JPS6226833A - ダイボンデング装置 - Google Patents
ダイボンデング装置Info
- Publication number
- JPS6226833A JPS6226833A JP60166505A JP16650585A JPS6226833A JP S6226833 A JPS6226833 A JP S6226833A JP 60166505 A JP60166505 A JP 60166505A JP 16650585 A JP16650585 A JP 16650585A JP S6226833 A JPS6226833 A JP S6226833A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- pellets
- transfer
- arresters
- lead frame
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/736—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は位置合せ個ｆｒ？減らした高速処理、可能な
ダイボンデング装置に関するものである。
ダイボンデング装置に関するものである。
第２図は従来のダイボンデング装置を示す概略図であり
、（１）Ｐ′ｉ図Ｋｉｄ示さ八ていないが装置本体に固
定された装填部、（２〕は装填部（１）の一部であるシ
ート固定治具、（３） ＃ｉ粘着剤が塗布さｒＬ念プラ
スチックフィルムからなるシート、 （４）は集積回路
等のペレット、（５）はリードフレーム、（５ａ）はリ
ードフレーム（５）のペレット（４）を固定するダイ部
分、（６）はペレット（４）を一時保持するための捕捉
器であって、ここでは吸着針、 （６ａ）は吸着針（
６）のペレット（４ント吸着するための吸引穴、（６ｂ
）はｒｌに、ｆｅ（６）ノペレット（４）を装着する装
着個所、（Ａ）は吸着針（６）が装填部（１）上の複数
のペレット（４）の１つを捕捉するための動きを示す矢
印、（Ｂ）は吸着針（６）がすでに捕捉したペレット（
４） １にリードフレーム（５）のダイ部か上に移送す
る動きを示す矢印である。第３図は複数のペレットを装
填した装填部（１） Ｔｈ示す斜視図、第４図はペレッ
ト（４）をダイ部分（５ａ） Ｋ収りつけたり一ド７レ
ーム（５）の斜視図である。
、（１）Ｐ′ｉ図Ｋｉｄ示さ八ていないが装置本体に固
定された装填部、（２〕は装填部（１）の一部であるシ
ート固定治具、（３） ＃ｉ粘着剤が塗布さｒＬ念プラ
スチックフィルムからなるシート、 （４）は集積回路
等のペレット、（５）はリードフレーム、（５ａ）はリ
ードフレーム（５）のペレット（４）を固定するダイ部
分、（６）はペレット（４）を一時保持するための捕捉
器であって、ここでは吸着針、 （６ａ）は吸着針（
６）のペレット（４ント吸着するための吸引穴、（６ｂ
）はｒｌに、ｆｅ（６）ノペレット（４）を装着する装
着個所、（Ａ）は吸着針（６）が装填部（１）上の複数
のペレット（４）の１つを捕捉するための動きを示す矢
印、（Ｂ）は吸着針（６）がすでに捕捉したペレット（
４） １にリードフレーム（５）のダイ部か上に移送す
る動きを示す矢印である。第３図は複数のペレットを装
填した装填部（１） Ｔｈ示す斜視図、第４図はペレッ
ト（４）をダイ部分（５ａ） Ｋ収りつけたり一ド７レ
ーム（５）の斜視図である。
従来のダイボンデング装置ｆは上記のように構成され、
３次元的に自在に移動できる吸着針（６）が、図に示さ
れないパターン認識装置によって装填部（１）上のペレ
ット（４ンの１′）とその位置？確認して矢印（Ａ）の
如き動きをして吸着し矢印（Ａ）を逆にたどって元にも
どシ矢印ＣＢ）をたどりリードフレーム（５）のダイ部
分（５ａ）にペレット（４）を移し、矢印φ）を逆にた
どり元に復す。ペレット（４）収り付は後リードフレー
ム（５）は紙面に垂直な方向に移動させ、兜のダイ部分
（５ａ）が来るようにする。これをくり返すことにより
従来のダイボンデングが行われていた。
３次元的に自在に移動できる吸着針（６）が、図に示さ
れないパターン認識装置によって装填部（１）上のペレ
ット（４ンの１′）とその位置？確認して矢印（Ａ）の
如き動きをして吸着し矢印（Ａ）を逆にたどって元にも
どシ矢印ＣＢ）をたどりリードフレーム（５）のダイ部
分（５ａ）にペレット（４）を移し、矢印φ）を逆にた
どり元に復す。ペレット（４）収り付は後リードフレー
ム（５）は紙面に垂直な方向に移動させ、兜のダイ部分
（５ａ）が来るようにする。これをくり返すことにより
従来のダイボンデングが行われていた。
