JPS6224190B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザ装置、特にレーザを利用して紙
を切断する装置に関する。

最近レーザ装置を利用して紙に複雑な切断加工
を行なうことが商業的に大きな成功をおさめるよ
うになつた。しかしながら、この最近の装置は積
み重ねた紙の山に接触するテンプレート（型板）
を利用し、紙の上にかなりの圧力を加えることに
よつて紙の層の間に煙が凝縮するのを阻止するよ
うに設計されている。この圧力を加える必要性か
ら、従来のこの種の方法及び装置は、連続する紙
の流れと協働して一度に一枚の紙だけを把持する
ように設計されている標準の印刷プレスと一列に
配置して利用することが困難である。

レーザによる紙切断の他の方法は変調方式を採
用し、電子的に変調されたレーザビームで紙を走
査（スキヤン）し、ビームを点滅させることによ
つて一点一点を所要の画像に解像させるようにな
つている。しかしながら、この方式はこれまでの
ところ紙が静止しているかあるいは非常にゆつく
り動いている場合にしか適用できない。これは炭
酸ガスレーザと共に用いられる現在の変調方式で
は、印刷工業に要求される大量生産に適した十分
に高い変調周波数が実現できないからである。加
えて、レーザビームを直接変調させるための装置
は複雑で高価なものとなる。

非接触型レーザ彫刻装置は、これまで木で作ら
れた物体を彫刻することに成功をおさめてきた。
かかる装置の一例が米国特許第4156124号に「画
像移送レーザ彫刻」という名称で開示されてい
る。この特許の装置では、第１及び第２の概ね平
行な支持テーブルが同時的かつ同期的な回転を行
なうように取付けられ、第１のテーブル上にマス
ク又はテンプレートが置かれ、その下方の第２の
テーブル上に工作物が置かれる。第１テーブルの
上方に配置されたレーザがマスクを通じて工作物
へと通過するレーザビームを放射し、レーザはテ
ーブルが回転するにつれて半径方向内側の経路へ
と追従する。この装置に用いられる複数のマスク
又はテンプレートは異なる形状を有している。こ
の特許の装置は紙製の物体すなわち工作物に対し
ても用いることはできるが、装置の性質上印刷工
業の要求に適合することは困難であつた。

本発明の目的は、レーザを用いて紙を切断する
ための新規で改良された装置と方法を提供するこ
とにある。

本発明の他の目的は、移動する紙をレーザで切
断するための新規で改良された装置と方法を提供
することにある。

本発明の前述した目的及び他の目的は、レーザ
ビームを走査機構へ向けて指向させるレーザエネ
ルギ源を供給することによつて達成される。走査
されるビームは第１の光学手段へと指向され、第
１の光学手段は光を収れんさせてレーザビームを
空間内のある平面内の焦点へと送り込む。この平
面内にはテンプレートが配置され、走査中のレー
ザビームはテンプレートに衝突する時常に焦点を
結ぶようになつている。テンプレートと、紙片か
ら成る工作物との間には第２の光学手段が挿入さ
れ、第２の光学手段の焦点距離はその位置により
テンプレートのパターンが紙片の工作物上に再び
画像化されるように選定される。第１及び第２の
光学手段はレンズ又は鏡（ミラー）とする。いず
れの形状であつても、テンプレート及び工作物は
平行な平面内を最適の方向と速度で同時に動かさ
れ、走査が好適な形態で例えばテンプレートの移
動方向に垂直な方向へとラスタースキヤンをオー
バーラツプさせるような形態で実施されるように
する。

本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付図面
の実施例を参照した以下の記載によつて明らかに
なろう。添付図において同種の符号は同種の要素
を表わしている。

第１図は光学手段としてレンズを用いた場合、
第２図は光学手段として鏡を用いた場合の実施例
である。

以下に述べる装置及び方法において、マスク又
はテンプレートが用いられ、テンプレートにはレ
ーザビームが通過してその画像を紙片等の上に再
生するための領域に開口が設けられている。マス
クやテンプレートの形状の一例が前述の米国特許
第4156124号に示されておりその構造を参照可能
ではあるが、その正確な構造が本発明の一部を構
成するものではない。紙工業又は印刷工業に特に
適合させる場合、テンプレートを利用すること自
体には不利はない。最近の紙切断方法では美的効
果のためにステンシル（型紙）を必要としてい
る。テンプレート内の複数の線を相互連結するた
めに機械的手段が必要になることは、ステンシル
を用いて紙を美的に加工する際に機械的手段が必
要になることと変りはない。

