JPS622681B2 - - Google Patents
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- JPS622681B2 JPS622681B2 JP55089018A JP8901880A JPS622681B2 JP S622681 B2 JPS622681 B2 JP S622681B2 JP 55089018 A JP55089018 A JP 55089018A JP 8901880 A JP8901880 A JP 8901880A JP S622681 B2 JPS622681 B2 JP S622681B2
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- Japan
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- humidity
- electrical resistance
- sensitive resistor
- resistor
- alkoxide
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- Expired
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
本発明は感湿抵抗素子に用いる感度の優れた抵
抗体の製造法に関するものである。 従来よりAl2O3粉末の成形体の電気抵抗が湿度
に依存することから、粒径１〜５μの高純度の
A12O3粉末に水を加えて攪拌し、泥漿にし、平衡
電極のついたガラス板等の絶縁基板の表面に薄く
塗付し自然乾燥した後、100℃で乾燥して酸化物
の薄膜を造つた湿度センサーが知られていた。又
これを更に改良して、粒径１〜５μのAl2O3粉末
60〜90重量％を遷移金属元素を含むガラス40〜10
重量％との混合物をプレス成形し、焼成したもの
が特公昭53―10677号に述べられている。併し前
者は機械強度が小さく、感湿抵抗体が剥れ易く50
％の相対湿度（以下「RH」と略す）で104MΩcm
と電気抵抗が高く、低湿度では測定不可能であつ
た。又後者も結合剤としてガラス分が入つている
ため、90％RHというような高湿度側でも５×105
Ωcmと電気抵抗が高く、又実用的な機械強度を有
する抵抗体としては、ガラス分を多く加えなけれ
ばならず、必然的に湿度による抵抗率の変化が小
さいものとなり、且つ応答性も遅いものとならざ
るを得ず、更に高湿から低湿にした時ヒステリシ
スが残るという難点があつた。 本発明はこれらを改善するためになされたもの
で、Alアルコキシドを加水分解して得られたア
ルミナ水和物微粉末を成形し、550〜1300℃で焼
成することを特微とする感湿抵抗体の製造法を提
供するものであるため、結合剤を用いず又結晶成
長が進行する前に焼成を終つているため微結晶で
気孔率30〜40％でAl2O3のみより構成されている
ため高感度で低抵抗である。 こゝで原料にAlアルコキシドを用いるのは加
水分解すると極めて高純度で、約100A゜の粒径
をもつた均一な超微粒子が得られ、比表面積が大
で活性が高く、550〜1300℃というような比較的
低温で焼結できるためである。又焼成温度により
中間アルミナ変態がγ―型，θ―型，δ―型等と
多種類利用できるので、従来のα―型のみの抵抗
体に比べ、利用範囲の広いものとなる。焼成温度
を550〜1300℃と限定した理由は550℃以下では焼
結が起らず余りにも強度が低く不安定であり、
1300℃以上では結晶の大きなα―型焼結体となり
湿度変化に対して鈍感となるためである。以下実
施例により一そう具体的に説明する。 実施例 １ トリイソプロオキシアルミニウム〔分子式Al
（IsoOC3H7）3〕をエタノールに溶解し、60℃以上
に加熱した溶液にAl（IsoOC3H7）3に対し等モル
以上の純水を加え撹拌しながら１時間加水分解反
応を行なつて反応を完了させる。次に反応を終え
た酸化物微粉末を分離し乾燥すると粒径は約
100A゜で均一であり、比表面積300m2／ｇとな
る。この微粉末をプレス成形し、第１表に示す温
度で２時間焼成した。
抗体の製造法に関するものである。 従来よりAl2O3粉末の成形体の電気抵抗が湿度
に依存することから、粒径１〜５μの高純度の
A12O3粉末に水を加えて攪拌し、泥漿にし、平衡
電極のついたガラス板等の絶縁基板の表面に薄く
塗付し自然乾燥した後、100℃で乾燥して酸化物
の薄膜を造つた湿度センサーが知られていた。又
これを更に改良して、粒径１〜５μのAl2O3粉末
60〜90重量％を遷移金属元素を含むガラス40〜10
