JPS62257104A - カラ−フイルタ - Google Patents
カラ−フイルタInfo
- Publication number
- JPS62257104A JPS62257104A JP61102992A JP10299286A JPS62257104A JP S62257104 A JPS62257104 A JP S62257104A JP 61102992 A JP61102992 A JP 61102992A JP 10299286 A JP10299286 A JP 10299286A JP S62257104 A JPS62257104 A JP S62257104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- filter layer
- corners
- color separation
- separation filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、光学的に透明な基板あるいは固体撮像素子上
に形成したカラーフィルタに関し、特に微細加工と多画
素を必要とするカラーフィルタと関するものである。
に形成したカラーフィルタに関し、特に微細加工と多画
素を必要とするカラーフィルタと関するものである。
〈従来技術〉
従来、透明基板上や固体撮像素子上などに色分解用のカ
ラーフィルタを形成する方法としては、例えば、感光剤
を添加したゼラチン等の被染色性の感光膜を基板上に形
成し、パターニングした後、所定の分光特性を有する染
料で染色するという方法や、あるいは金属酸化物等の無
機材料を真空蒸着することによって色要素受容層を形成
し、必要に応じてその前後で所定の分光特性を有するよ
うに着色するという方法がある。前者の方法だついて第
２図を用いてさらに詳しく説明する。
ラーフィルタを形成する方法としては、例えば、感光剤
を添加したゼラチン等の被染色性の感光膜を基板上に形
成し、パターニングした後、所定の分光特性を有する染
料で染色するという方法や、あるいは金属酸化物等の無
機材料を真空蒸着することによって色要素受容層を形成
し、必要に応じてその前後で所定の分光特性を有するよ
うに着色するという方法がある。前者の方法だついて第
２図を用いてさらに詳しく説明する。
第２図囚に示したように、基板１の表面上にポリビニル
アルコール、カゼイン或いはゼラチン等の被染色性材料
に重クロム酸アンモニウム等で感光性を付与した感光膜
２を均一に塗布し、乾燥後マスク露光法により第１色目
のパターン部分だけを光硬化させ（同図（Ｂ））、現像
して所望のパターン３を形成する（同図（Ｃ））。次い
でこのパターン３を例えば赤色染料で染色し、第１色目
の赤色フィルタ層４を形成しく同図ＣＤ） ）、混色防
止のための透明な防染膜５を全面に塗布する（同図■）
。
アルコール、カゼイン或いはゼラチン等の被染色性材料
に重クロム酸アンモニウム等で感光性を付与した感光膜
２を均一に塗布し、乾燥後マスク露光法により第１色目
のパターン部分だけを光硬化させ（同図（Ｂ））、現像
して所望のパターン３を形成する（同図（Ｃ））。次い
でこのパターン３を例えば赤色染料で染色し、第１色目
の赤色フィルタ層４を形成しく同図ＣＤ） ）、混色防
止のための透明な防染膜５を全面に塗布する（同図■）
。
次に同様にしてこの防染膜５の上に感光膜を塗布し、乾
燥、パターン露光、現像を経てパターンを形成し、今度
はこのパターンを例えば緑色染料で染色して、同図「）
の如く、第２色目の緑色フィルタ層６を形成し、全面に
防染膜７を塗布する。
燥、パターン露光、現像を経てパターンを形成し、今度
はこのパターンを例えば緑色染料で染色して、同図「）
の如く、第２色目の緑色フィルタ層６を形成し、全面に
防染膜７を塗布する。
次に再び同様にして、防染膜７上に感光膜のパターンを
形成した後、今度はこのパターンを例えば青色染料で染
色して、第３色目の青色フィルタ層８を形成し、最後に
全表面上知表面保護膜９を被着して基板１上に形成され
たカラーフィルタを得る（同図（Ｇ））。
形成した後、今度はこのパターンを例えば青色染料で染
色して、第３色目の青色フィルタ層８を形成し、最後に
全表面上知表面保護膜９を被着して基板１上に形成され
たカラーフィルタを得る（同図（Ｇ））。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このようなカラーフィルタにおいては、色分解フィルタ
層の材料としてネガ型の感光膜を用いるため、これを所
望のマスクで露光し現像すると、パターンの横方向の拡
がシのため、マスクの設計・ 寸法よりも大きくなると
いう傾向がある。従って、パターンの微細化が進むにつ
れてこの横方向の拡がりという現象が無視できなぐな）
、それが原因でカラーフィルタに色のにじみや混色が生
じるという問題が起こってくる。
層の材料としてネガ型の感光膜を用いるため、これを所
望のマスクで露光し現像すると、パターンの横方向の拡
がシのため、マスクの設計・ 寸法よりも大きくなると
いう傾向がある。従って、パターンの微細化が進むにつ
