JPH03208533A - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
- Publication number
- JPH03208533A JPH03208533A JP9025A JP2590A JPH03208533A JP H03208533 A JPH03208533 A JP H03208533A JP 9025 A JP9025 A JP 9025A JP 2590 A JP2590 A JP 2590A JP H03208533 A JPH03208533 A JP H03208533A
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- JP
- Japan
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- upper table
- feed
- lower table
- feeding
- base
- Prior art date
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07173—Means for moving chips, wafers or other parts, e.g. conveyor belts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07178—Means for aligning
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18656—Carriage surrounded, guided, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はｘＹテーブルに関する．
［従来の技術］
例えば、半導体組立装置の製造に用いるポンデイング装
置は、平面二次元方向に移動するＸＹテーブル上にポン
デイングヘッドが搭載されている。前記ＸＹテーブルは
，平面二次元方向の一方に移動可能な下部テーブルと、
この下部テーブル上に設けられ平面二次元方向の他方に
移動可能な上部テーブルとを備えている。
置は、平面二次元方向に移動するＸＹテーブル上にポン
デイングヘッドが搭載されている。前記ＸＹテーブルは
，平面二次元方向の一方に移動可能な下部テーブルと、
この下部テーブル上に設けられ平面二次元方向の他方に
移動可能な上部テーブルとを備えている。
従来、下部テーブルの送りねじ等の迭り駆動手段に上部
テーブルの送りに対して生じる力が負荷として加わるこ
とにより下部テーブルの送り系に悪影響を与えることを
防止するため，例えば特公昭５９−５２５４０号公報、
特公平１−４１４６６号公報に開示されたＸＹテーブル
が知られている。
テーブルの送りに対して生じる力が負荷として加わるこ
とにより下部テーブルの送り系に悪影響を与えることを
防止するため，例えば特公昭５９−５２５４０号公報、
特公平１−４１４６６号公報に開示されたＸＹテーブル
が知られている。
この構造は、上部テーブルの送りのために、上部テーブ
ルの送り方向と同一の方向に移動可能な上部テーブル駆
動機構が下部テーブル及び上部テーブルの側方に隣接す
る形で配置されてｌ，Ｎる。
ルの送り方向と同一の方向に移動可能な上部テーブル駆
動機構が下部テーブル及び上部テーブルの側方に隣接す
る形で配置されてｌ，Ｎる。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、上部テーブル駆動機構が下部テーブル
及び上部テーブルの側方に隣接する形で配置されている
ので，特にポンデイング装置に用いた場合にはｘＹテー
ブルの設置面積が増えるという問題点があった． 本発明の目的は、設置面積の少ない小型なＸＹテーブル
を提供することにある． ［課題を解決するための手段］ 上記巨的は、基台に設けられ平面二次元方向の一方に移
動可能な下部テーブルと、この下部テーブル上に設けら
れ平面二次元方向の他方に移動可能な上部テーブルと、
この上部テーブルの上方を跨いで前記基台に設けられた
架台に支持され、前記上部テーブルの上方を該上部テー
ブルの移動方向に治って直線的に移動可能な上部テーブ
ル駆動台と、前記下部テーブルの送り駆動手段と、前記
上部テーブル駆動台の送り駆動手段と、前記上部テーブ
ルと前記上部テーブル駆動台とを前記下部テーブルの移
動方向に移動可能に連結する連結手段とを備えた構成に
より達威される． ［作用］ 下都テーブルは該下部テーブルの送り駆動手段によって
平面二次元方向の一方の方向（Ｘ方向）に送られる．上
部テーブルは下部テーブルに載架されているので，下部
テーブルのＸ方向の動作に伴って移動する．また上部テ
ーブル駆動台の送り駆動手段によって上部テーブル駆動
台が平面二次元方向の他方の方向（Ｙ方向）に送られる
．上部テーブル駆動台のＹ方向の動きは連結手段を介し