重量％との混合物をプレス成形し、焼成したもの
が特公昭53―10677号に述べられている。併し前
者は機械強度が小さく、感湿抵抗体が剥れ易く50
％の相対湿度（以下「RH」と略す）で104MΩcm
と電気抵抗が高く、低湿度では測定不可能であつ
た。又後者も結合剤としてガラス分が入つている
ため、90％RHというような高湿度側でも５×105
Ωcmと電気抵抗が高く、又実用的な機械強度を有
する抵抗体としては、ガラス分を多く加えなけれ
ばならず、必然的に湿度による抵抗率の変化が小
さいものとなり、且つ応答性も遅いものとならざ
るを得ず、更に高湿から低湿にした時ヒステリシ
スが残るという難点があつた。 本発明はこれらを改善するためになされたもの
で、Alアルコキシドを加水分解して得られたア
ルミナ水和物微粉末を成形し、550〜1300℃で焼
成することを特微とする感湿抵抗体の製造法を提
供するものであるため、結合剤を用いず又結晶成
長が進行する前に焼成を終つているため微結晶で
気孔率30〜40％でAl2O3のみより構成されている
ため高感度で低抵抗である。 こゝで原料にAlアルコキシドを用いるのは加
水分解すると極めて高純度で、約100A゜の粒径
をもつた均一な超微粒子が得られ、比表面積が大
で活性が高く、550〜1300℃というような比較的
低温で焼結できるためである。又焼成温度により
中間アルミナ変態がγ―型，θ―型，δ―型等と
多種類利用できるので、従来のα―型のみの抵抗
体に比べ、利用範囲の広いものとなる。焼成温度
を550〜1300℃と限定した理由は550℃以下では焼
結が起らず余りにも強度が低く不安定であり、
1300℃以上では結晶の大きなα―型焼結体となり
湿度変化に対して鈍感となるためである。以下実
施例により一そう具体的に説明する。 実施例 １ トリイソプロオキシアルミニウム〔分子式Al
（IsoOC3H7）3〕をエタノールに溶解し、60℃以上
に加熱した溶液にAl（IsoOC3H7）3に対し等モル
以上の純水を加え撹拌しながら１時間加水分解反
応を行なつて反応を完了させる。次に反応を終え
た酸化物微粉末を分離し乾燥すると粒径は約
100A゜で均一であり、比表面積300m2／ｇとな
る。この微粉末をプレス成形し、第１表に示す温
度で２時間焼成した。
【表】
この上下面に銀電極を焼付け、リード線を付け
て感湿素子とした。その側面図を第１図に示す。
図中１は感湿抵抗体、２は銀電極、３はリード線
である。上記各試験料の20℃における電気抵抗の
湿度特性は第２図の如くである。図中曲線は上か
ら順にNo.７，６，１，２，３，４，５を示す。尚
７はややヒステリシスが認められた。これから判
るように本発明による感湿抵抗体を用いた感湿素
子No.１〜６は広いRHの範囲において実用的で且
つ直線的な電気抵抗変化を示しヒステリシスも殆
どなかつた。併し本発明範囲外のNo.７は電気抵抗
も著しく高く湿度に対しても鈍感で感湿抵抗体と
して利用し難いものであつた。本発明品No.１〜６
は、更に均質な微粒子より成立つているため、各
素子のバラツキは大へん小さく再現性が高く、又
比表面積が大きいため大気中の有機物付着からく
る表面の汚れに対しても、従来品に比べ格段の安
定性を示す。これを第３図に示す、図中横軸は30
℃，RH70％の使用時間を示し破線は従来品の電
気抵抗、実線は本発明品の電気抵抗を示す。気温
30℃における応答性については第４図に示す如く
No.１〜６はほゞ同じであり30秒以内に安定した値
となつたがこれは均一な微粒子で且つ結合剤を含
まないためであると考えられる。図中破線は、
RH90％より50％に変化させた場合、実線はRH20
％より50％へと変化させた場合の指示相対湿度で
ある。尚本実施例では原料としてAl
（IsoOC3H7）3を用いたがトリメトキシアルミニウ
ムAl（OCH3）3、トリエトオキシアルミニウムAl
（OC2H5）3やトリｎブトオキシアルミニウムAl
（ｎ―OC4H9）3等アルミニウムアルコオキサイド
であれば当然使用可能である。
て感湿素子とした。その側面図を第１図に示す。
図中１は感湿抵抗体、２は銀電極、３はリード線
である。上記各試験料の20℃における電気抵抗の
湿度特性は第２図の如くである。図中曲線は上か
ら順にNo.７，６，１，２，３，４，５を示す。尚
７はややヒステリシスが認められた。これから判
るように本発明による感湿抵抗体を用いた感湿素
子No.１〜６は広いRHの範囲において実用的で且
つ直線的な電気抵抗変化を示しヒステリシスも殆
どなかつた。併し本発明範囲外のNo.７は電気抵抗
も著しく高く湿度に対しても鈍感で感湿抵抗体と
して利用し難いものであつた。本発明品No.１〜６
は、更に均質な微粒子より成立つているため、各