加えて、後述するように本発明の装置及び方法
は紙が移動する印刷工業にも極めて容易に適用す
ることができる。第１図に示されるレーザ装置
は、静止した望ましくは炭酸ガスレーザから成る
レーザ１０を含み、レーザ１０はレーザビーム１
２（ビームの有限幅に関連して説明するため２本
の線で図示してある）を走査（スキヤン）機構１
４に向けて指向させている。第１図では、走査機
構は図面の平面に対して垂直な軸線のまわりをあ
る与えられた角度で前後に迅速に揺動するように
なつた走査鏡として描かれている。走査鏡１４か
らは２組の線１２ａ，１２ｂが放射されており、
各組はそれぞれ走査鏡１４が揺動した反対側の端
部に位置するときのレーザビーム１２の通路を表
示している。すなわち、実線１２ａの組は走査鏡
１４が実線位置にある時に鏡の表面で反射された
ビーム１２を表わしており、鎖線１２ｂの組は走
査鏡１４が鎖線位置にある時に鏡の表面で反射さ
れたビーム１２を表わしている。

レンズ１６は各種の走査位置において鏡から反
射されたレーザビーム１２の全ての通路をさえぎ
るように配置され、走査機構１４から距離Ａのと
ころに位置している。レンズの中心は走査機構１
４の揺動軸線を通つて延伸する軸線上にあり、レ
ンズ１６はレーザビーム１２の最中心走査位置に
垂直な平面内にある。レーザビーム１２は走査サ
イクル中に各種の点でレンズ１６に衝突し、レン
ズ１６は捕捉されたビームを空間内のある平面内
の焦点へと屈折させる。空間内のこの点において
焦点に集められたレーザビームは、有限の幅又は
直径の点へと縮小される。空間内のこの平面がマ
スク又はテンプレート１８の位置であり、レンズ
１６から距離Ｂのところに位置している。テンプ
レート１８はこの平面内に位置するので、走査中
のレーザビームはテンプレート１８に衝突すると
きは常に焦点を結ぶようになる。

テンプレート１８はビームが衝突した部分では
ビームを反射するような金属マスクで作ることが
でき、プレート１８の開口部はそこを通るレーザ
ビームを通過させる。テンプレート１８の開口部
を通過するレーザビームは、テンプレート１８か
ら距離Ｃのところに位置するレンズ２０の形態を
した第２の光学手段へと指向され、この位置は走
査中のレーザビームの回折されない全ての光線が
重ね合せられる位置に対応し、見掛け上の動きは
存在しない。

レンズ２０は、テンプレート１８の画像が工作
物すなわち紙片２２上に再画像化されるような焦
点距離を有するように選ばれる。この装置では、
テンプレート１８の開口部を通過する光は再びレ
ンズ２０から距離Ｄのところにある紙片２２上に
焦点を結ぶようになる。十分に高い出力のレーザ
を用いれば、紙片２２はレーザビームと接触する
領域が熱のため蒸発するようになる。

図示の装置では、全ての走査されるレーザ光は
レンズ２０の中心を通過し、これにより収差を最
小にしかつ紙片２２内に切断されあるいは形成さ
れる画像の高品質の鮮明度を達成する。第１図の
実施例では、工作物である紙片が静止しかつテン
プレート１８も静止しており、これらの間には一
定の数学的関係が成立する。前述のように定義し
た距離Ａ乃至Ｄに加えて、レンズ１６の焦点距離
をF₁₆、レンズ２０の焦点距離をF₂₀、レンズ１６
上を走査される線の最大長さをL₁₆、テンプレー
ト１８上を走査される線の最大長さをL₁₈、紙片
２２上に切断される線の最大長さをL₂₂、そして
レーザビーム１２を平行とすれば、次の数学的公
式によつて前述の装置の部品の位置が決定され
る。

Ｂ＝F₁₆ １／Ｆ_１６＝１／Ａ＋１／Ｂ＋Ｃ １／Ｆ_２０＝１／Ｃ＋１／Ｄ 部品が上記の公式に従つて位置決めされている
ことにより、テンプレート１８及び紙片２２上を
走査される線（又は領域）の最大寸法は次の公式
によつて与えられる。

