JPS6224928A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6224928A JPS6224928A JP16326285A JP16326285A JPS6224928A JP S6224928 A JPS6224928 A JP S6224928A JP 16326285 A JP16326285 A JP 16326285A JP 16326285 A JP16326285 A JP 16326285A JP S6224928 A JPS6224928 A JP S6224928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- guide
- guides
- axis
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4852—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/4866—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、精密工作機、産業用ロボット。
精密測定器、半導電体製造装置等に適用し、超精密な位
置決めを行う移動テーブル装置、所謂、ｘｙステージに
関する。
置決めを行う移動テーブル装置、所謂、ｘｙステージに
関する。
〈発明の概要〉
この発明は、直交方向に往復動するＸＹ可動ガイドの交
叉部に配備した自在ステージを、Ｚ軸を中心として回転
自在に枢止した２つのモジュールにて構成し、各モジュ
ールにＸＹ可動ガイドを独立して軸承することにより、
ＸＹ可動ガイドの直交度と、可動ガイドとモジュール間
の軸受ギャップの単独調整を可能となしたものである。
叉部に配備した自在ステージを、Ｚ軸を中心として回転
自在に枢止した２つのモジュールにて構成し、各モジュ
ールにＸＹ可動ガイドを独立して軸承することにより、
ＸＹ可動ガイドの直交度と、可動ガイドとモジュール間
の軸受ギャップの単独調整を可能となしたものである。
〈発明の背景〉
従来この種ｘｙステージは、第７図に示す如く、定盤上
にｘｙ可動ガイド６．７を直交配備してその交叉部に自
在ステージ８を支持している（参考文献：昭和５７年精
機学会春季大会論文集Ｐ２Ｏ７〜）。かかる自在ステー
ジ８は、基板８１の上面および下面に、それぞれガイド
軸３，４方向に適当間隔を存して対向する２対の空気軸
受８２，８２．８３．８３を取付け、２対の空気軸受８
２．８３にてＸＹ可動ガイド６．７に浮上状態で支持し
ており、従って、ステーツ８は、ＸＹ可動ガイド６．７
の交点変位に応じて移動する。かかるＸＹステージ８の
重要特性は、ＸＹ可動ガイド６．７の直交度と、両可動
ガイド６．７と空気軸受８２．８３との間の軸受ギャッ
プδである。
にｘｙ可動ガイド６．７を直交配備してその交叉部に自
在ステージ８を支持している（参考文献：昭和５７年精
機学会春季大会論文集Ｐ２Ｏ７〜）。かかる自在ステー
ジ８は、基板８１の上面および下面に、それぞれガイド
軸３，４方向に適当間隔を存して対向する２対の空気軸
受８２，８２．８３．８３を取付け、２対の空気軸受８
２．８３にてＸＹ可動ガイド６．７に浮上状態で支持し
ており、従って、ステーツ８は、ＸＹ可動ガイド６．７
の交点変位に応じて移動する。かかるＸＹステージ８の
重要特性は、ＸＹ可動ガイド６．７の直交度と、両可動
ガイド６．７と空気軸受８２．８３との間の軸受ギャッ
プδである。
つまり、一方のガイド６を固定し他方を駆動したときの
ステージ８の動きと、逆に固定側のガイド６を駆動し、
駆動側のガイド７を固定したときのステージ８の動きが
、どれだけ直角に近いかを示すものであり、精密位置決
め用ＸＹステージでは非常に高い直交度が要求される。
ステージ８の動きと、逆に固定側のガイド６を駆動し、
駆動側のガイド７を固定したときのステージ８の動きが
、どれだけ直角に近いかを示すものであり、精密位置決
め用ＸＹステージでは非常に高い直交度が要求される。
ところが、基板８１の上面および下面に各ガイド６．７
の空気軸受８２．８３を取付けたステージ構造では、組
立て手順として２本のガイド６．７の直交度を出した後
、上面および下面の空気軸受８２．８３を対応するガイ
ド６．７の直交度に合わせつつ軸受ギャップδを所定値
に設定しており、従って、空気軸受８２．８３の組立て
時、ガイド直交度ε軸受ギャップの２つの微調整を同時
に行う必要があり、この組立て、調整作業に長時間を要
する不都合がある。
の空気軸受８２．８３を取付けたステージ構造では、組
立て手順として２本のガイド６．７の直交度を出した後
、上面および下面の空気軸受８２．８３を対応するガイ
ド６．７の直交度に合わせつつ軸受ギャップδを所定値
に設定しており、従って、空気軸受８２．８３の組立て
時、ガイド直交度ε軸受ギャップの２つの微調整を同時
に行う必要があり、この組立て、調整作業に長時間を要
