JPH05226962A - 発振子 - Google Patents
発振子Info
- Publication number
- JPH05226962A JPH05226962A JP2762592A JP2762592A JPH05226962A JP H05226962 A JPH05226962 A JP H05226962A JP 2762592 A JP2762592 A JP 2762592A JP 2762592 A JP2762592 A JP 2762592A JP H05226962 A JPH05226962 A JP H05226962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- ceramic substrate
- thickness
- oscillator
- broadwise
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低い周波数で振動させるものでも小型の発振
子を得る。 【構成】 直方体のセラミック基板１の、長手方向に分
極させ、かつ幅方向に平行な少なくとも一面に、幅方向
に電界を加えるための一対の電極２、３を形成した。両
電極２、３間に電圧を印加することにより、幅方向のエ
ネルギー閉じ込め型の振動が生じる。
子を得る。 【構成】 直方体のセラミック基板１の、長手方向に分
極させ、かつ幅方向に平行な少なくとも一面に、幅方向
に電界を加えるための一対の電極２、３を形成した。両
電極２、３間に電圧を印加することにより、幅方向のエ
ネルギー閉じ込め型の振動が生じる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、エネルギー閉じ込め
型の厚みすべり発振子に関する。
型の厚みすべり発振子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のエネルギー閉じ込め型の厚みすべ
り発振子は、図４に示すように、セラミック基板４１の
長手方向に分極させるとともに、幅方向に平行な表裏の
面に、一部分が互いに相対面する一対の電極４２、４３
を形成したものである。この厚みすべり発振子は、電極
４２、４３に電圧を印加することにより、電極４２、４
３が重なり合う部分で厚み方向に電界がかけられ、エネ
ルギーが閉じ込められて、厚み方向に振動する。なお、
ここで厚み方向とは、直方体状の基板において、交叉す
る三面のうち、最も長さの短い面の長さ方向をいい、幅
方向とは三面のうち、長さが中である面の長さ方向をい
い、長手方向とは最も長さが長い面の長さ方向をいう
（以下同じ）。
り発振子は、図４に示すように、セラミック基板４１の
長手方向に分極させるとともに、幅方向に平行な表裏の
面に、一部分が互いに相対面する一対の電極４２、４３
を形成したものである。この厚みすべり発振子は、電極
４２、４３に電圧を印加することにより、電極４２、４
３が重なり合う部分で厚み方向に電界がかけられ、エネ
ルギーが閉じ込められて、厚み方向に振動する。なお、
ここで厚み方向とは、直方体状の基板において、交叉す
る三面のうち、最も長さの短い面の長さ方向をいい、幅
方向とは三面のうち、長さが中である面の長さ方向をい
い、長手方向とは最も長さが長い面の長さ方向をいう
（以下同じ）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の厚みす
べり発振子は、セラミック基板の板厚のみにより、周波
数が決まり、通常は２〜６ＭＨＺの周波数で用いられ
る。２ＭＨＺで、厚みが０．６ｍｍ程度となる。この厚
みすべり発振子を２ＭＨＺよりも低い周波数で振動させ
るためには、素子の厚みが大きくなり、パッケージを含
めた発振子が大型化してしまうという問題があった。
べり発振子は、セラミック基板の板厚のみにより、周波
数が決まり、通常は２〜６ＭＨＺの周波数で用いられ
る。２ＭＨＺで、厚みが０．６ｍｍ程度となる。この厚
みすべり発振子を２ＭＨＺよりも低い周波数で振動させ
るためには、素子の厚みが大きくなり、パッケージを含
めた発振子が大型化してしまうという問題があった。
【０００４】この発明は、上記問題点に着目してなされ
たものであり、２ＭＨＺよりも低い周波数で振動させる
ものであっても小型のものが得られる発振子を提供する
ことを目的としている。
たものであり、２ＭＨＺよりも低い周波数で振動させる
ものであっても小型のものが得られる発振子を提供する
ことを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明の発振
子は、直方体の厚みすべり基板の、長手方向に分極さ
せ、かつ幅方向に平行な少なくとも一面に、幅方向に電
界を加えるための一対の電極を形成している。この発明
では、一対の電極間に、電圧を印加すると、幅方向に電
界が生じ、幅方向にエネルギー閉じ込み振動が生じる。
そのため例えば、従来の発振子と同じ厚み、同じ幅のも