L₁₈＝Ｌ_１６Ｂ／Ａ L₂₂＝Ｌ_１８Ｄ／Ｃ もしもビーム１２が平行でなくレンズ１６に衝
突するときにわずかに収れんするかあるいは発散
する場合には、上記の公式はなお適用できるがた
だしＢ≠F₁₆となる。この公式は次のように変更
される。

１／Ｂ＝１／Ｆ_１６＋１／Ｆ_１２ ただしF₁₂は、レンズ１６の効果を無視して、
ビームがレンズ１６に衝突する点からビーム１２
のために投影された焦点（実焦点又は虚焦点）ま
での距離とする。

この公式から、収れんするレーザ光を用いた場
合の効果として距離Ｂが減少することに注目され
たい。

最も単純な数値例として、レンズ２０の焦点距
離がレンズ１６の焦点距離の1/2であり、ビーム
１２が平行であるとすると、第１図のシステムは
次のような寸法になる。

Ａ＝2F₁₆ Ｂ＝F₁₆ Ｃ＝F₁₆ Ｄ＝F₁₆ このシステムにおける前記の寸法により、テン
プレート１８上の最大走査線長さはレンズ１６の
直径の1/2に等しくなり、紙片２２上の走査線は
レンズ１６の直径の1/2に等しくなる。システム
を最適化するため、レンズ２０の直径はレンズ２
０の所定の位置における光線束直径の幾何学的投
影よりも大きくなければならない。これはテンプ
レート１８をその開口部の端縁近くで通過する光
線は、その幾何学的光線束よりも広い角度で光又
はビームを回折させるからである。レンズの直径
を大きくすることにより、この回折された光が捕
捉されて紙片２２上に詳明な画像を達成する。実
用的見地からレンズ２０の直径は、もしもレーザ
ビーム１２が波長10.6ミクロンの出力の炭酸ガス
レーザによつて生成されるならば、距離Ｄの約10
分の１でなければならない。

ビーム１２が線を走査しかつ紙片２２上に線画
像を形成する上述の説明では、走査機構が鏡１４
の位置に描かれている実線と破線の間を走査す
る。二次元的切断においては、走査機構１４は二
次元的運動を行なうラスタースキヤンを作る。ラ
スタースキヤンの早い走査率と遅い走査率との両
方に必要な走査率は多数の要因、例えばテンプレ
ート１８又はレンズ１６の寸法（いずれかが口径
を制限する）、テンプレート１８上の焦点スポツ
トの直径、レーザビーム１２の出力、工作物とな
る紙片２２の厚さ等に依存する。主たる目的は、
テンプレート１８の開口部で紙片２２上に明瞭に
蒸発を起させるに十分な出力密度でテンプレート
１８上にオーバーラツプする走査を達成すること
にある。

前述した部品間の距離及び焦点距離を用いて紙
片２２上に二次元画像を形成すれば、得られる画
像の最大寸法はレンズ１６の直径の約1/2の直径
を有する円内に含まれるであろう。この画像の寸
法は、レーザによる切断又は彫刻（彫版）を行な
う間テンプレート１８及び紙片２２が静止したま
まであることを前提としている。

しかしながら、移動する紙を把持するようにセ
ツトされている印刷機械装置に用いる場合は、テ
ンプレート１８と紙２２を反対方向に動かして画
像が一平面内にある走査機構の走査鏡１４によつ
て形成されるようにし、テンプレート１８と紙片
２２の移動によつて二次元画像を達成することが
より望ましい。この目的のため第１図には、テン
プレート１８と工作物である紙片２２とを同時に
反対方向に動かすように、それぞれテンプレート
１８と紙片２２とに連結されたブロツク２４，２
６が示されている。走査機構１４はこの同時移動
と垂直な方向に走査を行なう。

第１図における距離Ｃが距離Ｄに等しいとする
と、テンプレート１８の移動速度は紙片２２の移
動速度（ただし方向は逆）に等しくなければなら
ない。距離ＣとＤが等しくない時は、画像を追跡
するためにテンプレート１８と紙片２２の速度は
比率Ｃ／Ｄに比例するように調整される必要があ
る。レンズ２０の代りに３枚の組合せレンズを用
いてテンプレート１８と紙片２２を同じ方向に動
かす機構を作ることも可能である。しかしながら
このことは、追加のレンズがコストの上昇を招く
点と、紙片２２上の画像の鮮明度を低下させる点
とにおいてあまり望ましくない。移動する紙片２
２の上に切断又は彫刻を施すことができる利点に
加え、紙片２２及びテンプレート１８を動かす手
段２４，２６を用いることは、美的加工の寸法が
紙片２２の移動方向に関してレンズ１６の物理的
パラメータによる制限を受けないですむという追
加の利点がある。