れてこの横方向の拡がりという現象が無視できなぐな）
、それが原因でカラーフィルタに色のにじみや混色が生
じるという問題が起こってくる。
例えば、第３図に示すように色分解フィルタ層を光の透
過する領域１０が矩形状であるパターンのマスク（同図
（Ａ））でパターニングする際、微細なパターンであれ
ば最隣接フィルタ層との間隔が非常に短かくなシ、同図
（Ｂ）の如く該色分解フィルタ層（１）が本来存在すべ
きでないという領域１２にまで達してしまい、色のにじ
みや混色が起きることになる。
過する領域１０が矩形状であるパターンのマスク（同図
（Ａ））でパターニングする際、微細なパターンであれ
ば最隣接フィルタ層との間隔が非常に短かくなシ、同図
（Ｂ）の如く該色分解フィルタ層（１）が本来存在すべ
きでないという領域１２にまで達してしまい、色のにじ
みや混色が起きることになる。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は、以上述べた従来のカラーフィルタの問題点に
鑑みてなされたもので、前記色分解フィルタ層の加工に
おいて、にじみが生じ易い隣接する色分解フィルタ層と
の間隔が狭くなっている部分に対して、各色分解フィル
タ層の形状を、例えば各フィルタの角、あるいは必要に
応じて各フィルタの四隅の角を斜め方向に除去し、間隔
を広げて他の色分割フィルタ層への影響を軽減してなる
カラーフィルタを提供するものである。
鑑みてなされたもので、前記色分解フィルタ層の加工に
おいて、にじみが生じ易い隣接する色分解フィルタ層と
の間隔が狭くなっている部分に対して、各色分解フィル
タ層の形状を、例えば各フィルタの角、あるいは必要に
応じて各フィルタの四隅の角を斜め方向に除去し、間隔
を広げて他の色分割フィルタ層への影響を軽減してなる
カラーフィルタを提供するものである。
〈実施例〉
第１図に示すように、透明なガラス基板や固体撮像素子
等の基板１３の上にネガ型の感光性を有する被染色性材
料、例えば重クロム酸アンモニウムを感光剤として添加
したゼラチンを用いて色分解フィルタ層１４を形成する
際、このゼラチンをパターニングするのに、光を透過す
る領域１５の。
等の基板１３の上にネガ型の感光性を有する被染色性材
料、例えば重クロム酸アンモニウムを感光剤として添加
したゼラチンを用いて色分解フィルタ層１４を形成する
際、このゼラチンをパターニングするのに、光を透過す
る領域１５の。
四隅の角が斜め方向に除去された、即ち色分解フィルタ
層間の特に角での間隔を大きくしたパターンのマスク（
同図囚）でパターニングすることによって、四隅の角が
斜め方向に除去されたパターンが形成され、本来数色分
解フィルタ層１４が存在すべきでないという領域１６ま
でには拡がらない（同図（Ｂ） ）ｏこのパターンを例
えば緑色（Ｇ）で染色した後、中間膜を全面に塗布する
。引き続いて同様に、各フィルタ層の四隅の角を斜め方
向知除去した所要のパターンを用いて赤色■フィルタ層
と青色０３）フィルタ層を順時形成することによって、
色のにじみや混色のないカラーフィルタが完成する（同
図（Ｃ））。
層間の特に角での間隔を大きくしたパターンのマスク（
同図囚）でパターニングすることによって、四隅の角が
斜め方向に除去されたパターンが形成され、本来数色分
解フィルタ層１４が存在すべきでないという領域１６ま
でには拡がらない（同図（Ｂ） ）ｏこのパターンを例
えば緑色（Ｇ）で染色した後、中間膜を全面に塗布する
。引き続いて同様に、各フィルタ層の四隅の角を斜め方
向知除去した所要のパターンを用いて赤色■フィルタ層
と青色０３）フィルタ層を順時形成することによって、
色のにじみや混色のないカラーフィルタが完成する（同
図（Ｃ））。
上記実施例は、色分解フィルタ層としてゼラチンを用い
た場合を説明しているが、その他ポリビニルアルコール
やアクリル樹脂等の合成高分子材料或いは上記ゼラチン
の他力ゼイン等の天然高分子材料を用いて作製すること
もできる。
た場合を説明しているが、その他ポリビニルアルコール
やアクリル樹脂等の合成高分子材料或いは上記ゼラチン
の他力ゼイン等の天然高分子材料を用いて作製すること
もできる。
また有機フィルタ定限らず、無機材料で色要素受容層を
形成した無機フィルタにおいても本発明を適用すること
ができる。
形成した無機フィルタにおいても本発明を適用すること
ができる。
〈発明の効果〉
以上述べたようだい本発明では色分解フィルタ層を形成
する際、該色分解フィルタ層の対角線方向に最隣接する
各フィルタの角あるいは必要に応じて各フィルタの四隅
の角を斜め方向に除去して間隔を広げることによって、
色のにじみや混色のないカラーフィルタが形成できる。
する際、該色分解フィルタ層の対角線方向に最隣接する
各フィルタの角あるいは必要に応じて各フィルタの四隅
の角を斜め方向に除去して間隔を広げることによって、
色のにじみや混色のないカラーフィルタが形成できる。
第１回国および（Ｂ）は、本発明によるカラーフィルタ
における色分解フィルタ層のパターニング用のマスク、
該色分解フィルタ層のパターニング後の形状の一例を示
す図、及び（Ｃ）はカラーフィルタの一例を示す図、第
２図囚〜（Ｇ）は、従来のカラーフィルタの製造方法を