する不都合がある。
〈発明の目的〉
本発明は、ＸＹ可動ガイドの直交度と軸受ギャンプとを
独立して調整可能となし、組立て作業および各微調整作
業の簡易化を実現した新規なＸＹステージを提供するこ
とを目的とする。
独立して調整可能となし、組立て作業および各微調整作
業の簡易化を実現した新規なＸＹステージを提供するこ
とを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、この発明では、ＸＹ可動ガ
イドの交叉部に配備した自在ステージを、Ｚ軸を中心と
して回転自在に枢止した２つのモジュールにて構成し、
両モジエールにＸＹ可動ガイドを独立して軸承して成る
。
イドの交叉部に配備した自在ステージを、Ｚ軸を中心と
して回転自在に枢止した２つのモジュールにて構成し、
両モジエールにＸＹ可動ガイドを独立して軸承して成る
。
上記の構成によると、この発明ではＸＹ可動ガイドの直
交度と、各ガイドとモジュール間の軸受ギャップを個々
に調整し得、従って、磁気ギャップおよびガイドの直交
精度の向上、組立作業の簡易化を達成し得る実用上の顕
著な効果を奏する。
交度と、各ガイドとモジュール間の軸受ギャップを個々
に調整し得、従って、磁気ギャップおよびガイドの直交
精度の向上、組立作業の簡易化を達成し得る実用上の顕
著な効果を奏する。
〈実施例の説明〉
図面はこの発明にがかるＸＹステージを示す。
ＸＹステージは、定盤１上の縦横側辺にリニアモータ等
の駆動機構２を対向して配設し、対向する可動部２１．
２１間にＸＹ可動ガイド３゜４が配設され、このガイド
の交叉部に本発明の特徴をなす自在ステージ５を支持し
ている。
の駆動機構２を対向して配設し、対向する可動部２１．
２１間にＸＹ可動ガイド３゜４が配設され、このガイド
の交叉部に本発明の特徴をなす自在ステージ５を支持し
ている。
自在ステージ５は、ＸＹ可動ガイド３．４の交点に直交
した鉛直なＺ軸５９を中心として回転する上下２つのモ
ジュール５ａ、５ｂを有し、一方のモジュール５ａにＸ
可動ガイド３、他方のモジュール５ｂにＹ可動ガイド４
を軸承したものである。
した鉛直なＺ軸５９を中心として回転する上下２つのモ
ジュール５ａ、５ｂを有し、一方のモジュール５ａにＸ
可動ガイド３、他方のモジュール５ｂにＹ可動ガイド４
を軸承したものである。
上記各モジュール５ａ、５ｂは、第３図に示す如く、上
下対をなす軸受板５１の一方に枢軸５２、他方に軸受孔
５３を形成してこれを回転自由に枢止し、各軸受板５１
．５１の上面および下面にそれぞれＸＹ可動ガイドの軸
方向に適当間隔を存し且つガイドの両側面に対向した２
対の空気軸受５４．５５を取付けて、ＸＹ可動ガイド３
，４を摺動可能に軸承したものである。
下対をなす軸受板５１の一方に枢軸５２、他方に軸受孔
５３を形成してこれを回転自由に枢止し、各軸受板５１
．５１の上面および下面にそれぞれＸＹ可動ガイドの軸
方向に適当間隔を存し且つガイドの両側面に対向した２
対の空気軸受５４．５５を取付けて、ＸＹ可動ガイド３
，４を摺動可能に軸承したものである。
モジュール５ａ、５ｂを構成する軸受板５１゜５１の担
止部分には、必要に応じて空気軸受５６（第４図）、玉
軸受５７（第５図）或いはコロ軸受５８（第６図）を設
けて、上下モジュール５ａ、５ｂのＺ軸回転の円滑性を
画る。
止部分には、必要に応じて空気軸受５６（第４図）、玉
軸受５７（第５図）或いはコロ軸受５８（第６図）を設
けて、上下モジュール５ａ、５ｂのＺ軸回転の円滑性を
画る。
本発明は上記の如く、ＸＹ可動ガイド３，４の交叉部に
配備した自在ステージ５を、Ｚ軸を中心として回転する
２つのモジュール５ａ、５ｂにて構成し、各モジュール
５ａ、５ｂにＸＹ可動ガイド３，４を独立して軸受した
から、ＸＹ可動ガイド３．４の直交度と軸受ギャップδ
を同時に調整する従来装置に比べて、特にこの発明では
、軸受ギャップδと、ＸＹ可動ガイド３゜４の直交度を
単独で調整し得るから、各々の調整精度が一段と向上す
ると共に、組立ておよび調整作業能率が大幅に向上する
。また、この発明では、軸受ギヤツブδ調整後に、再び
ＸＹ可動ガイド３，４の直交度調整を行うも軸受ギャッ
プδは変化しない等、構成筒易にして実用上の効果は顕
著簡易にして実用上の効果は顕著多大である。
配備した自在ステージ５を、Ｚ軸を中心として回転する
２つのモジュール５ａ、５ｂにて構成し、各モジュール
５ａ、５ｂにＸＹ可動ガイド３，４を独立して軸受した
から、ＸＹ可動ガイド３．４の直交度と軸受ギャップδ
を同時に調整する従来装置に比べて、特にこの発明では
、軸受ギャップδと、ＸＹ可動ガイド３゜４の直交度を
単独で調整し得るから、各々の調整精度が一段と向上す
ると共に、組立ておよび調整作業能率が大幅に向上する
。また、この発明では、軸受ギヤツブδ調整後に、再び
ＸＹ可動ガイド３，４の直交度調整を行うも軸受ギャッ
プδは変化しない等、構成筒易にして実用上の効果は顕
著簡易にして実用上の効果は顕著多大である。