以上の説明では光学手段としてレンズを用いた
場合について述べてきた。しかしながら、印刷及
び紙工業では大きな作業距離を必要とする。波長
10.6ミクロンの出力の炭酸ガスレーザを用いて大
きな距離にわたり最適の紙切断を行なうには、レ
ーザに対して大きな直径のレンズが必要となる。
この波長に対する大きな直径のレンズは高価なも
のである。従つて実用的見地からは、より安価で
レーザの10.6ミクロン波長に適合するものが容易
に製造できる鏡（ミラー）を用いたシステムが望
まれる。第２図には前述したシステムと同じ原理
を利用しながらレンズ１６，１８の代りに光学手
段として鏡を用いたレーザ装置が示されている。

当業者にはよく知られているように、レンズの
代りに鏡を用いることは可能であるが、鏡を用い
たシステムはレンズの場合よりも複雑な構造にな
る。なぜならば鏡システムにおいては画像を形成
させるためにビームを後方へと自分自身の方へ後
戻りさせる必要があるからである。第２図のシス
テムにおいて、走査機構３０は走査鏡３２を有
し、鏡３２は図面の平面に垂直なある角度でレー
ザビーム３４を急速に偏向させる。これは炭酸ガ
スレーザを用いて行なわれ、レーザビームの直径
は約12.7mm（1/2インチ）であり、レーザビーム
は１秒間60サイクルの率で15゜の角度で走査され
る。その後レーザビーム３４は平らな長方形の鏡
３６に衝突する。鏡３６は図面の平面に垂直な方
向の長さが108mmで幅が約25.4mmである。その後
ビーム３４は、直径約203mmで焦点距離が381mmの
凹面鏡３８へと進む。この直径203mmの鏡は半分
に切断されており、鏡３８は実際には走査機構３
０に最も近い部分が平らに切断された端縁になつ
た半円形に作られている。鏡３８は、レーザビー
ムの15゜の走査角度により鏡３８上の切断端縁の
近くに線を形成させかつすべての走査されたレー
ザビーム３４が鏡３８によつて捕捉されるように
方向づけられている。この実施例において、鏡３
８は第１図のレンズ１６に対応し、走査機構３０
は第１図の走査機構１４に対応する。

２つの実施例の相関性について述べると、第１
図における距離Ａは、鏡３６から鏡３８までの経
路長と結合された鏡３０から鏡３６までの光学的
経路長によつて表わされる。第２図の装置ではこ
の光学的経路長は結合された長さが711mmであ
る。

走査中のレーザビーム３４は鏡３８の表面で反
射されテンプレート４０へと指向される。鏡３８
とテンプレート４０との間の経路長は381mmであ
る。このシステムの構成部品の前述の寸法及び物
理的パラメータにより、テンプレート上に走査さ
れる線の寸法は図面の平面に垂直な方向において
98.6mmとなる。第１図のシステムに関連して説明
したように、第２図の例におけるテンプレート４
０はレーザビームが焦点を結ぶ平面内に位置決め
されている。レーザビームが平行であればこの平
面は鏡３８の焦点面と同じになる。テンプレート
４０の開口部を通過するレーザ光は、２つの平ら
な鏡４２及び４４と半球形鏡４６とで構成される
第２の光学手段によつて捕捉される。平らな鏡４
２，４４は２つの鏡の隣接端縁どうしが衝合関係
になるようにある角度で配置されており、鏡４２
の反射面は捕捉したレーザビーム３４を概ね直角
方向に半球形鏡４６へと指向させ、その後鏡４６
はビームを後方へと第２の平らな鏡４４の表面に
向けて反射する。鏡４４はビームを再び下方へと
工作物である紙片４８に向けて指向させる。この
装置には紙片４８を支持するための金属板５０が
設けられ、金属板５０には走査される紙片４８の
領域と概ね合致するような孔又は隙間５２が設け
られ、操作中に紙片４８の後側から発生する煙を
逃がすようになつている。

第２図のシステムにおいて、鏡４２，４４は両
方とも概ね25.4mm×108mmの寸法を有する平らな
鏡であり、半球形鏡４６は焦点距離220mmで108mm
の寸法を有する。テンプレート４０から鏡４２を
経て凹面鏡４６までの結合された光学経路長は
439mmであり、凹面鏡４６から平らな鏡４４を経
て紙片４８に至る光学経路長に等しい。

