角θ２、最小入射角θヨが調整できるよ
うになっている。
設けられる。このシャッタ２５は、回転可能であり、成
膜時のみ開かれる。遮断片２６により、蒸発物の基板に
対する最大入射角θ２、最小入射角θヨが調整できるよ
うになっている。
送り出しロール２１に対して非磁性基板３０が巻装され
、この非磁性基板３０の端部が引き出され、キャ７２３
を介して巻取りロール２２に巻き付けられる。非磁性基
板３０としては、厚みが１２μｍのポリエステルフィル
ムが使用された。
、この非磁性基板３０の端部が引き出され、キャ７２３
を介して巻取りロール２２に巻き付けられる。非磁性基
板３０としては、厚みが１２μｍのポリエステルフィル
ムが使用された。
送り出しロール２１及び巻取りロール２２が駆動され、
非磁性基板３０がキャン２３の周面と対接して例えば、
１５ｍ／ｍｉｎの速度で移送される。
非磁性基板３０がキャン２３の周面と対接して例えば、
１５ｍ／ｍｉｎの速度で移送される。
真空ポンプ１２が駆動され、真空蒸着槽ｌｌ内を５ Ｘ
１０−”ｔｏｒｒ以下になるように排気して、電子ビ
ーム蒸発源１４内の強磁性金属１５を一定速度で蒸発さ
せる。同時に開閉コック１７を開いて導入管１８から酸
素ガスを真空蒸着槽ＩＩ内に放出させる。酸素ガスの真
空蒸着槽１１内への供給も、膜の酸素組成が所定のもの
となるように設定される。
１０−”ｔｏｒｒ以下になるように排気して、電子ビ
ーム蒸発源１４内の強磁性金属１５を一定速度で蒸発さ
せる。同時に開閉コック１７を開いて導入管１８から酸
素ガスを真空蒸着槽ＩＩ内に放出させる。酸素ガスの真
空蒸着槽１１内への供給も、膜の酸素組成が所定のもの
となるように設定される。
シャッタ２５の開放によって電子ビーム蒸発源１４から
放出される強磁性金属１５は、非磁性基板３０に対して
所定の角度範囲で斜めに入射するもののみが遮断片２６
を通過して非磁性基板３０に達する。
放出される強磁性金属１５は、非磁性基板３０に対して
所定の角度範囲で斜めに入射するもののみが遮断片２６
を通過して非磁性基板３０に達する。
即ち、電子ビーム蒸発源１４から放出される強磁性金属
１５のうち、非磁性基板３０の板面の法線に対して第１
図に示すように最小角度θ、から最大角度θ２までの角
度範囲のものだけが、シャッタ２５を通過して非磁性基
板３０に対して斜めに入射される。このようにして、０
．２μｍの厚さの磁性槽を形成した。
１５のうち、非磁性基板３０の板面の法線に対して第１
図に示すように最小角度θ、から最大角度θ２までの角
度範囲のものだけが、シャッタ２５を通過して非磁性基
板３０に対して斜めに入射される。このようにして、０
．２μｍの厚さの磁性槽を形成した。
得られた磁気記録媒体は切断し、各々組成分析と磁気特
性および耐食性の評価に供した。
性および耐食性の評価に供した。
組成分析はＥＰＭＡ分析と化学分析とを併用し、また磁
気特性は、試料振動型磁力計により測定した。そして、
耐食性の評価は恒温恒湿槽により作成される耐食雰囲気
（温度５０℃、湿度９０％）内に所定の腐食時間Ｔの間
保持された後に、被測定磁気記録媒体を恒温恒湿槽から
取り出し、この磁気記録媒体に対してレーザ光を照射さ
せ磁気記録媒体を透過する光量を測定してその透過率を
求めることにより行なった。
気特性は、試料振動型磁力計により測定した。そして、
耐食性の評価は恒温恒湿槽により作成される耐食雰囲気
（温度５０℃、湿度９０％）内に所定の腐食時間Ｔの間
保持された後に、被測定磁気記録媒体を恒温恒湿槽から
取り出し、この磁気記録媒体に対してレーザ光を照射さ
せ磁気記録媒体を透過する光量を測定してその透過率を
求めることにより行なった。
得られた結果を第２°図、第３図および第１表（透過率
は腐食時間が１００時間のもの）に示す。
は腐食時間が１００時間のもの）に示す。
第２図は３種類の組成を有する磁気記録媒体に対して、
横軸に腐食時間Ｔ（時間）をとり、縦軸に透過率Ｄ（％
）をとって両者間の関係を示すもので、○印で示す磁性
層は、Ｎｉ２１．３重量％、酸素９．５重量％、残部Ｃ
ｏの組成を、また、ム印で示す磁性層は、Ｎｉ１３．３
重量％、金属Ｍ１としてＳｅ １．２重量％、希土類元
素ＲとしてＮｄＯ，４重量％、酸素９．２重景％、残部
Ｃｏの組成を、さらに、０印で示す磁性層は、Ｎｉ ９
．５重量％、金属Ｍ１としてＧｅ １．０重量％、金属
Ｍ２としてＮｂ １．１重量％、希土類元素としてＰｒ
Ｏ，７重量％、Ｎｄ Ｏ，２重量％、酸素９．８重冊
％、残部Ｃｏの組成を有しており、第１表の試料番号の
夫々１，３．７に対応している。Ｏ印で示す希土類元素
Ｒが含有されていない磁気記録媒体では、腐食時間Ｔの
増加に伴って透過率りが増大し、腐食時間が１００時間
を超えると透過率りは５％近くまで増大する。またム印
及び０印で示す磁気記録媒体では、腐食時間Ｔがほぼ５
０時間以上になると透過率りは夫々約１％、約２％近く
に達するが、それ以上には増大せず、耐食性が優れてい
