JPS62249491A - ガスレ−ザ装置用電極 - Google Patents
ガスレ−ザ装置用電極Info
- Publication number
- JPS62249491A JPS62249491A JP9211286A JP9211286A JPS62249491A JP S62249491 A JPS62249491 A JP S62249491A JP 9211286 A JP9211286 A JP 9211286A JP 9211286 A JP9211286 A JP 9211286A JP S62249491 A JPS62249491 A JP S62249491A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- apertures
- insulating layer
- electrode
- protrusions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置用電極に係り、特に、横方向励
起型ガスレーザ装置に好適な予備電離手段を備えた電極
に関する。
起型ガスレーザ装置に好適な予備電離手段を備えた電極
に関する。
この種の装置として関連するものには、例えば米国特許
第３６６２２８４号が挙げられる。本装置の電極は次の
ように構成されている。予備電離用電極として、絶縁層
を介して補助Ｎ、極とグリッド状陽衡が配置され、主放
電用′ｔど極として、グリッド状陽極と陰極が配置され
ている。
第３６６２２８４号が挙げられる。本装置の電極は次の
ように構成されている。予備電離用電極として、絶縁層
を介して補助Ｎ、極とグリッド状陽衡が配置され、主放
電用′ｔど極として、グリッド状陽極と陰極が配置され
ている。
始めに、グリッド状陽極表面のコロナ放電に１って予備
電離が行なわれ、次に、主放電用電極間でグロー放電が
行なわれ、レーザ媒質が励起される。
電離が行なわれ、次に、主放電用電極間でグロー放電が
行なわれ、レーザ媒質が励起される。
上記従来技術は、予備電離に適したコロナ放電を発生さ
せる’ｔｔｔ極形状については考慮されておらず、不十
分な予備電離のために主放電用グロー放電がアーク放電
へと移行してレーザ出力の増大化が妨げられるという問
題があった。
せる’ｔｔｔ極形状については考慮されておらず、不十
分な予備電離のために主放電用グロー放電がアーク放電
へと移行してレーザ出力の増大化が妨げられるという問
題があった。
本発明の目的は、予備電離効果の高いコロナ放′；Ｉを
発生させ、グロー放電部のレーザ媒質を一様に励起し、
レーザ出力を増大することができる電極を提供すること
にある。
発生させ、グロー放電部のレーザ媒質を一様に励起し、
レーザ出力を増大することができる電極を提供すること
にある。
〔１問題点を解決するための手段〕
上記目的は、板状陰極を絶縁層と対向して配置し、板状
陰極に複数部の開口部を設けて、この開口部周縁部に絶
＠層方向に突出した突起部を形成し、さらに、開口部の
他方の周縁部を曲面形状とすることをてよシ達成される
。
陰極に複数部の開口部を設けて、この開口部周縁部に絶
＠層方向に突出した突起部を形成し、さらに、開口部の
他方の周縁部を曲面形状とすることをてよシ達成される
。
始めに、予備電離用として、開口部の突起部表面にコロ
ナ放電が活生ずる。このとき、突起部は電界集中の大き
な形状なので、太さなコロナ放電？Ｊ！流とともに透過
力の大きな硬紫外線が得られる。
ナ放電が活生ずる。このとき、突起部は電界集中の大き
な形状なので、太さなコロナ放電？Ｊ！流とともに透過
力の大きな硬紫外線が得られる。
この硬紫外線は開口部を通過して主放電領域のレーザ媒
質を一様に予ＯＲ電離するユ 次＞Ｃ、レーザ媒質励起用として、開口部の曲面形状部
と１場玉の間で、一様なグロー放電が確立される。この
ときｆｉ１面形状部は電界が緩和される形状なので、グ
ロー放電がアーク放電へと移行することがない。従って
、レーザ媒質が効率良く励起され、レーザ出力を増大す
ることができる。
質を一様に予ＯＲ電離するユ 次＞Ｃ、レーザ媒質励起用として、開口部の曲面形状部
と１場玉の間で、一様なグロー放電が確立される。この
ときｆｉ１面形状部は電界が緩和される形状なので、グ
ロー放電がアーク放電へと移行することがない。従って
、レーザ媒質が効率良く励起され、レーザ出力を増大す
ることができる。
以下、本発明の一実施例である横方向励起・大気圧動作