鏡４２，４４は単にビームを捕捉するだけでな
くもう１つの機能を果す。すなわち、テンプレー
ト４０と紙片４８は第１図のように反対方向に動
くのではなく第２図では同一方向に動くので、こ
れら２つの鏡は幾何学的画像を反転させる機能を
分担しているのである。

第２図の装置において、テンプレート移動手段
５４がテンプレート４０を動かすように連結さ
れ、紙片移動手段５６が操作中に紙片４８を動か
すように設けられており、これら２つの相対的移
動速度は好適な方法により制御される。代表的な
使用例として、200ワツトの炭酸ガスレーザを焦
点スポツト寸法を約0.76mmにして用いた。第２図
において、テンプレート４０は移動手段５４によ
り１秒あたり約5.1mmの速度で右方向に動かさ
れ、紙片４８も移動手段５６により同じ速度で同
じ方向へ動かされる。紙片４８の厚さは0.1mmで
ある。前述したような鏡の物理的パラメータ、寸
法及び焦点距離により、移動速度は、紙片４８の
表面で6.45cm²あたり約250ワツト・秒の集積レー
ザエネルギ密度を供給するように選ばれる。この
エネルギ密度はこの厚さの紙を蒸発させるのに必
要なエネルギの量である。走査鏡３０の走査角度
を15゜とすれば、紙片上の切断線の幅は98.6mmと
なり、200ワツトのレーザビームはテンプレート
４０と紙片４８の移動速度を定める。球面形鏡４
６を用いることにより収差は最小になる。なぜな
らばこの半球状光学システムは比較的その理論的
に完全な画像位置に近似して用いられ、すなわち
球面の曲率中心にあたる点がそれ自身の上に画像
化される時は球面は球面収差を生じないからであ
る。第２図の例では、平らな鏡４２，４４上に現
れる画像は球面鏡４６の曲率半径に等しい距離で
配置され、平らな鏡４２，４４上の画像はわずか
な角度で分離されている。さらに光学システムの
この部分での鮮明度は極めて良質である。

加えて、この光学システムは、第２図の鏡４６
又は第１図のレンズ２０の口径全体を均一に照明
することを仮定した回折限定の計算によつて推定
されるものよりも良好な画像を形成する。この設
計において、レーザビームは第２図の鏡４６の直
径に比べて小さく、レーザビームは常に鏡４６の
中心付近に衝突する。この設計は常にある数の回
折リング（Ｆ値に依存する）内に含まれるすべて
の情報が鏡４６によつて完全に捕捉されかつ紙片
４８へと完全に移送されるのを確実にする。この
ことは鏡４６を均一に照明するのに望ましい。な
ぜならば、均一な照明あるいは広い走査ビームを
用いると、光の数パーセントが鏡の端縁近くに落
下し、たとえ少ない数の回折リングでもその一部
が失われるからである。

このことは、10.6ミクロンの光を用いたF18の
システムにおいて、均一照明によつて期待される
より以上に良質の鮮明度が得られることの観察に
よつて裏付けられる。

上述したシステムは単なる例示であり、レーザ
出力のためのいくつかの物理的パラメータや、テ
ンプレート４０及び紙片４８を代表的な速度で動
かすための要件や工作物に要求される性質等を限
定するものではない。しかしながら明らかに、同
じ厚さの紙片４８に対しより高出力のレーザを用
いれば、表面でのレーザエネルギ密度を同じにし
たままでより高速で紙片４８を動かすことができ
る。他の明らかな応用例として、切断又は彫刻す
る材料をプラスチツクフイルム又は布とし、蒸発
のために必要とされるエネルギの量を知れば、上
述のシステムを修正適用することができる。上述
の装置はまた木や皮のように厚い材料に対しても
適用することができ、材料を切断してしまうので
はなく表面にエツチングや彫刻を施すこともでき
る。しかしながら、本発明の装置及び方法は、特
に第２図の例のような構成部品を用いた場合に
は、紙が移動する紙工業でのレーザ切断に経済的
で迅速な方法を提供することができる。