て上部テーブルに伝達される．即ち，下部テーブルのＸ
方向の送りと上部テーブル駆動台のＹ方向の送りとによ
って上部テーブルは任意の平面二次元方向に移動させら
れる． ［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する．基台１の
上面には架台２が固定されており、架台２には，互いに
平行で、かつ図中Ｘ方向に延在して配置された一対のガ
イドレール３、３が固定されている。一対のガイドレー
ル３、３の内側には、ポール又はローラ４、４を介して
直線的に移動可能に下部テーブル５が支持されている．
下部テーブル５の上面には，同様に互いに平行で前記ガ
イドレール３、３と直交する図中Ｙ方向に延在して配置
された一対のガイドレール６、６が固定されている．一
対のガイドレール６、６の内側には，ポール又はローラ
７、７を介して下部テーブル５の移動方向と直交するＹ
方向に直線的に移動可能に上部テーブル８が支持されて
いる．また基台ｌの上面には、前記上部テーブル８を跨
ぐように架台１５が固定されており，架台１５の上部に
は、上部テーブル８の移動方向（Ｙ方向）と同一方向に
延在して互いに平行に配置された一対のガイドレール１
６、ｌ６が固定されている．一対のガイドレールｌ６、
ｌ６の内側にはボール又はローラｌ７、１７を介して上
部テーブル駆動台１８が上部テーブル８の移動方向に沿
って移動可能に支持されている． 前記上部テーブル８の上面には，下部テーブル５の移動
方向（Ｘ方向）に延在するガイド部材２５が固定されて
いる．またガイド部材２５の直上にある上部テーブル駆
動台ｌ８には，ガイド部材２５を挟持するように配設さ
れた２個一対のカムフオロア２６、２６が回転可能に支
承され，上部テーブル駆動台ｌ８の送り動作を上部テー
ブル８の送り動作とすることができるようになっている
． 架台２には，下部テーブル５の移動方向（Ｘ方向）に沿
って設けられた送りねじ３０が軸受３１，３２によって
回転可能に支持されており，送りねじ３０は、図示しな
い制御装置によって制御される送リモータ３３の出力軸
３３ａとカッ゛プリング３４によって連結されている．
送りねじ３０には、下部テーブル５に固定された送りナ
ット３５に螺合している．従って，送リモータ３３の回
転によって下部テーブル５をＸ方向に移動させることが
できる． また架台ｌ５の上部には匡体ｌ９が固定されており、匡
体ｌ９には上部テーブル駆動台１８の移動方向（Ｙ方向
）に沿って設けられた送りねじ４０が軸受４１．’４２
によって回転可能に支持されている．送りねじ４０は図
示しない制御装置によって制御される送リモータ４３の
出力軸４３ａとカップリング４４によって連結されてい
る．送りねじ４０には上部テーブル駆動台ｌ８に固定さ
れた送りナット４５が螺合している．従って，送りモー
タ４３の回転によって上部テーブル駆動台１８をＹ方向
に移動させることができる．次にかかる構威よりなるＸ
Ｙテーブルの作用について説明する．下部テーブル５の
送り動作は周知の送りねじ機構によるもので、送リモー
タ３３が図示しない制御装置から与えられる指令に基づ
き回転すると、その回転に応じた直線量の送りが得られ
る．上部テーブル８は下部テーブル５に載架されている
ので，下部テーブル５のＸ方向の動作に伴って移動を行
う．この時、上部テーブル８のＸ方向の移動に対しては
ガイド部材２５が２個のカムフオロア２６、２６に対し
てその延在方向に移動を行うことになり、上部テーブル
駆動台ｌ８には何等の影響を与えることがない．そして
，送リモータ４３が同様に図示しない制御装置から与え
られる指令に基づいて回転すると、周知の送りねじ機構
により上部テーブル駆動台ｌ８に所望の直線量の送りが
得られる．この迭り動作は、２個のカム７オロア２６、
２６及びガイド部材２５を介して上部テーブル８を下部
テーブル５に対する直交したＹ方向の移動動作となる。
及び上部テーブルの側方に隣接する形で配置されている
ので，特にポンデイング装置に用いた場合にはｘＹテー
ブルの設置面積が増えるという問題点があった． 本発明の目的は、設置面積の少ない小型なＸＹテーブル
を提供することにある． ［課題を解決するための手段］ 上記巨的は、基台に設けられ平面二次元方向の一方に移
動可能な下部テーブルと、この下部テーブル上に設けら
れ平面二次元方向の他方に移動可能な上部テーブルと、
この上部テーブルの上方を跨いで前記基台に設けられた
架台に支持され、前記上部テーブルの上方を該上部テー
ブルの移動方向に治って直線的に移動可能な上部テーブ
ル駆動台と、前記下部テーブルの送り駆動手段と、前記
上部テーブル駆動台の送り駆動手段と、前記上部テーブ
ルと前記上部テーブル駆動台とを前記下部テーブルの移
動方向に移動可能に連結する連結手段とを備えた構成に
より達威される． ［作用］ 下都テーブルは該下部テーブルの送り駆動手段によって
平面二次元方向の一方の方向（Ｘ方向）に送られる．上
部テーブルは下部テーブルに載架されているので，下部
テーブルのＸ方向の動作に伴って移動する．また上部テ