ることが示される。
横軸に腐食時間Ｔ（時間）をとり、縦軸に透過率Ｄ（％
）をとって両者間の関係を示すもので、○印で示す磁性
層は、Ｎｉ２１．３重量％、酸素９．５重量％、残部Ｃ
ｏの組成を、また、ム印で示す磁性層は、Ｎｉ１３．３
重量％、金属Ｍ１としてＳｅ １．２重量％、希土類元
素ＲとしてＮｄＯ，４重量％、酸素９．２重景％、残部
Ｃｏの組成を、さらに、０印で示す磁性層は、Ｎｉ ９
．５重量％、金属Ｍ１としてＧｅ １．０重量％、金属
Ｍ２としてＮｂ １．１重量％、希土類元素としてＰｒ
Ｏ，７重量％、Ｎｄ Ｏ，２重量％、酸素９．８重冊
％、残部Ｃｏの組成を有しており、第１表の試料番号の
夫々１，３．７に対応している。Ｏ印で示す希土類元素
Ｒが含有されていない磁気記録媒体では、腐食時間Ｔの
増加に伴って透過率りが増大し、腐食時間が１００時間
を超えると透過率りは５％近くまで増大する。またム印
及び０印で示す磁気記録媒体では、腐食時間Ｔがほぼ５
０時間以上になると透過率りは夫々約１％、約２％近く
に達するが、それ以上には増大せず、耐食性が優れてい
ることが示される。
希土類元素Ｒの存在で磁気記録媒体の耐食性が増大する
のは、真空蒸着層１１内に導入される酸素により膜中に
取り込まれた希土類元素Ｒに酸素がゲッタリング作用に
より結合し、希土類元素Ｒの酸化膜が形成され、この酸
化膜が磁性層を被うために磁性層が保護されることと、
結晶粒が微細化していることのためと考えられる。
のは、真空蒸着層１１内に導入される酸素により膜中に
取り込まれた希土類元素Ｒに酸素がゲッタリング作用に
より結合し、希土類元素Ｒの酸化膜が形成され、この酸
化膜が磁性層を被うために磁性層が保護されることと、
結晶粒が微細化していることのためと考えられる。
第３図は、２種類の組成を有する磁気記録媒体に対して
、希土類元素Ｒの含有量Ｒｃと磁気記録媒体の保磁力Ｈ
ｃおよび飽和磁化Ｍｓとの関係を示すもので、○印（Ｍ
ｓ）およびΔ印（Ｈｃ）で示す磁性層は、Ｎｉ１０．８
重量％、金属りとしてＳｉ １．２重量％、金属Ｍ２と
してＣｒ２．２重量％、酸素ｌ００８重量％、残部Ｃｏ
＋Ｎｄ＋Ｄｙ （ＮｄとＤｙの重量比は５：２）の組成
を、また、・印（Ｍｓ）およびム印（Ｈｃ）で示す磁性
層は、Ｎｉ５．８重量％、金属Ｍ１としてＧｅ２．１重
量％、酸素１２．０重量％、残部Ｃｏ＋Ｙ＋Ｐｒ（Ｙと
Ｐｒの重量比は５：３）の組成を有しており、第１表の
試料番号の夫々５，４に対応している。
、希土類元素Ｒの含有量Ｒｃと磁気記録媒体の保磁力Ｈ
ｃおよび飽和磁化Ｍｓとの関係を示すもので、○印（Ｍ
ｓ）およびΔ印（Ｈｃ）で示す磁性層は、Ｎｉ１０．８
重量％、金属りとしてＳｉ １．２重量％、金属Ｍ２と
してＣｒ２．２重量％、酸素ｌ００８重量％、残部Ｃｏ
＋Ｎｄ＋Ｄｙ （ＮｄとＤｙの重量比は５：２）の組成
を、また、・印（Ｍｓ）およびム印（Ｈｃ）で示す磁性
層は、Ｎｉ５．８重量％、金属Ｍ１としてＧｅ２．１重
量％、酸素１２．０重量％、残部Ｃｏ＋Ｙ＋Ｐｒ（Ｙと
Ｐｒの重量比は５：３）の組成を有しており、第１表の
試料番号の夫々５，４に対応している。
第３図の測定結果から明らかなように、希土類元素Ｒの
含有量が１重量％未満で優れた磁気特性が得られている
。
含有量が１重量％未満で優れた磁気特性が得られている
。
第１表から次のようなことが判る。即ち、従来例Ｎｏ、
１は薄膜組成のうち金属島、金属Ｍ２および希土類元
素Ｒがなく、比較例１１ｈｌｌ、１２は酸素が、同Ｎａ
１３は金属Ｍ１と金属Ｍ２が本発明の組成範囲から外れ
たものであり、磁気特性、耐食性が劣っていることを示
しているが、一方実施例隘２〜１０は、磁気特性および
耐食性が優れていることを示している。
１は薄膜組成のうち金属島、金属Ｍ２および希土類元
素Ｒがなく、比較例１１ｈｌｌ、１２は酸素が、同Ｎａ
１３は金属Ｍ１と金属Ｍ２が本発明の組成範囲から外れ
たものであり、磁気特性、耐食性が劣っていることを示
しているが、一方実施例隘２〜１０は、磁気特性および
耐食性が優れていることを示している。
以上から明らかなように、この発明は、従来のＣｏ−Ｎ
ｉ系磁気記録媒体に比較して、磁気特性および耐食性の
優れたものを提供することができる。
ｉ系磁気記録媒体に比較して、磁気特性および耐食性の
優れたものを提供することができる。
第１図はこの発明の磁気記録媒体の製造装置の要部の構
成を示す断面図、第２図はこの発明の実施例及び従来例
である磁気記録媒体の耐食性を示す図、第３図は各種組
成の磁気記録媒体における希土類元素の含有量Ｒｅと得
られる保磁力Ｈｅおよび飽和磁化Ｍｓとの関係を示す図
である。 １１：真空蒸着槽、１２：真空ポンプ、１４：電子ビー
ム蒸発源、１５：強磁性金属、１６：酸素ボンベ、２１
：送り出しロール、２２：巻取りロール、２３：キャン
、２５：シャッタ、３０：非磁性基板。 特許出願人 住友金属鉱山株式会社 Ｔ（時間） 第２図
