JPS62257102A - セラミツクスミラ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カメラやレーザー等の精密光学機器等に使用
されるミラーに関するものである。

〔従来の技術〕

一般にミラーは第２図（ａ）に示すように、ガラス１０
の裏面に銀、アルミニウム等の高反射率の金属よりなる
反射膜２を形成したものであり、表面より入射した光は
ガラス１０を通過して反射膜２で反射するようになって
いた。

また、第２図（ｂ）に示すように、ガラス１０の表面に
反射膜２を形成し、光がガラス１０中を通過せずに表面
で反射するようにしたミラーもあった。

このようなミラーは例えば、−眼レフカメラに使用され
るが、−眼レフカメラの構造は第３図に示すように、ミ
ラーＭはカメラＣ内のレンズＬの裏側に、普段は斜めに
セットされ、レンズＬより入ってきた光をファインダＡ
側へ反射するようになっており、シャッタを押すとミラ
ーＭが破線で示したように持ち上がり、°光がフィルム
Ｆに照射するようになっていた。

〔従来技術の問題点〕

ところが、このような従来のミラーは、ガラス１０より
形成されているため強度が弱く、割れに（くするために
比較的厚く形成されていた。そのためミラー全体が重く
なり、たとえばカメラＣに用いる場合、ミラーＭを持ち
上げる速度を速くすることが困難でシャッター速度に限
界があった。また、第２図（ａ）に示したガラス１０の
裏面に反射膜２を形成するミラーでは、反射膜２で反射
する本来の反射光とは別に、破線で示すようにガラス１
０表面でわずかに反射する複屈折を起こし、ガラス１０
が厚いため２つの反射光のズレが大きく、精密光学機器
に使用する場合は問題があった。

さらに、第２図（ｂ）に示した、表面に反射膜を形成し
たミラーは、該反射膜がはがれやすく、またガラス自身
も硬度、耐触性が悪いため、キズがついたり、化学物質
に侵されたりして、反射率を劣化させやすいという問題
点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記に鑑みて本発明は、セラミックスよりなる板状体に
反射膜を被着してセラミックスミラーを構成したもので
ある。

〔実施例〕

本発明に係るミラーは、第１図（ａ）に示すように透光
性セラミックスよりなる板状体１の裏面に反射膜を被着
したものである。透光性セラミックスは強度が大きいた
め、板状体１を薄く形成することができ、その結果ミラ
ー全体が軽くなり、また複屈折による反射光のズレが小
さくなる。この透光性セラミックスとしてはアルミナ単
結晶セラミックスや透明スピネル、透明ジルコニア等を
使用する。

また、本発明の他の実施例として、第１図（ｂ）に示す
ようにセラミックスよりなる板状体ｌ°の表面に反射膜
を被着したものでもよい。この場合は板状体１′は透光
性である必要はなく、アルミナ、ジルコニア等のセラミ
ックスよりなるものであるが、硬度、強度が大きいため
、薄く形成でき、表面の反射膜２がはがれにくい。また
セラミック又は精緻な表面加工ができるため、精度の高
いミラーを形成することができる。

以上の実施例において、反射膜２としては白金−パラジ
ウム（Ｐｔ−Ｐｄ）　、！艮（Ａｇ）、アルミニウム（
Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）等の金属や、ＳＩＣ；　−、Ｔ
ｉｃ　％　ＴｉＮなどのセラミックスを溶射または蒸着
等により板状体１，１°に被着させればよい、このとき
、反射膜の膜厚は２００　Å以上に、好ましくは２００
０〜５０００人程度に被着すればよい。

次に、第１図（ａ）に示したミラーを、厚さ０　、５ｍ
ｍのアルミナ単結晶セラミックスよりなる板状体の裏面
に白金−パラジウムよりなる反射膜を真空蒸着して試作
し、従来の厚さ４　、５ｍｍのガラス板よりなるミラー
とともに、さまざまな特性を調べて、比較しζみた結果
、第１表の通りであった。

第１表 第１表に示す通り、アルミナ単結晶セラミ・ノクスより
なるミラーは、従来のガラス製ミラーに比べて硬度、強
度が大きく、光透過率や耐薬品性なども優れている。特
に強度が大きいため、０．５＋ａｍ程度に薄くしても割
れに（く、さらに薄く形成することも可能である。

このようなセラミックスミラーはカメラ、顕微鏡、レー
ザー光源など１、各種精密光学機器に使用できるが、例
えばカメラに使用すれば、ミラーの強度が大きく軽いた
め、シャッタースピードをさらに速くすることができ、
またレンズ交換の際など露出させてもキズがつきにくい
。この他に、歯科用のデンタルミラーや太陽熱発電用の
集光器等に使用すれば、表面にキズがつきにく（長期に
亘って優れた特性を維持することができる。

（発明の効果） 畝上のように本発明によれは、セラミックスよりなる板
状体に反射膜を形成してセラミックスミラーとしたこと
により、強度が大きいため、薄（形成することができ、
全体的に軽く、複屈折による反射光のズレを小さくする
ことができる。また、表面平滑度を高くできるため、反
射効率を大きくすることができ、硬度、耐蝕性に優れて
いるため、表面にキズがついたり、化学薬品に侵される
ことが少な（、長期にわたって反射率の高い優れたセラ
ミックスミラーを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　（ｂ）はそれぞれ本発明に係るセラミッ
クスミラーを示す断面図、第２図（ａ）　（ｂ）はそれ
ぞれ従来のミラーを示す断面図である。 第３図はカメラの概略構造を示す断面図である。 １．１゛・・・板状体 １０・・・・ガラス ２・・・・反射膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. セラミックスよりなる板状体に反射膜を被着してなるセ
   ラミックスミラー。