ーブル駆動台の送り駆動手段によって上部テーブル駆動
台が平面二次元方向の他方の方向（Ｙ方向）に送られる
．上部テーブル駆動台のＹ方向の動きは連結手段を介し
て上部テーブルに伝達される．即ち，下部テーブルのＸ
方向の送りと上部テーブル駆動台のＹ方向の送りとによ
って上部テーブルは任意の平面二次元方向に移動させら
れる． ［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する．基台１の
上面には架台２が固定されており、架台２には，互いに
平行で、かつ図中Ｘ方向に延在して配置された一対のガ
イドレール３、３が固定されている。一対のガイドレー
ル３、３の内側には、ポール又はローラ４、４を介して
直線的に移動可能に下部テーブル５が支持されている．
下部テーブル５の上面には，同様に互いに平行で前記ガ
イドレール３、３と直交する図中Ｙ方向に延在して配置
された一対のガイドレール６、６が固定されている．一
対のガイドレール６、６の内側には，ポール又はローラ
７、７を介して下部テーブル５の移動方向と直交するＹ
方向に直線的に移動可能に上部テーブル８が支持されて
いる．また基台ｌの上面には、前記上部テーブル８を跨
ぐように架台１５が固定されており，架台１５の上部に
は、上部テーブル８の移動方向（Ｙ方向）と同一方向に
延在して互いに平行に配置された一対のガイドレール１
６、ｌ６が固定されている．一対のガイドレールｌ６、
ｌ６の内側にはボール又はローラｌ７、１７を介して上
部テーブル駆動台１８が上部テーブル８の移動方向に沿
って移動可能に支持されている． 前記上部テーブル８の上面には，下部テーブル５の移動
方向（Ｘ方向）に延在するガイド部材２５が固定されて
いる．またガイド部材２５の直上にある上部テーブル駆
動台ｌ８には，ガイド部材２５を挟持するように配設さ
れた２個一対のカムフオロア２６、２６が回転可能に支
承され，上部テーブル駆動台ｌ８の送り動作を上部テー
ブル８の送り動作とすることができるようになっている
． 架台２には，下部テーブル５の移動方向（Ｘ方向）に沿
って設けられた送りねじ３０が軸受３１，３２によって
回転可能に支持されており，送りねじ３０は、図示しな
い制御装置によって制御される送リモータ３３の出力軸
３３ａとカッ゛プリング３４によって連結されている．
送りねじ３０には、下部テーブル５に固定された送りナ
ット３５に螺合している．従って，送リモータ３３の回
転によって下部テーブル５をＸ方向に移動させることが
できる． また架台ｌ５の上部には匡体ｌ９が固定されており、匡
体ｌ９には上部テーブル駆動台１８の移動方向（Ｙ方向
）に沿って設けられた送りねじ４０が軸受４１．’４２
によって回転可能に支持されている．送りねじ４０は図
示しない制御装置によって制御される送リモータ４３の
出力軸４３ａとカップリング４４によって連結されてい
る．送りねじ４０には上部テーブル駆動台ｌ８に固定さ
れた送りナット４５が螺合している．従って，送りモー
タ４３の回転によって上部テーブル駆動台１８をＹ方向
に移動させることができる．次にかかる構威よりなるＸ
Ｙテーブルの作用について説明する．下部テーブル５の
送り動作は周知の送りねじ機構によるもので、送リモー
タ３３が図示しない制御装置から与えられる指令に基づ
き回転すると、その回転に応じた直線量の送りが得られ
る．上部テーブル８は下部テーブル５に載架されている
ので，下部テーブル５のＸ方向の動作に伴って移動を行
う．この時、上部テーブル８のＸ方向の移動に対しては
ガイド部材２５が２個のカムフオロア２６、２６に対し
てその延在方向に移動を行うことになり、上部テーブル
駆動台ｌ８には何等の影響を与えることがない．そして
，送リモータ４３が同様に図示しない制御装置から与え
られる指令に基づいて回転すると、周知の送りねじ機構
により上部テーブル駆動台ｌ８に所望の直線量の送りが
得られる．この迭り動作は、２個のカム７オロア２６、
２６及びガイド部材２５を介して上部テーブル８を下部
テーブル５に対する直交したＹ方向の移動動作となる。
通常、ポンデイング装置では，ポンデイングヘッドがＸ
Ｙテーブルの上部テーブル８に設けられており、上部テ
ーブル８のＹ方向の送り動作によって所望のポンデイン
グ作業を行う．このように、上部テーブル８を送る上部
テーブル送り駆動手段、即ち送りねじ４０、送リモータ
４３、送りナット４５等は、下部テーブル５上に設けら
れていないので、従来例と同様に下部テーブル５の送り
系に悪影響を与えることがない。また上部テーブル８の
上方に跨ぐように架台１５が設けられ、この架台ｌ５に
上部テーブル８を駆動する送りねじ４０、送リモータ４
３、送りナット４５等の上部テーブル送り駆動手段が設
けられた立体的な重ね合せ形であるので、ＸＹテーブル
の設置面積を最小にすることができる． なお、上記実施例においては、下部テーブル５及び上部
テーブル駆動台ｌ８の送り駆動手段としてねじ機構を用
いた場合について説明したが、特公平１−４１４６６号