第１図は本発明にがかるＸＹステージの斜面図、第２図
は本発明自在ステージの原理を説明する図、第３図は自
在ステージの断面図、第４図〜第６図は担止部分の実施
例を示す図、第７図は従来のＸＹステージの斜面図、第
８図はステージ部分の斜面図である。 ３・・・・Ｘ可動ガイド ４・・・・Ｙ可動ガイド５・
・・・自在ステージ ５ａ、５ｂ・・・・モジュール ５１・・・・軸受板 ５４．５５・・・・空気軸受
時 許 出 願 人 立方電気 株式会社３−一−
メ１１１〃ｒイ ド。 ４−−−Ｙ巧動〃・イド ５−−− ステージ ｆａ−ｍ−モジ゛ラーＩし ｊ６・・・ ｔり′集−ル ６ｔ−−・ 知倣林。 弘、Ｉ・・ｉ’ｎ軸火 プｔ２６ 本全−＾−シ１を児鴫する色、７ ”ｌ’ ３ １ａ 自μステージ゛妾戸の辺り動
図Ｊ
は本発明自在ステージの原理を説明する図、第３図は自
在ステージの断面図、第４図〜第６図は担止部分の実施
例を示す図、第７図は従来のＸＹステージの斜面図、第
８図はステージ部分の斜面図である。 ３・・・・Ｘ可動ガイド ４・・・・Ｙ可動ガイド５・
・・・自在ステージ ５ａ、５ｂ・・・・モジュール ５１・・・・軸受板 ５４．５５・・・・空気軸受
時 許 出 願 人 立方電気 株式会社３−一−
メ１１１〃ｒイ ド。 ４−−−Ｙ巧動〃・イド ５−−− ステージ ｆａ−ｍ−モジ゛ラーＩし ｊ６・・・ ｔり′集−ル ６ｔ−−・ 知倣林。 弘、Ｉ・・ｉ’ｎ軸火 プｔ２６ 本全−＾−シ１を児鴫する色、７ ”ｌ’ ３ １ａ 自μステージ゛妾戸の辺り動
図Ｊ
Claims (2)
- （１）直交方向に往復動するＸＹガイドの交叉部に自在
ステージを配備したＸＹステージであって、前記自在ス
テージは、Ｚ軸を中心として回転する２つのモジュール
を有し、一方のモジュールにＸ軸ガイド、他方のモジュ
ールにＹ軸ガイドを軸承してなるを特徴とするＸＹステ
ージ。 - （２）各モジュールは、回転自在に枢止された上下軸受
板にＸＹ可動ガイドの両側に対向して複数の空気軸受が
配備されている特許請求の範囲第１項記載のＸＹステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16326285A JPS6224928A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16326285A JPS6224928A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224928A true JPS6224928A (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=15770461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16326285A Pending JPS6224928A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6224928A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01199743A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-08-11 | Tokyo Electron Ltd | 移動テーブル装置 |
| JP2021053725A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
| CN114619264A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-06-14 | 浙江科技学院 | 一种多角度旋转式铸件加工装置 |
-
1985
- 1985-07-23 JP JP16326285A patent/JPS6224928A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01199743A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-08-11 | Tokyo Electron Ltd | 移動テーブル装置 |
| JP2021053725A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 株式会社ナガセインテグレックス | 工作機械 |
| CN114619264A (zh) * | 2022-05-10 | 2022-06-14 | 浙江科技学院 | 一种多角度旋转式铸件加工装置 |
| CN114619264B (zh) * | 2022-05-10 | 2022-12-20 | 浙江科技学院 | 一种多角度旋转式铸件加工装置 |
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