〔発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のダイボンデング装置ではり一ド７レ
ーム（５）のダイ部０ （５ａ）が定まつ之位置に来る
のに装填ｅ （１）上のペレット（４）の位置が不億定
であるため、吸着針（６）はパターン認識系からの信号
を得る電子−＠系により制御される移動の方向が自在の
機械系で駆動する必要があり、高速＃作が不可能と云っ
た問題点があり念。
ーム（５）のダイ部０ （５ａ）が定まつ之位置に来る
のに装填ｅ （１）上のペレット（４）の位置が不億定
であるため、吸着針（６）はパターン認識系からの信号
を得る電子−＠系により制御される移動の方向が自在の
機械系で駆動する必要があり、高速＃作が不可能と云っ
た問題点があり念。
この発明はかかる問題点を解決する乏めになされ之もの
で、自在に動く部分を限定することにより、より高速処
理可能なダイボンデング装置を得ることを目的としてい
る。
で、自在に動く部分を限定することにより、より高速処
理可能なダイボンデング装置を得ることを目的としてい
る。
この発明に係るダイボンデング装置は移送部が捕捉器に
、受け収り位置と移しかえ位置の２定位置間で循環させ
るといった拘束運動をさせ、捕捉器が受け収りの位置で
ベレソＨ−受け収り移しかえ位置でこのペレットをパッ
ケージ用部材のダイ部分に移しかえ固着させるようにし
たものである。
、受け収り位置と移しかえ位置の２定位置間で循環させ
るといった拘束運動をさせ、捕捉器が受け収りの位置で
ベレソＨ−受け収り移しかえ位置でこのペレットをパッ
ケージ用部材のダイ部分に移しかえ固着させるようにし
たものである。
［手段］
この発明においては、移送部が、捕捉器に支は敢９位置
と移しかえ位置の２定位置間を循ｉさせるといつ之拘束
運動をさせるのでこの面位置間のペレットの移動速度を
大にする。
と移しかえ位置の２定位置間を循ｉさせるといつ之拘束
運動をさせるのでこの面位置間のペレットの移動速度を
大にする。
第１図はこの発明の一実施例と示す概略図であり（７）
はこの実施例では６コの捕捉器（６）が収り付けられた
移送部、（８） ｒｉ移送部（７）の紙面に圭直な装置
本体に固定された回転軸中心、（９）は移送部（７）が
捕捉器（６ンを移送する循ｍａ道、（１０） ｒｉ循Ｊ
ｊｔ 杭ｊｆｆｉ 上ノ捕捉器（６）の移しかえ位置、
（１１）は空の捕捉器（６）の１つの受け取り位置、（
１２）はパッケージ用部材であるリードフレーム（５）
を転送する搬送部、（１３）は搬送部（１２）によりリ
ードフレーム（５）が伝送される時のリードフレーム（
５）のダイ部分（５ａ）の描く開いた軌道、（１４）は
開いた軌道上のり一ド７レーム（５）のダイ部分（５ａ
）の停止位置、（１５）はこの実施例で装填部（１）Ｋ
よる紙面横方向垂直方向の平面内で位置合せした後のペ
レット（４）の停止位置、（１６） Ｆｉ位置（１５）
にあるペレット（４）を位置（１１）の捕捉器（６）の
装着個所（６ｂ）に収りつけるための突き出し針、であ
る。第１図（ａ）は装填部（１）から移送部（７）へ、
また、移送部（７）からリードフレーム（５）へいずれ
もペレット（４）が移る前の状態を第１図（ｂ）はそれ
ぞれ突き出し欅（１６）が徴面ド方に搬送部（１２）が
上方に移動してペレット（４）がいずれも移しかえられ
る瞬間を示している。向上記以外の符号は第２図の従来
のものと同じか相当部分であるが、装填部（１）は従来
の固定されていたものを裏返しの位置にするとともに図
に示されていないパターン認識系、制御系機械系により
、どのペレット（４）も自在に所定のこの実施例では位
置（１５）に位置合せできるようになっている。また、
搬送部（１２）は単にリードフレーム（５）を転送する
だけでなくこの実施例では紙面に上方への移動が停止時
に出来るようになっていて、停止位１１１１ （１４）
にあるダイ部分（５ａ）が移動して移しかえ位置（１０
）にあるペレット（４）を受け収ることが出来るように
なっている。
はこの実施例では６コの捕捉器（６）が収り付けられた
移送部、（８） ｒｉ移送部（７）の紙面に圭直な装置
本体に固定された回転軸中心、（９）は移送部（７）が
捕捉器（６ンを移送する循ｍａ道、（１０） ｒｉ循Ｊ
ｊｔ 杭ｊｆｆｉ 上ノ捕捉器（６）の移しかえ位置、
（１１）は空の捕捉器（６）の１つの受け取り位置、（
１２）はパッケージ用部材であるリードフレーム（５）
を転送する搬送部、（１３）は搬送部（１２）によりリ
ードフレーム（５）が伝送される時のリードフレーム（
５）のダイ部分（５ａ）の描く開いた軌道、（１４）は
開いた軌道上のり一ド７レーム（５）のダイ部分（５ａ
