JPS62242360A - カラ−固体撮像素子 - Google Patents
カラ−固体撮像素子Info
- Publication number
- JPS62242360A JPS62242360A JP61084931A JP8493186A JPS62242360A JP S62242360 A JPS62242360 A JP S62242360A JP 61084931 A JP61084931 A JP 61084931A JP 8493186 A JP8493186 A JP 8493186A JP S62242360 A JPS62242360 A JP S62242360A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- solid
- color filter
- section
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、受光部と電荷転送部と転送制御部とから成る
固体撮像素子が、電極パッド部を有し、かつ半導体ウェ
ハー上で複数の固体撮像素子を製造した際に隣接する素
子と区切るために作られたダイシング領域を有し、更に
該固体撮像素子上に少なくとも平坦化層および染色層か
ら成るマイクロカラーフィルタ要素を有するカラー用固
体撮像素子に関する。
固体撮像素子が、電極パッド部を有し、かつ半導体ウェ
ハー上で複数の固体撮像素子を製造した際に隣接する素
子と区切るために作られたダイシング領域を有し、更に
該固体撮像素子上に少なくとも平坦化層および染色層か
ら成るマイクロカラーフィルタ要素を有するカラー用固
体撮像素子に関する。
（従来技術）
ＣＯＤまたはＭＯ８型固体撮像素子は、 通常１つの半
導体ウェハー上に複数偶作られる。通常の工程によシ形
成された固体撮像素子は、カラー用として使用するには
上部にマイクロカラーフィルタを取付ける。マイクロカ
ラーフィルタの取付けはだいたいにおいて次のようなプ
ロセスで行われる。
導体ウェハー上に複数偶作られる。通常の工程によシ形
成された固体撮像素子は、カラー用として使用するには
上部にマイクロカラーフィルタを取付ける。マイクロカ
ラーフィルタの取付けはだいたいにおいて次のようなプ
ロセスで行われる。
（１）平坦化工程：
ウェハー上にレジスト層を塗シ、無光し、現像し、リン
スし、ベークする。この平坦化層設置の理由は、（、Ｃ
ＤまたはＭＯ８型固体撮像素子の表面μ数ミクロンの凹
凸段差があるため、そのまま平坦化層なしで染色プロセ
スを行うと色ムラが発生するため、これを阻止すること
による。
スし、ベークする。この平坦化層設置の理由は、（、Ｃ
ＤまたはＭＯ８型固体撮像素子の表面μ数ミクロンの凹
凸段差があるため、そのまま平坦化層なしで染色プロセ
スを行うと色ムラが発生するため、これを阻止すること
による。
（２）染色工程：
染色性レジスト層を塗り、露光し、現像し、染色し、ベ
ークする。
ークする。
（３）中間層工程：
工程の内容は（１）と同じ。
（４）染色工程：
（５）中間層工程：
（６）染色工程：
（７）オーバーコート層工程：
工程の内容は（１）と同じ。
マイクロカラーフィルタは、原色フィルタの場合、ブル
ー、グリーン、レッドの３色が普通であるが、一方、補
色フィルタの場合にはシアン、イエロー、グリーン、マ
ゼンタ（またはホワイト）の４色が用いられる。これら
の２乃至３回の染色工程の間に中間層あるいは固定化処
理が行われ、最後にオーバーコート層が形成される。
ー、グリーン、レッドの３色が普通であるが、一方、補
色フィルタの場合にはシアン、イエロー、グリーン、マ
ゼンタ（またはホワイト）の４色が用いられる。これら
の２乃至３回の染色工程の間に中間層あるいは固定化処
理が行われ、最後にオーバーコート層が形成される。
（発明が解決しようとする問題涜）
半導体ウェハー上においてダイシンダ部は最も低い面を
なしてお）、一方フオドセルで受けた信号を転送するＡ
／転送部上が最も高い面に形成されている。その際この
最も低い面と高い面の間には、４〜５μｍの段差が存在
する。このように段差を有するウェハー上において、上
記のようなコーティング工程をくシ返すと、例えばスピ
ンナーコートによシ複数回のコーティングをくシ返すと
、コーティングむらが生じる。コーティングのむらは、
コーティング工程の増加と共に増大し、例えば第３の染
色工程の終了した段階では目視確認できる程度に増大す
る。
なしてお）、一方フオドセルで受けた信号を転送するＡ
／転送部上が最も高い面に形成されている。その際この
最も低い面と高い面の間には、４〜５μｍの段差が存在
する。このように段差を有するウェハー上において、上
記のようなコーティング工程をくシ返すと、例えばスピ
ンナーコートによシ複数回のコーティングをくシ返すと
、コーティングむらが生じる。コーティングのむらは、
コーティング工程の増加と共に増大し、例えば第３の染
色工程の終了した段階では目視確認できる程度に増大す
る。
コーティングむらはダイシンダ部から受光部にかかる付
近を中心にして発生する。
近を中心にして発生する。
このようなコーティングむらによシ、マイクロカラーフ
ィルタの品質は低下し、再生したテレビジョン画像の品