型炭酸ガスレーザ装着用電極を示す第１図と第２図によ
って説明する。
型炭酸ガスレーザ装着用電極を示す第１図と第２図によ
って説明する。
主放電用電極として、陰極１と陽極２を配置する。電極
１．２をそれぞれ取付板３，４を介して高圧パルス発生
源５に接続する。陰極１には、主放ｆＬ須域６に対応し
て複数の円形開口部７を設ける。
１．２をそれぞれ取付板３，４を介して高圧パルス発生
源５に接続する。陰極１には、主放ｆＬ須域６に対応し
て複数の円形開口部７を設ける。
予備電離用電極として、陰極１と補助電極８を配置する
。補助電極８は、絶縁板９ａ（！：絶縁層９ｂから成る
絶縁箱９によって陰極１と取付板３から電気的に絶縁さ
れている。また、補助電極８は取付板４を介して陽極２
と電気的に接続される。
。補助電極８は、絶縁板９ａ（！：絶縁層９ｂから成る
絶縁箱９によって陰極１と取付板３から電気的に絶縁さ
れている。また、補助電極８は取付板４を介して陽極２
と電気的に接続される。
なお、レーザ出力１０は、反射鏡１１と出力鏡１２から
成るレーザ共損器から取出される。
成るレーザ共損器から取出される。
次Ｋ、本発明の一実施例の主要点である円形開口部７の
形状について、第３図と第４図によって詳述する。第３
図に示すように、テーバ状孔をもつ治Ａ１３に順付けた
板状陰極１に対して、ピン状工具１４を矢印のように押
圧して貫通することによって円形開口部７が形成される
。このとき、第４圀に示すように、開口部７の二つの周
縁部には、それぞれ曲面形状部７ａと鋸歯状突起部７ｂ
が形成される。陰極１は、この鋸歯状突起部７ｂが絶縁
層９ｂ方向に突出するように配置される。
形状について、第３図と第４図によって詳述する。第３
図に示すように、テーバ状孔をもつ治Ａ１３に順付けた
板状陰極１に対して、ピン状工具１４を矢印のように押
圧して貫通することによって円形開口部７が形成される
。このとき、第４圀に示すように、開口部７の二つの周
縁部には、それぞれ曲面形状部７ａと鋸歯状突起部７ｂ
が形成される。陰極１は、この鋸歯状突起部７ｂが絶縁
層９ｂ方向に突出するように配置される。
まず、高圧パルス発生源５によって陰極１と陽極２の間
にパルス′亀圧を印加すると、陽極２と同電位の補助′
ζ極８と陰極１の間の電圧が上昇し始め、鋸歯状突起部
７ｂ表面で、コロナ放電が発生する。この鋸歯状突起部
７ｂは電界集中の大きな形状なので、透過力の大きな硬
紫外線が発生する。
にパルス′亀圧を印加すると、陽極２と同電位の補助′
ζ極８と陰極１の間の電圧が上昇し始め、鋸歯状突起部
７ｂ表面で、コロナ放電が発生する。この鋸歯状突起部
７ｂは電界集中の大きな形状なので、透過力の大きな硬
紫外線が発生する。
従って、開口部７を通過した硬紫外線によって主放電領
域６が一様に予備ｉ！離さＩＬるという効果がある。こ
＼で突起部７ｂは鋸歯状に形成したが、絶縁層９ｂ方向
に突出した突起形状であれば上と同じ効果を達成できる
。
域６が一様に予備ｉ！離さＩＬるという効果がある。こ
＼で突起部７ｂは鋸歯状に形成したが、絶縁層９ｂ方向
に突出した突起形状であれば上と同じ効果を達成できる
。
次に、パルス電圧が上昇してついに電極１．２間の放電
開始電圧に達すると、主放電領域６では、前述の一様な
予備電によ効果によって一様なグロー放電が確立される
。このとき、グロー放電は電界集中の小さな曲面形状部
７ａで発生するので、アーク放電への移行を防ぐことが
できる。従って、主放電領域６のレーザ媒質を一様に励
起できる。
開始電圧に達すると、主放電領域６では、前述の一様な
予備電によ効果によって一様なグロー放電が確立される
。このとき、グロー放電は電界集中の小さな曲面形状部
７ａで発生するので、アーク放電への移行を防ぐことが
できる。従って、主放電領域６のレーザ媒質を一様に励
起できる。
本発明の一実施例によれば、板状陰極１にピン状工具１
４を貫通させることによって曲面形状部７ａと鋸歯状突
起部７ｂを形成できるので、電極の製ｒ「が容易となる
。
４を貫通させることによって曲面形状部７ａと鋸歯状突
起部７ｂを形成できるので、電極の製ｒ「が容易となる
。
本発明の変形例を第５図によって説明する。同図では、
補助電極８に相当する部分を補助重態８ａと８ｂに分割
し、補助１１極８ａを切換スイッチ１５によって陽極２
に接続する。この場合、補助Ｎｄ１８ａと対応する開口
部７を通してのみ予備電離が行なわれＳので、主放電領
域６の大きさを限定できる。従って、切換スイッチ１５