本発明は好適な実施例を図示し説明してきた
が、当業者であれば本発明の範囲から離れること
なく他の改良や修正を加えて特定の装置に適用で
きることは明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は光学手段としてレンズを用いた本発明
の切断装置の側断面図、第２図は光学手段として
鏡を用いた切断装置の側断面図である。 １０…レーザ、１２…レーザビーム、１４…走
査機構、１６，２０…レンズ、１８…テンプレー
ト、２２…工作物、３６，３８，４２，４４，４
６…鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ レーザビームを供給するレーザ手段と、 前記レーザビームを所定の通路に沿つて指向さ
   せる走査手段と、 前記の如く走査されたレーザビームを途中で捕
   捉しかつそのレーザビームを走査されたレーザビ
   ームの回折されない光線が重ね合せられる点へと
   指向させる第１の光学手段と、 前記レーザビームが焦点を結ぶ平面又はその付
   近にあるテンプレート手段であつてその内部に前
   記の如く走査されたレーザビームの一部を貫通通
   過せしめかつ画像を創造するための手段を有して
   いるテンプレート手段と、 前記テンプレート手段を通過する前記の如く走
   査されたレーザビームを途中で捕捉する第２の光
   学手段であつてテンプレート手段を通過する前記
   の如く走査されたレーザビームの回折されない光
   線の全部が重ね合せられる点又はその付近に配置
   された第２の光学手段と、 前記第２の光学手段が画像を結ぶ面に配置され
   た前記テンプレート手段を通過する走査されたレ
   ーザエネルギを画像化するための工作物とを備
   え、この画像化されたレーザエネルギは前記工作
   物の一部を蒸発させるのに十分な出力密度を有し
   これにより上方にある前記テンプレート手段の画
   像を再生するようになつているレーザ装置。 ２ 前記第１の光学手段及び第２の光学手段はレ
   ンズである特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 前記第１の光学手段及び第２の光学手段は鏡
   である特許請求の範囲第１項記載の装置。 ４ 前記テンプレート手段を動かす手段を含む特
   許請求の範囲第１項記載の装置。 ５ 前記工作物を前記テンプレート手段の光学的
   画像を追跡するのに必要な方向へと動かす手段を
   含む特許請求の範囲第４項記載の装置。 ６ 前記走査手段は前記レーザビームを所定の角
   度で１つの線に沿つて指向させ、該レーザ装置は
   さらに前記テンプレート手段を前記の線と垂直な
   方向に動かす手段と、前記工作物を前記テンプレ
   ート手段の光学的画像を追跡するのに必要な方向
   へと動かす手段とを含んでいる特許請求の範囲第
   １項記載の装置。 ７ 前記第１の光学手段及び第２の光学手段はレ
   ンズである特許請求の範囲第６項記載の装置。 ８ 前記第１の光学手段及び第２の光学手段は鏡
   である特許請求の範囲第６項記載の装置。 ９ 前記第１の光学手段は前記の如く走査される
   レーザビームを受入れて第２の屈曲した鏡へとレ
   ーザビームを指向させる平らな鏡を含んでいる特
   許請求の範囲第８項記載の装置。 １０ 前記第２の光学手段は第３、第４及び第５
   の鏡を含み、第３の鏡は途中で捕捉されたビーム
   をある角度で第４の鏡へと反射させる平らな鏡で
   あり、第４の鏡はビームを入つてきた方向と概ね
   同じ方向へと後戻りさせながら第５の鏡へと指向
   させる球面鏡であり、第５の鏡はビームを前記工
   作物へ向けて指向させる平らな鏡である特許請求
   の範囲第９項記載の装置。 １１ 第３の鏡と第４の鏡とは端縁どうしを接す
   る衝合関係にある特許請求の範囲第１０項記載の
   装置。 １２ 前記走査手段はレーザビームを所定の角度
   で１つの線に沿つて指向させる走査鏡を含み、該
   レーザ装置はさらにテンプレート手段と工作物と
   を走査線に垂直な線に沿う方向へと同時に動かす
   手段を含んでいる特許請求の範囲第１項記載の装
   置。 １３ 前記テンプレート手段及び工作物の移動
   は、工作物の表面にオーバーラツプするラスター
   スキヤンを供給してテンプレート手段の画像を再
   生するような速度と方向で行なわれる特許請求の
   範囲第１２項記載の装置。 １４ 前記移動手段はテンプレート手段及び工作
   物を反対方向に比例した速度で動かす特許請求の
   範囲第１３項記載の装置。 １５ 前記移動手段はテンプレート手段及び工作
   物を同一方向に比例した速度で動かす特許請求の
   範囲第１３項記載の装置。