のを考えると、基板の厚みよりも幅の方が大きいため、
幅方向にエネルギー閉じ込め振動を生じさせる。この発
明の発振子は、より低い周波数で、振動させることがで
きる。換言すれば、同じ低い周波数で振動させる場合
は、より小型のものが得られる。
子は、直方体の厚みすべり基板の、長手方向に分極さ
せ、かつ幅方向に平行な少なくとも一面に、幅方向に電
界を加えるための一対の電極を形成している。この発明
では、一対の電極間に、電圧を印加すると、幅方向に電
界が生じ、幅方向にエネルギー閉じ込み振動が生じる。
そのため例えば、従来の発振子と同じ厚み、同じ幅のも
のを考えると、基板の厚みよりも幅の方が大きいため、
幅方向にエネルギー閉じ込め振動を生じさせる。この発
明の発振子は、より低い周波数で、振動させることがで
きる。換言すれば、同じ低い周波数で振動させる場合
は、より小型のものが得られる。
【０００６】
【実施例】以下、実施例により、この発明をさらに詳細
に説明する。図１は、この発明の一実施例セラミック発
振子を示し、図１の（ａ）は、その平面図、図１の
（ｂ）は、その側面図である。図１において、直方体状
の圧電セラミック基板１は、長手方向に分極しており、
また幅方向に平行な面（図１の（ｂ）の紙面表、裏）
に、幅方向に向かい合う部分を持つ電極２、３が形成さ
れている。また表裏の電極２、３は、厚み方向に平行な
面〔図１の（ｂ）の上面と下面〕に形成された導体で、
それぞれ一体的に形成されている。
に説明する。図１は、この発明の一実施例セラミック発
振子を示し、図１の（ａ）は、その平面図、図１の
（ｂ）は、その側面図である。図１において、直方体状
の圧電セラミック基板１は、長手方向に分極しており、
また幅方向に平行な面（図１の（ｂ）の紙面表、裏）
に、幅方向に向かい合う部分を持つ電極２、３が形成さ
れている。また表裏の電極２、３は、厚み方向に平行な
面〔図１の（ｂ）の上面と下面〕に形成された導体で、
それぞれ一体的に形成されている。
【０００７】この発振子において、電極２、３間に電圧
を印加すると、電極２と電極３の対向する端縁２ａ、３
ａ間に幅方向〔図１の（ｂ）の上下方向〕に電界が発生
し、ここにエネルギーの閉じ込めによる幅方向の振動が
生じる。実施例として、長さＬ＝７．８ｍｍ、幅ｗ＝
１．２ｍｍ、厚みｔ＝０．４ｍｍの発振子で、共振周波
数９５０ＫＨＺ、Ｑｍ＝２００のものが得られた。な
お、この実施例発振子のスプリアス特性を図２に示す。
このスプリアス特性より明らかなように、幅方向のエネ
ルギー閉じ込めの厚みすべり振動になっていて、１次、
３次、５次のモードがあらわれているわけである。
を印加すると、電極２と電極３の対向する端縁２ａ、３
ａ間に幅方向〔図１の（ｂ）の上下方向〕に電界が発生
し、ここにエネルギーの閉じ込めによる幅方向の振動が
生じる。実施例として、長さＬ＝７．８ｍｍ、幅ｗ＝
１．２ｍｍ、厚みｔ＝０．４ｍｍの発振子で、共振周波
数９５０ＫＨＺ、Ｑｍ＝２００のものが得られた。な
お、この実施例発振子のスプリアス特性を図２に示す。
このスプリアス特性より明らかなように、幅方向のエネ
ルギー閉じ込めの厚みすべり振動になっていて、１次、
３次、５次のモードがあらわれているわけである。
【０００８】次に、上記実施例発振子の製造方法につい
て説明する。先ず、図３の（ａ）に示すように、圧電セ
ラミック基板３１の幅方向に分極させる。次に厚み方向
上下に電極を設け、周波数を調整する。この周波数調整
は、電極材料の厚み、もしくは、半田レジスト等を塗布
することにより、厚みを変化させて行う。
て説明する。先ず、図３の（ａ）に示すように、圧電セ
ラミック基板３１の幅方向に分極させる。次に厚み方向
上下に電極を設け、周波数を調整する。この周波数調整
は、電極材料の厚み、もしくは、半田レジスト等を塗布
することにより、厚みを変化させて行う。
【０００９】続いて、図３の（ｂ）に示すように圧電セ
ラミック基板３１を、分極方向に短冊状に切り出し、元
の圧電セラミック基板３１よりも、はるかに小型の多く
の圧電セラミック基板３２を得る。したがって、この圧
電セラミック基板３２は長手方向に分極されていること
になる。次に、図３の（ｃ）に示すように圧電セラミッ
ク基板３２〔図３のものを拡大したもの〕の幅方向に平
行な面と厚み方向に平行な面に電極用の導体層３３を形
成する。そして、エッチング処理により、電極３４、３
５のパターン形成を行って、発振子３６を得る。
ラミック基板３１を、分極方向に短冊状に切り出し、元
の圧電セラミック基板３１よりも、はるかに小型の多く
の圧電セラミック基板３２を得る。したがって、この圧
電セラミック基板３２は長手方向に分極されていること
になる。次に、図３の（ｃ）に示すように圧電セラミッ
ク基板３２〔図３のものを拡大したもの〕の幅方向に平
行な面と厚み方向に平行な面に電極用の導体層３３を形
成する。そして、エッチング処理により、電極３４、３
５のパターン形成を行って、発振子３６を得る。
