JPS622477B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS622477B2 JPS622477B2 JP54080699A JP8069979A JPS622477B2 JP S622477 B2 JPS622477 B2 JP S622477B2 JP 54080699 A JP54080699 A JP 54080699A JP 8069979 A JP8069979 A JP 8069979A JP S622477 B2 JPS622477 B2 JP S622477B2
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- Japan
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- piezoelectric
- polarization
- piezoelectric film
- polarizing
- electrodes
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/098—Forming organic materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は圧電体の分極方法に関し、特に膜状
圧電フイルムの厚み方向と直角の方向に分極する
方法に関する。
圧電フイルムの厚み方向と直角の方向に分極する
方法に関する。
圧電体の分極工程は通常分極すべき方向の両面
に分極用電極を蒸着等により形成し、この電極間
に直流電圧を印加することにより行われる。圧電
体の形状は普通第１図に示すように平板状であ
り、このような圧電体１を厚み方向（Ｚ軸）に分
極することは上記方法で比較的容易にできる。例
えば電子通信学会誌1978年１月Vol.61、NO−１
「圧電性および焦電性高分子材料とその応用」に
よればポリフツ化ビニリデン（β形）フイルムを
50℃で30分間ポーリングして圧電率d13を２×
10-7cgs程度を得るためには、電界強度を
1000KV／cmにすれば良いとされている。従つて
上記フイルムの厚さが100μであればポーリング
に要する分極用電圧は1KV程度で良いことにな
る。
に分極用電極を蒸着等により形成し、この電極間
に直流電圧を印加することにより行われる。圧電
体の形状は普通第１図に示すように平板状であ
り、このような圧電体１を厚み方向（Ｚ軸）に分
極することは上記方法で比較的容易にできる。例
えば電子通信学会誌1978年１月Vol.61、NO−１
「圧電性および焦電性高分子材料とその応用」に
よればポリフツ化ビニリデン（β形）フイルムを
50℃で30分間ポーリングして圧電率d13を２×
10-7cgs程度を得るためには、電界強度を
1000KV／cmにすれば良いとされている。従つて
上記フイルムの厚さが100μであればポーリング
に要する分極用電圧は1KV程度で良いことにな
る。
これに対し圧電体を厚み方向を法線とする面
XY面内のある方向に分極することは、前記方法
では非常に困難である。
XY面内のある方向に分極することは、前記方法
では非常に困難である。
すなわちこの方向に分極を行うために第１に考
えられることは第１図でＸまたはＹ方向の両端面
間に分極用電極を設け直流電圧を印加する。第２
に考えられることは第２図に示すように比較的厚
い圧電フイルムを成形してその厚み方向に分極用
電極２を設け分極用電圧を印加した後、厚み方向
に極く薄くスライスして結果的に厚み方向と直角
の方向に分極軸を持つ圧電フイルムを得ることが
できる。更に又第３に考えられることは第３図に
示すように圧電シートの面にずれた状電極２を設
けこの上下のブスバー３，３′に直流電圧を印加
して圧電シート面に平行な電圧成分を形成して分
極を行う。第１の方法は大きな分極電極を必要と
して危険である、実施可能な電圧を下げれば分極
できる圧電シートの大きさは限られてくる。又第
２の方法は圧電シートの幅が大きくできないし、
極く薄くスライスする困難な工程が必要である。
第３の方法は分極用すだれ電極から圧電シート内
を径由して再びすだれ電極に戻る電界が第４図に
示すように弧をえがくそのために厚み方向と直角
な面に一様な分極困難である。すなわち第４図の
電界４の水平成分のみが分極に有効になるにすぎ
ない。
えられることは第１図でＸまたはＹ方向の両端面
間に分極用電極を設け直流電圧を印加する。第２
に考えられることは第２図に示すように比較的厚
い圧電フイルムを成形してその厚み方向に分極用
電極２を設け分極用電圧を印加した後、厚み方向
に極く薄くスライスして結果的に厚み方向と直角
の方向に分極軸を持つ圧電フイルムを得ることが
できる。更に又第３に考えられることは第３図に
示すように圧電シートの面にずれた状電極２を設
けこの上下のブスバー３，３′に直流電圧を印加
して圧電シート面に平行な電圧成分を形成して分
極を行う。第１の方法は大きな分極電極を必要と
して危険である、実施可能な電圧を下げれば分極
できる圧電シートの大きさは限られてくる。又第
２の方法は圧電シートの幅が大きくできないし、
極く薄くスライスする困難な工程が必要である。
第３の方法は分極用すだれ電極から圧電シート内
を径由して再びすだれ電極に戻る電界が第４図に
示すように弧をえがくそのために厚み方向と直角
な面に一様な分極困難である。すなわち第４図の
電界４の水平成分のみが分極に有効になるにすぎ
ない。
この発明は上記した点に鑑みてなされたもの
で、その目的は比較的低電圧の分極用電圧を用い
て、しかも膜状圧電フイルムの厚み方向と直角の
方向にむらのなく、一様性が良い膜状圧電フイル
ムの分極法を提供するにある。
で、その目的は比較的低電圧の分極用電圧を用い
て、しかも膜状圧電フイルムの厚み方向と直角の
方向にむらのなく、一様性が良い膜状圧電フイル
ムの分極法を提供するにある。
この発明は上記目的を達成するために、先づ分
極用電極を膜状圧電フイルム上に設ける前に波状
に圧電フイルムを折りたたむ。その後各々の波頭
部に銀ペースト等を布着させ、上波頭群に分極用
電源の陽極を、下波頭群に陰極を接触させて分極
に必要な直流電圧を印加して分極する。その後再