公報のように非回転直進する送り駆動手段を用いてもよ
い． ［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、上部
テーブルの送り駆動手段を上部テーブルの上方に立体的
に重ね合わせる形で配置してなるので、設置面積が小さ
〈、小型化される．
Ｙテーブルの上部テーブル８に設けられており、上部テ
ーブル８のＹ方向の送り動作によって所望のポンデイン
グ作業を行う．このように、上部テーブル８を送る上部
テーブル送り駆動手段、即ち送りねじ４０、送リモータ
４３、送りナット４５等は、下部テーブル５上に設けら
れていないので、従来例と同様に下部テーブル５の送り
系に悪影響を与えることがない。また上部テーブル８の
上方に跨ぐように架台１５が設けられ、この架台ｌ５に
上部テーブル８を駆動する送りねじ４０、送リモータ４
３、送りナット４５等の上部テーブル送り駆動手段が設
けられた立体的な重ね合せ形であるので、ＸＹテーブル
の設置面積を最小にすることができる． なお、上記実施例においては、下部テーブル５及び上部
テーブル駆動台ｌ８の送り駆動手段としてねじ機構を用
いた場合について説明したが、特公平１−４１４６６号
公報のように非回転直進する送り駆動手段を用いてもよ
い． ［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、上部
テーブルの送り駆動手段を上部テーブルの上方に立体的
に重ね合わせる形で配置してなるので、設置面積が小さ
〈、小型化される．
図は本発明になるｘＹテーブルの一実施例を示し，第１
図は正面断面図，第２図は第１図のＡ−Ａ線側面断面図
、第３図は平面図，第４図は第１図のＢ−Ｂ線平面断面
図である． ｌ：基台， ５：下部テーブル，８：上部テ
ーブル， ｌ５：架台、 ｌ８二上部テーブル駆動台、 ２５：ガイド部材， ２６：カムフォロア，３０：送
りねじ， ３３：送リモータ、 ３５：送リナット、 ４０：迭りねじ、 ４３二送リモータ、 ４５：送りナット・
図は正面断面図，第２図は第１図のＡ−Ａ線側面断面図
、第３図は平面図，第４図は第１図のＢ−Ｂ線平面断面
図である． ｌ：基台， ５：下部テーブル，８：上部テ
ーブル， ｌ５：架台、 ｌ８二上部テーブル駆動台、 ２５：ガイド部材， ２６：カムフォロア，３０：送
りねじ， ３３：送リモータ、 ３５：送リナット、 ４０：迭りねじ、 ４３二送リモータ、 ４５：送りナット・
Claims (1)
- （１）基台に設けられ平面二次元方向の一方に移動可能
な下部テーブルと、この下部テーブル上に設けられ平面
二次元方向の他方に移動可能な上部テーブルと、この上
部テーブルの上方を跨いで前記基台に設けられた架台に
支持され、前記上部テーブルの上方を該上部テーブルの
移動方向に沿って直線的に移動可能な上部テーブル駆動
台と、前記下部テーブルの送り駆動手段と、前記上部テ
ーブル駆動台の送り駆動手段と、前記上部テーブルと前
記上部テーブル駆動台とを前記下部テーブルの移動方向
に移動可能に連結する連結手段とを備えたＸＹテーブル
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000025A JP2727368B2 (ja) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Ｘｙテーブル |
| KR1019910000006A KR940003944B1 (ko) | 1990-01-04 | 1991-01-03 | 본딩장치용 xy 테이블 |
| US07/637,297 US5157985A (en) | 1990-01-04 | 1991-01-03 | X-Y table for bonding devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000025A JP2727368B2 (ja) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Ｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208533A true JPH03208533A (ja) | 1991-09-11 |
| JP2727368B2 JP2727368B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=11462850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000025A Expired - Lifetime JP2727368B2 (ja) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Ｘｙテーブル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5157985A (ja) |