【００１０】
【発明の効果】この発明によれば、直方体の厚みすべり
基板の、長手方向に分極させ、かつ幅方向に平行な少な
くとも一面に電界を加えるための一対の電極を形成した
ので、一対の電極間に電圧を印加することにより、幅方
向のエネルギー閉じ込めにより振動を得ることができ、
従来のものに比べ、２ＭＨＺよりも低い周波数の振動で
素子をより小型にできる。もちろん、エネルギー閉じ込
めであり、電極の重なり部分のみが振動し、両端は振動
していないために、素子の扱いが容易であるという、利
点もある。
基板の、長手方向に分極させ、かつ幅方向に平行な少な
くとも一面に電界を加えるための一対の電極を形成した
ので、一対の電極間に電圧を印加することにより、幅方
向のエネルギー閉じ込めにより振動を得ることができ、
従来のものに比べ、２ＭＨＺよりも低い周波数の振動で
素子をより小型にできる。もちろん、エネルギー閉じ込
めであり、電極の重なり部分のみが振動し、両端は振動
していないために、素子の扱いが容易であるという、利
点もある。
【図１】この発明の一実施例セラミック発振子を示す図
である。
である。
【図２】同実施例セラミック発振子のスプリアス特性を
示す図である。
示す図である。
【図３】同実施例セラミック発振子の製造方法を説明す
るための図である。
るための図である。
【図４】従来の厚みすべり発振子を示す図である。
１ セラミック基板 ２ 電極 ３ 電極
Claims (1)
- 【請求項１】直方体の厚みすべり基板の、長手方向に分
極させ、かつ幅方向に平行な少なくとも一面に、幅方向
に電界を加えるための一対の電極を形成したことを特徴
とする発振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762592A JPH05226962A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 発振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762592A JPH05226962A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 発振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226962A true JPH05226962A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12226141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2762592A Pending JPH05226962A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 発振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05226962A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8635899B2 (en) | 2009-07-15 | 2014-01-28 | Rosemount Analytical Inc. | Flame safety system for in SITU process analyzer |
| US9797849B2 (en) | 2013-03-29 | 2017-10-24 | Rosemount Analytical Inc. | Method of operation an in SITU process probe |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP2762592A patent/JPH05226962A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8635899B2 (en) | 2009-07-15 | 2014-01-28 | Rosemount Analytical Inc. | Flame safety system for in SITU process analyzer |
| US8689605B2 (en) | 2009-07-15 | 2014-04-08 | Rosemount Analytical Inc. | Flame safety system for in situ process analyzer |
| US9797849B2 (en) | 2013-03-29 | 2017-10-24 | Rosemount Analytical Inc. | Method of operation an in SITU process probe |
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