成を示す断面図、第２図はこの発明の実施例及び従来例
である磁気記録媒体の耐食性を示す図、第３図は各種組
成の磁気記録媒体における希土類元素の含有量Ｒｅと得
られる保磁力Ｈｅおよび飽和磁化Ｍｓとの関係を示す図
である。 １１：真空蒸着槽、１２：真空ポンプ、１４：電子ビー
ム蒸発源、１５：強磁性金属、１６：酸素ボンベ、２１
：送り出しロール、２２：巻取りロール、２３：キャン
、２５：シャッタ、３０：非磁性基板。 特許出願人 住友金属鉱山株式会社 Ｔ（時間） 第２図
Claims (2)
- （１）非磁性基板上に形成され、組成が重量にてＮｉ２
０％以下、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｓ
ｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｂｉのうちの１種以上Ｍ＿１またはＭ
＿１とＣｕ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、
Ｔａのうちの１種以上Ｍ＿２５％以下、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ
、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙのうちの１種以
上Ｒ１％未満、酸素３〜１３％、残部Ｃｏで構成されて
いることを特徴とする磁気記録媒体。 - （２）非磁性基板上に形成され、組成が重量にてＢ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｐ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、
Ｂｉのうちの１種以上Ｍ＿１またはＭ＿１とＣｕ、Ｔｉ
、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａのうちの１種
以上Ｍ＿２５％以下、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓ
ｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙのうちの１種以上Ｒ１％未満、酸
素３〜１３％、残部Ｃｏで構成されていることを特徴と
する磁気記録媒体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088286A JPS62229520A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 磁気記録媒体 |
| DE8686903609T DE3685219D1 (de) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Magnetisches speichermedium. |
| EP19860903609 EP0261240B1 (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Magnetic recording medium |
| US07/027,227 US4769282A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Magnetic recording medium |
| PCT/JP1986/000312 WO1986007651A1 (fr) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Support d'enregistrement magnetique |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088286A JPS62229520A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62229520A true JPS62229520A (ja) | 1987-10-08 |
Family
ID=13444351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088286A Pending JPS62229520A (ja) | 1985-06-21 | 1986-03-31 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62229520A (ja) |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7088286A patent/JPS62229520A/ja active Pending
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