| JP (1) | JP2727368B2 (ja) |
| KR (1) | KR940003944B1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9204772D0 (en) * | 1992-03-05 | 1992-04-15 | Black & Decker Inc | Workcentre |
| US5971254A (en) * | 1997-01-02 | 1999-10-26 | Texas Instruments Incorporated | Decoupled xyz stage |
| US20080011912A1 (en) * | 2006-01-09 | 2008-01-17 | Chen-Sung Liao | Adjustable mounting device for mounting an optical engine in a display apparatus |
| WO2008001721A1 (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Nsk Ltd. | Steering device |
| US9961783B2 (en) * | 2016-07-08 | 2018-05-01 | Kateeva, Inc. | Guided transport path correction |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3495519A (en) * | 1967-02-01 | 1970-02-17 | Microform Data Systems | Xy table |
| JPS55134414A (en) * | 1979-04-06 | 1980-10-20 | Hitachi Ltd | Precise moving unit |
| US4282763A (en) * | 1979-05-15 | 1981-08-11 | C-R-O, Inc. | Compound oscillator |
| US4372223A (en) * | 1979-12-20 | 1983-02-08 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Moving table assembly |
| JPS5952540A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | 株式会社富士電機総合研究所 | 電磁式粉砕混合等処理装置 |
| DE3413184C2 (de) * | 1984-04-07 | 1987-04-16 | Gildemeister Ag, 4800 Bielefeld | Vorschubantrieb für einen auf einem Werkzeugmaschinengestell gelagerten Schlitten |
| DE3521047C1 (de) * | 1985-06-12 | 1986-09-04 | C. Reichert Optische Werke Ag, Wien | Mikroskop |
| JPH0623569B2 (ja) * | 1985-07-15 | 1994-03-30 | 松下電器産業株式会社 | 移動テーブル |
| JP2539631B2 (ja) * | 1987-08-04 | 1996-10-02 | 光洋精工株式会社 | 電動パワ−ステアリング装置 |
| US4916963A (en) * | 1987-10-03 | 1990-04-17 | Nippon Thompson Co., Ltd. | Moving table unit |
| US4919001A (en) * | 1987-10-09 | 1990-04-24 | Olympus Optical Co., Ltd. | Coarse/fine adjustment coaxial handle for feeding microscope stage |
| JPH0192390U (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-16 | ||
| US4972574A (en) * | 1988-06-08 | 1990-11-27 | Mamiya Denshi Co., Ltd. | Table driving apparatus |
| JP5952540B2 (ja) | 2010-09-02 | 2016-07-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 固体電解質材料およびこれを用いた金属−空気全固体二次電池 |
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