質も低下し、なかには製品として使用できないものも生
じ、製品不良率が増加する本発明の目的は、マイクロカ
ラーフィルタ製造の工程においてコーティングされるそ
れぞれの層のむらをなくし、高品質の画像を形成しかつ
安価に提供できるカラー用固体撮像素子を提供すること
にある。
ィルタの品質は低下し、再生したテレビジョン画像の品
質も低下し、なかには製品として使用できないものも生
じ、製品不良率が増加する本発明の目的は、マイクロカ
ラーフィルタ製造の工程においてコーティングされるそ
れぞれの層のむらをなくし、高品質の画像を形成しかつ
安価に提供できるカラー用固体撮像素子を提供すること
にある。
（問題点を解決するための手段および作用）この目的を
達成するため、本発明によるカラー用固体撮像素子は次
のような特徴を有する。すなわちマイクロカラーフィル
タ要素が、電極バット部上においてエツチングによシ除
去され、少なくともダイシング部上はマイクロカラーフ
ィルタ要素のうちの平坦化層が残存している。
達成するため、本発明によるカラー用固体撮像素子は次
のような特徴を有する。すなわちマイクロカラーフィル
タ要素が、電極バット部上においてエツチングによシ除
去され、少なくともダイシング部上はマイクロカラーフ
ィルタ要素のうちの平坦化層が残存している。
固体撮像素子の製造の終了したウェハー上にマイクロカ
ラーフィルタを形成する際、平坦化層、中間層およびオ
ーバーコート層はウニノー−全面に塗付ける。一方染色
層も全面的に塗られるが、当該の色に相当する画素上に
カラーパターンを形成し、受光部外の部位には当該の色
をもつ層を残すようにする。ただしボンテインダノノド
部は除去される。
ラーフィルタを形成する際、平坦化層、中間層およびオ
ーバーコート層はウニノー−全面に塗付ける。一方染色
層も全面的に塗られるが、当該の色に相当する画素上に
カラーパターンを形成し、受光部外の部位には当該の色
をもつ層を残すようにする。ただしボンテインダノノド
部は除去される。
このようにウェハー上全面にコーティングされたそれぞ
れの層と一部の画素上で除去された染色層は、特に電極
パッド部上においてエツチングによシ除去される。これ
ら層は、その他の部分、特にダイシング領域においては
マイクロカラーフィルタ要素のうちの少なくとも平坦化
層が硬化膜層として残るようにする。
れの層と一部の画素上で除去された染色層は、特に電極
パッド部上においてエツチングによシ除去される。これ
ら層は、その他の部分、特にダイシング領域においては
マイクロカラーフィルタ要素のうちの少なくとも平坦化
層が硬化膜層として残るようにする。
ダイシング領域に残されたこれらの層が、固体撮像素子
に悪影響を及ばずことはない。本発明によるカラー用固
体撮像素子の製造の際に適用されるプロセスは、多面付
はオンウェハーカラーフィルタばかシでなく、多面付は
貼合せ型カラーフィルタの製造の際にも有効である。
に悪影響を及ばずことはない。本発明によるカラー用固
体撮像素子の製造の際に適用されるプロセスは、多面付
はオンウェハーカラーフィルタばかシでなく、多面付は
貼合せ型カラーフィルタの製造の際にも有効である。
（実施例の説明）
図は、本発明によるカラー用固体撮像素子を、その製造
の段階に従って示す断面図である。図（Ａ）は平坦化工
程の終了した半導体ウェハー１の断面を示している。１
つのウェハー１上には複数の固体撮像素子チップ２が形
成されておシ、これらチップ２はダイシング領域４によ
って互いに区切られている。それぞれのチップ２０周辺
部には電極パッド部３が設けられている。平坦化層５は
、ダイシンダ領域４にも設けられているので、ウニノー
−１上の最高部と最低部との間の段差が、平坦化層５を
設ける前よりも減少していることは図から明らかである
。
の段階に従って示す断面図である。図（Ａ）は平坦化工
程の終了した半導体ウェハー１の断面を示している。１
つのウェハー１上には複数の固体撮像素子チップ２が形
成されておシ、これらチップ２はダイシング領域４によ
って互いに区切られている。それぞれのチップ２０周辺
部には電極パッド部３が設けられている。平坦化層５は
、ダイシンダ領域４にも設けられているので、ウニノー
−１上の最高部と最低部との間の段差が、平坦化層５を
設ける前よりも減少していることは図から明らかである
。
平坦化層５は、まず平坦化レジストを例えばスピンナー
コートによシ塗付け、電極ノくラド部３にマスキングを
して露光し、現像し、リンスし、ベークすることによっ
て作ることができる。
コートによシ塗付け、電極ノくラド部３にマスキングを
して露光し、現像し、リンスし、ベークすることによっ
て作ることができる。
図（Ｂ）は、第１の染色工程の終了した半導体ウェハー
１を示している。この図（Ｂ）および以下の図（Ｃ）お
よび図ｐ）は、ウェハー１の１つのチップ２の部分だけ
を拡大して示している。染色層６は、当該の色の光を受
光する画素および受光部以外の撮像素子およびダイシン
グ部４上に設けられている。
１を示している。この図（Ｂ）および以下の図（Ｃ）お
よび図ｐ）は、ウェハー１の１つのチップ２の部分だけ
を拡大して示している。染色層６は、当該の色の光を受
光する画素および受光部以外の撮像素子およびダイシン