素子のバラツキは大へん小さく再現性が高く、又
比表面積が大きいため大気中の有機物付着からく
る表面の汚れに対しても、従来品に比べ格段の安
定性を示す。これを第３図に示す、図中横軸は30
℃，RH70％の使用時間を示し破線は従来品の電
気抵抗、実線は本発明品の電気抵抗を示す。気温
30℃における応答性については第４図に示す如く
No.１〜６はほゞ同じであり30秒以内に安定した値
となつたがこれは均一な微粒子で且つ結合剤を含
まないためであると考えられる。図中破線は、
RH90％より50％に変化させた場合、実線はRH20
％より50％へと変化させた場合の指示相対湿度で
ある。尚本実施例では原料としてAl
（IsoOC3H7）3を用いたがトリメトキシアルミニウ
ムAl（OCH3）3、トリエトオキシアルミニウムAl
（OC2H5）3やトリｎブトオキシアルミニウムAl
（ｎ―OC4H9）3等アルミニウムアルコオキサイド
であれば当然使用可能である。
第１図は本発明による感湿抵抗体を用いた感湿
抵抗素子の側面図、第２図は実施例の感湿抵抗体
のRHと電気抵抗値の関係を示すグラフ、第３図
は本発明品の使用時間中の指示抵抗値の変化を示
すグラフ、第４図は測定経過時間中の相対指示湿
度を示す。
抵抗素子の側面図、第２図は実施例の感湿抵抗体
のRHと電気抵抗値の関係を示すグラフ、第３図
は本発明品の使用時間中の指示抵抗値の変化を示
すグラフ、第４図は測定経過時間中の相対指示湿
度を示す。
Claims (1)
- １ Alアルコキシドを加水分解して得られたア
ルミナ水和物微粉末を成形し、550〜1300℃で焼
成することを特徴とする感湿抵抗体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8901880A JPS5713705A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method of producing moisture sensitive resistor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8901880A JPS5713705A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method of producing moisture sensitive resistor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5713705A JPS5713705A (en) | 1982-01-23 |
| JPS622681B2 true JPS622681B2 (ja) | 1987-01-21 |
Family
ID=13959160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8901880A Granted JPS5713705A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Method of producing moisture sensitive resistor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5713705A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58177448U (ja) * | 1982-05-20 | 1983-11-28 | 日本フエラス工業株式会社 | 伸縮自在な支柱 |
| JPS59147402A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-23 | 住友セメント株式会社 | 感湿素子及びその製法 |
| JPS61122372A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-10 | 東線鋼建株式会社 | コンクリ−ト打継工法 |
| JP2527456B2 (ja) * | 1988-02-25 | 1996-08-21 | 松下電器産業株式会社 | 湿度センサ |
-
1980
- 1980-06-30 JP JP8901880A patent/JPS5713705A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5713705A (en) | 1982-01-23 |
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