びこの膜状圧電フイルムを引き伸すことによつて
膜状圧電フイルムの厚み方向と直角な面に厚み方
向全部にわたつて一様な分極軸を持つ圧電フイル
ムができる。
極用電極を膜状圧電フイルム上に設ける前に波状
に圧電フイルムを折りたたむ。その後各々の波頭
部に銀ペースト等を布着させ、上波頭群に分極用
電源の陽極を、下波頭群に陰極を接触させて分極
に必要な直流電圧を印加して分極する。その後再
びこの膜状圧電フイルムを引き伸すことによつて
膜状圧電フイルムの厚み方向と直角な面に厚み方
向全部にわたつて一様な分極軸を持つ圧電フイル
ムができる。
以下この発明を実施例により具体的に説明す
る。
る。
第５図および第６図はこの発明の一実施例を示
すもので、厚さ50μｍ、幅５cm、長さ６cmのポリ
フツ化ビニリデン（β形）圧電フイルム１１を長
さ方向に１mm間隔で第５図のように波状に圧電フ
イルムを折りたたむ。そして第６図のように各波
頭群に分極用電極１２，１２′を接触させ50℃の
シリコンオイル中で10KVの直流電圧を印加す
る。30分後取り出し引き伸してもとの平板状の圧
電フイルムに戻した。
すもので、厚さ50μｍ、幅５cm、長さ６cmのポリ
フツ化ビニリデン（β形）圧電フイルム１１を長
さ方向に１mm間隔で第５図のように波状に圧電フ
イルムを折りたたむ。そして第６図のように各波
頭群に分極用電極１２，１２′を接触させ50℃の
シリコンオイル中で10KVの直流電圧を印加す
る。30分後取り出し引き伸してもとの平板状の圧
電フイルムに戻した。
上記行程で行つた部分分極は各領域で厚さ方向
に一様な強さの分極ができしかも各々の領域の境
界部分がすだれ状電極を用いるより狭くすること
が可能である。
に一様な強さの分極ができしかも各々の領域の境
界部分がすだれ状電極を用いるより狭くすること
が可能である。
又分極後引き伸ばされた膜状圧電フイルムを両
面には分極時に波頭に接着した電極が残つている
のでこれを目印にして次のパターンニング行程に
役立てられる。
面には分極時に波頭に接着した電極が残つている
のでこれを目印にして次のパターンニング行程に
役立てられる。
なお膜状圧電フイルムを波状に折りたたむのを
より容易にするために第７図に示すように上下波
頭に多少の切れ目１３を入れることも有効であ
る。
より容易にするために第７図に示すように上下波
頭に多少の切れ目１３を入れることも有効であ
る。
第１図乃至第４図は従来の圧電体の分極方法を
説明するためのもので、第１図は膜状の圧電フイ
ルムのＸ又はＹ方向の両端面間に分極用電極を設
けるようにしたもの、第２図は比較的厚い圧電体
に両端面に分極用電極をつけたもの、第３図は膜
状圧電体に分極用すだれ状電極を設けたもの、第
４図は第３図の構成で電極から圧電体に入り込ん
でいる電気力線のようすを示したもの、第５図お
よび第６図は、この発明の圧電体の分極方法の一
実施例を示すもので第５図は膜状圧電フイルムを
波状に折りたたんだようすを示したもの。第６図
は第５図の状態の圧電フイルムの上下波頭面に分
極用電極をベタ付けしたもの。第７図はこの発明
の変形例を示すもので、第５図の波頭部分に切れ
目を入れたようすを示す図である。 １，１１……膜状圧電フイルム、２，１２……
分極用電極。
説明するためのもので、第１図は膜状の圧電フイ
ルムのＸ又はＹ方向の両端面間に分極用電極を設
けるようにしたもの、第２図は比較的厚い圧電体
に両端面に分極用電極をつけたもの、第３図は膜
状圧電体に分極用すだれ状電極を設けたもの、第
４図は第３図の構成で電極から圧電体に入り込ん
でいる電気力線のようすを示したもの、第５図お
よび第６図は、この発明の圧電体の分極方法の一
実施例を示すもので第５図は膜状圧電フイルムを
波状に折りたたんだようすを示したもの。第６図
は第５図の状態の圧電フイルムの上下波頭面に分
極用電極をベタ付けしたもの。第７図はこの発明
の変形例を示すもので、第５図の波頭部分に切れ
目を入れたようすを示す図である。 １，１１……膜状圧電フイルム、２，１２……
分極用電極。
Claims (1)
- １ 膜状圧電フイルムを波状に折りたたみ、両波
頭部に分極用電極を形成した後、該分極用電極の
各々に直流電圧を印加して分極せしめ、その後波
状に折りたたまれた膜状圧電フイルムを平板状に
引き伸すことを特徴とする圧電体の分極方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8069979A JPS566489A (en) | 1979-06-28 | 1979-06-28 | Polarizing method of piezo-electric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8069979A JPS566489A (en) | 1979-06-28 | 1979-06-28 | Polarizing method of piezo-electric element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS566489A JPS566489A (en) | 1981-01-23 |
| JPS622477B2 true JPS622477B2 (ja) | 1987-01-20 |
Family
ID=13725569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8069979A Granted JPS566489A (en) | 1979-06-28 | 1979-06-28 | Polarizing method of piezo-electric element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS566489A (ja) |
-
1979
- 1979-06-28 JP JP8069979A patent/JPS566489A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS566489A (en) | 1981-01-23 |
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