グ部４上に設けられている。
この染色層６は、第１の色相のゼラチン、カゼインまた
はＰＶＡ等の感光液を例えばスピンナーコートシ、マス
クを用いて露光し、現像し、染色することによシ作るこ
とができる。
はＰＶＡ等の感光液を例えばスピンナーコートシ、マス
クを用いて露光し、現像し、染色することによシ作るこ
とができる。
図（Ｃ１は、第１の中間層工程の終了した半導体ウェハ
ー１を示している。第１の中間層７は、平坦化層５と同
様に、電極バット９部３を除いたウニノー−１止金体に
設けられている。中間層工程は実質的に平坦化層工程と
同じである。
ー１を示している。第１の中間層７は、平坦化層５と同
様に、電極バット９部３を除いたウニノー−１止金体に
設けられている。中間層工程は実質的に平坦化層工程と
同じである。
図（Ｄ）は、オーバーコート層８を設は完成したマイク
ロカラーフィルタを備えた半導体ウニノＳ−１を示して
いる。オーバーコート層８も電極ノツＰ部３上だけで除
去されておシ、その製造工程は、平坦化工程と同じであ
る。また第２および第３の染色層および第２の中間層も
同様に設けられているが、それぞれの層は、第１の染色
工程および第１の中間層工程と同様に形成することがで
きる。
ロカラーフィルタを備えた半導体ウニノＳ−１を示して
いる。オーバーコート層８も電極ノツＰ部３上だけで除
去されておシ、その製造工程は、平坦化工程と同じであ
る。また第２および第３の染色層および第２の中間層も
同様に設けられているが、それぞれの層は、第１の染色
工程および第１の中間層工程と同様に形成することがで
きる。
本発明は以下のような製造プロセスによるカラーフィル
タの製造の際にも有効である。
タの製造の際にも有効である。
平坦化層塗布→ベーク（電極パッド部のエツチングはし
ない。フォトリソ工程なし）→１色目の染色層工程（電
極パッド部上も形成）→第１中間層工程（フォトリソ工
程なし）→２色目染色層工程→第２中間層工程→３色目
染色層工程→オー、２−コート層工程（フォトリン工程
なし）→ポジレジスト塗布→パッド部上のみ開きオー７
２−コート層露出→プラズマエツチング 上述のプロセスにより、ポジレジストがプラズマエツチ
ングの際のマスクとなシ、電極ノット上のオーバーコー
ト層染色層、中間層、平坦化層がエツチング除去される
。なお、実際の場合、プラズマエッチ部位の厚みを少な
くするため、中間層は使わない製造プロセスが好ましい
。
ない。フォトリソ工程なし）→１色目の染色層工程（電
極パッド部上も形成）→第１中間層工程（フォトリソ工
程なし）→２色目染色層工程→第２中間層工程→３色目
染色層工程→オー、２−コート層工程（フォトリン工程
なし）→ポジレジスト塗布→パッド部上のみ開きオー７
２−コート層露出→プラズマエツチング 上述のプロセスにより、ポジレジストがプラズマエツチ
ングの際のマスクとなシ、電極ノット上のオーバーコー
ト層染色層、中間層、平坦化層がエツチング除去される
。なお、実際の場合、プラズマエッチ部位の厚みを少な
くするため、中間層は使わない製造プロセスが好ましい
。
（発明の効果）
本発明によるカラー用固体撮像素子によれば、マイクロ
カラーフィルタ製造の過程において、段差を軽減するた
めに従来はフォトダイオード９部の必要な部位にのみレ
ジストを残していたが、本発明の全面にレジスト（平坦
化層、染色層、中間層。
カラーフィルタ製造の過程において、段差を軽減するた
めに従来はフォトダイオード９部の必要な部位にのみレ
ジストを残していたが、本発明の全面にレジスト（平坦
化層、染色層、中間層。
オーバーコート層）を残す（ただしパッド部と一部のビ
クセル上を除く）方式に変更することによシ、段差によ
るコーティングむらが大幅に減少するので、高品質のマ
イクロカラーフィルタが提供され、高品質の画像が得ら
れる。また製造プロセスは特に複雑化していないにもか
かわらず、製品の不良率が大幅に低下するので、作られ
た製品は必然的に低価格になる。
クセル上を除く）方式に変更することによシ、段差によ
るコーティングむらが大幅に減少するので、高品質のマ
イクロカラーフィルタが提供され、高品質の画像が得ら
れる。また製造プロセスは特に複雑化していないにもか
かわらず、製品の不良率が大幅に低下するので、作られ
た製品は必然的に低価格になる。
固体撮像素子の受光部以外の部分は、３つの染色層によ
って覆われているので、受光部以外の部分に光が到達す
ることはなく、特別なフレアー防止層を形成する必要は
ない。従って電子カメラを構成する際にフレアーを防止
するための部品を省略することができ、このことも、装
置の経済化に役立つ。
って覆われているので、受光部以外の部分に光が到達す
ることはなく、特別なフレアー防止層を形成する必要は
ない。従って電子カメラを構成する際にフレアーを防止
するための部品を省略することができ、このことも、装
置の経済化に役立つ。
図（ん、図（Ｂ）、図（Ｃ）および図（Ｄ）は、製造の
段階に従って示すカラー用固体撮像素子の断面図である
。 １・・・ウェハー、２・・・チップ、３・・・電極パッ
ド部、４・・・ダイシング領域、５・・・平坦化層、６
・・・染色層、７・・・中間層、８・・・オーバーコー