の操作によって主放電領域６の大きさ、即ち、レーザビ
−ム断面の大きさを変えることができる。
補助電極８に相当する部分を補助重態８ａと８ｂに分割
し、補助１１極８ａを切換スイッチ１５によって陽極２
に接続する。この場合、補助Ｎｄ１８ａと対応する開口
部７を通してのみ予備電離が行なわれＳので、主放電領
域６の大きさを限定できる。従って、切換スイッチ１５
の操作によって主放電領域６の大きさ、即ち、レーザビ
−ム断面の大きさを変えることができる。
以上の実施例では、開口部７の形状を円形としたもので
あるが、その他に楕円形状やスリット形状などについて
も、開口部周縁部に曲面形状部と突起部を形成できる。
あるが、その他に楕円形状やスリット形状などについて
も、開口部周縁部に曲面形状部と突起部を形成できる。
本発明によれば、板状陰極に設けた複数の開口部に、予
備電離効果の高いコロナ放電を発生できる突起部と、グ
ロー放電がアーク放電へ移行することのない電界集中の
小さな曲面形状部を形成できるので、レーザ媒質を一様
に励起してレーザ出力を増大することができる。
備電離効果の高いコロナ放電を発生できる突起部と、グ
ロー放電がアーク放電へ移行することのない電界集中の
小さな曲面形状部を形成できるので、レーザ媒質を一様
に励起してレーザ出力を増大することができる。
第１図は本発明の一実施例の横方向励起・大気圧動作型
炭酸ガスレーザ装置用電極部の斜視図。 第２図は第１図の■−■線断面図に電極間接続を加えた
図、第３図は開口部の形成方法を示す断面図、第４図は
開口部の拡大断面図、第５図は本発明の変形例の断面図
でおる。 ７ｂ・・・鋸歯状突起部。
炭酸ガスレーザ装置用電極部の斜視図。 第２図は第１図の■−■線断面図に電極間接続を加えた
図、第３図は開口部の形成方法を示す断面図、第４図は
開口部の拡大断面図、第５図は本発明の変形例の断面図
でおる。 ７ｂ・・・鋸歯状突起部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ媒質励起用の陰極と陽極、及び絶縁層を介し
て前記陰極と対向する補助電極より成るガスレーザ装置
用電極において、 前記陰極に複数の開口部を設け、前記開口部の周縁部に
前記絶縁層方向に突出した突起部を形成したことを特徴
とするガスレーザ装置用電極。 ２、特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置用電極
において、 前記突起部を鋸歯状としたことを特徴とするガスレーザ
装置用電極。 ３、特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置用電極
において、 前記補助電極を複数に分割したことを特徴とするガスレ
ーザ装置用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9211286A JPS62249491A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | ガスレ−ザ装置用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9211286A JPS62249491A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | ガスレ−ザ装置用電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62249491A true JPS62249491A (ja) | 1987-10-30 |
Family
ID=14045345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9211286A Pending JPS62249491A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | ガスレ−ザ装置用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62249491A (ja) |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP9211286A patent/JPS62249491A/ja active Pending
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