説明するための断面図、第３回国および（Ｂ）は、従来
のカラーフィルタにおけする色分解フィルタ層のパター
ニング用のマスクおよび該色分解フィルタ層のパターニ
ング後の形状を示す図である。 １．１３：基板、 ２：感光膜、 ４，６゜ｓ、（
１）．１４：色分解フィルタ層、 ５，７：防染膜、
９：保護膜、 １０，１５：光の透過する領域
、 １２，１６：色分解フィルタ層（１）あるいは
１４が存在すべきでない領域。 代理人 弁理士 杉 山 設 至（他１名）（Ａ）
（Ｅｌ）第３図 （Ｃ）
における色分解フィルタ層のパターニング用のマスク、
該色分解フィルタ層のパターニング後の形状の一例を示
す図、及び（Ｃ）はカラーフィルタの一例を示す図、第
２図囚〜（Ｇ）は、従来のカラーフィルタの製造方法を
説明するための断面図、第３回国および（Ｂ）は、従来
のカラーフィルタにおけする色分解フィルタ層のパター
ニング用のマスクおよび該色分解フィルタ層のパターニ
ング後の形状を示す図である。 １．１３：基板、 ２：感光膜、 ４，６゜ｓ、（
１）．１４：色分解フィルタ層、 ５，７：防染膜、
９：保護膜、 １０，１５：光の透過する領域
、 １２，１６：色分解フィルタ層（１）あるいは
１４が存在すべきでない領域。 代理人 弁理士 杉 山 設 至（他１名）（Ａ）
（Ｅｌ）第３図 （Ｃ）
Claims (6)
- （１）基板上に、所望の形状の少なくとも１層以上の色
分解フィルタ層が形成されてなるカラーフィルタにおい
て、 色分解フィルタ層の対角線方向に最隣接する各フィルタ
の角を除去して鈍角に形成してなることを特徴とするカ
ラーフィルタ。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記色分解フィ
ルタ層の各フィルタの四隅の角を除去してなることを特
徴とするカラーフィルタ。 - （３）特許請求の範囲第１項又は第２項において、前記
色分解フィルタ層は、ポリビニルアルコールやアクリル
樹脂等の合成高分子材料あるいはカゼインやゼラチン等
の天然高分子材料を含んでなることを特徴とするカラー
フィルタ。 - （４）特許請求の範囲第１項又は第２項において、前記
色分解フィルタ層は、金属酸化物や金属弗化物等の無機
材料からなることを特徴とするカラーフィルタ。 - （５）特許請求の範囲第１項又は第２項において、前記
色分解フィルタ層に付与する色は光の３原色あるいは補
色系であることを特徴とするカラーフィルタ。 - （６）特許請求の範囲第１項において、前記基板はガラ
ス等の光学的に透明な基板あるいは固体撮像素子である
ことを特徴とするカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102992A JPS62257104A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | カラ−フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102992A JPS62257104A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | カラ−フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62257104A true JPS62257104A (ja) | 1987-11-09 |
Family
ID=14342191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61102992A Pending JPS62257104A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | カラ−フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62257104A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01200303A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Matsushita Electron Corp | カラーフィルタ |
| JPH02244101A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-04-30 JP JP61102992A patent/JPS62257104A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01200303A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Matsushita Electron Corp | カラーフィルタ |
| JPH02244101A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
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