ト層。 図面の浄書（内容に変Ｗなし） 第 ｌ 図 手続ネｒｌｊ正書（方式） 昭和６１年 ７月／ざ口 特許庁長官 黒田明にイＦ 殿 １、 事例の表示 昭和６１年特許願第８／１９３１目 ２、 発明の名称 カラー用固体撮像素了 ３、 補正をする者 事件どの関係： 特工′Ｆ出願人 名称： （５２０）富士写真フィルム株式会社４、 代
理人 ６、 補正により増加り−る発明の数二 〇７、 補正
の対象： １）明細書の「図面の簡単な説明」の欄２）
図面
段階に従って示すカラー用固体撮像素子の断面図である
。 １・・・ウェハー、２・・・チップ、３・・・電極パッ
ド部、４・・・ダイシング領域、５・・・平坦化層、６
・・・染色層、７・・・中間層、８・・・オーバーコー
ト層。 図面の浄書（内容に変Ｗなし） 第 ｌ 図 手続ネｒｌｊ正書（方式） 昭和６１年 ７月／ざ口 特許庁長官 黒田明にイＦ 殿 １、 事例の表示 昭和６１年特許願第８／１９３１目 ２、 発明の名称 カラー用固体撮像素了 ３、 補正をする者 事件どの関係： 特工′Ｆ出願人 名称： （５２０）富士写真フィルム株式会社４、 代
理人 ６、 補正により増加り−る発明の数二 〇７、 補正
の対象： １）明細書の「図面の簡単な説明」の欄２）
図面
Claims (1)
- （１）受光部と電荷転送部と転送制御部とから成る固体
撮像素子が、電極パッド部を有し、かつ半導体ウェハー
上で複数の固体撮像素子を製造した際に隣接する素子と
区切るために作られたダイシング領域を有し、更に該固
体撮像素子上に少なくとも平坦化層および染色層から成
るマイクロカラーフィルタ要素を有するカラー用固体撮
像素子において、 マイクロカラーフィルタ要素が、電極パッド部上におい
て除去され、少なくともダイシング部上はマイクロカラ
ーフィルタ要素のうちの少なくとも平坦化層が残存して
いることを特徴とする、カラー用固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61084931A JPS62242360A (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 | カラ−固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61084931A JPS62242360A (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 | カラ−固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62242360A true JPS62242360A (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=13844435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61084931A Pending JPS62242360A (ja) | 1986-04-15 | 1986-04-15 | カラ−固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62242360A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6133062A (en) * | 1998-05-04 | 2000-10-17 | United Microelectronics Corp. | Method of fabricating focusing and color-filtering structure for semiconductor light-sensitive device |
| JP2016197696A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置ならびにカメラ |
-
1986
- 1986-04-15 JP JP61084931A patent/JPS62242360A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6133062A (en) * | 1998-05-04 | 2000-10-17 | United Microelectronics Corp. | Method of fabricating focusing and color-filtering structure for semiconductor light-sensitive device |
| US6376872B1 (en) | 1998-05-04 | 2002-04-23 | Yuan-Chi Pai | Focusing and color-filtering structure for semiconductor light-sensitive device |
| JP2016197696A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置ならびにカメラ |
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