）の停止位置、（１５）はこの実施例で装填部（１）Ｋ
よる紙面横方向垂直方向の平面内で位置合せした後のペ
レット（４）の停止位置、（１６） Ｆｉ位置（１５）
にあるペレット（４）を位置（１１）の捕捉器（６）の
装着個所（６ｂ）に収りつけるための突き出し針、であ
る。第１図（ａ）は装填部（１）から移送部（７）へ、
また、移送部（７）からリードフレーム（５）へいずれ
もペレット（４）が移る前の状態を第１図（ｂ）はそれ
ぞれ突き出し欅（１６）が徴面ド方に搬送部（１２）が
上方に移動してペレット（４）がいずれも移しかえられ
る瞬間を示している。向上記以外の符号は第２図の従来
のものと同じか相当部分であるが、装填部（１）は従来
の固定されていたものを裏返しの位置にするとともに図
に示されていないパターン認識系、制御系機械系により
、どのペレット（４）も自在に所定のこの実施例では位
置（１５）に位置合せできるようになっている。また、
搬送部（１２）は単にリードフレーム（５）を転送する
だけでなくこの実施例では紙面に上方への移動が停止時
に出来るようになっていて、停止位１１１１ （１４）
にあるダイ部分（５ａ）が移動して移しかえ位置（１０
）にあるペレット（４）を受け収ることが出来るように
なっている。
この実施例の装置Ｉは上記のようにｉｆＲしたのでベレ
ン） （４） ｒｉ一度に多敗装頂部（１ンにダイボン
デングの開始前に装填され、リードフレーム（５）は搬
送部（１２）に開いた軌道の一方からボンデング処理中
に供給され、他方からペレット（４）を取り付は次リー
ドフレーム（５）が取り出さ九る。ペレット（４）の動
きを追って説明するとまずパターン認識系、制御系、機
械系によって装填部（１）のペレット（４）の１つが選
び出さバ、第１図（ａ）の位置（１５）に位置合せされ
次に突き出し吐那〕により空の捕捉器（６）の１つの装
着個所の来る受け収り位置（１１）に送られ、この捕捉
器（６）に吸着され移送５（７）が軸（８）の回りに１
８０゜回転することにより移しかえ位１１ （１０）に
移動させる。搬送部（１２）が紙面上方へ移動すること
によりリードフレーム（５）のダイ部分（５ａ）に取り
付は搬送部（１２）が紙面下方に移動後回いた軌道（１
３）に沿ってリードフレーム（５）と共に転送され外部
に収り出びれる。
ン） （４） ｒｉ一度に多敗装頂部（１ンにダイボン
デングの開始前に装填され、リードフレーム（５）は搬
送部（１２）に開いた軌道の一方からボンデング処理中
に供給され、他方からペレット（４）を取り付は次リー
ドフレーム（５）が取り出さ九る。ペレット（４）の動
きを追って説明するとまずパターン認識系、制御系、機
械系によって装填部（１）のペレット（４）の１つが選
び出さバ、第１図（ａ）の位置（１５）に位置合せされ
次に突き出し吐那〕により空の捕捉器（６）の１つの装
着個所の来る受け収り位置（１１）に送られ、この捕捉
器（６）に吸着され移送５（７）が軸（８）の回りに１
８０゜回転することにより移しかえ位１１ （１０）に
移動させる。搬送部（１２）が紙面上方へ移動すること
によりリードフレーム（５）のダイ部分（５ａ）に取り
付は搬送部（１２）が紙面下方に移動後回いた軌道（１
３）に沿ってリードフレーム（５）と共に転送され外部
に収り出びれる。
以上の説（７）からこの実施例では、パターン認識によ
る位置合せが装填部（１）上のペレソ） （４） Ｋつ
いてのみ行われ他は拘束された運動に変えられるため位
置合せの必要がなくより高速の送りが可能で前述の問題
点が解決されることは明白である。
る位置合せが装填部（１）上のペレソ） （４） Ｋつ
いてのみ行われ他は拘束された運動に変えられるため位
置合せの必要がなくより高速の送りが可能で前述の問題
点が解決されることは明白である。
なお、上記実施例では捕捉器（６）が受け収り位置（１
１）と移しかえ位１１（１υ）それぞれに各１つ同時に
来る特別な場合であったが最も一般化した場合であって
１つ以上の捕捉器（６）ｋ用いて、ペレット（４）の交
は取りと移しかえの時期が必ずしも一致しない場合であ
ってもよい。
１）と移しかえ位１１（１υ）それぞれに各１つ同時に
来る特別な場合であったが最も一般化した場合であって
１つ以上の捕捉器（６）ｋ用いて、ペレット（４）の交
は取りと移しかえの時期が必ずしも一致しない場合であ
ってもよい。
これに対して、上記実施例と含む２つ以上捕捉器（６）
ト用い、一時に受け収りと移しかえを行うようにすると
、受け収りと移しかえのための停止時間を共有するため
能率が上る別の効果が有り１、主たる効果である処理速
度を向上させる度合とさらに高める。
ト用い、一時に受け収りと移しかえを行うようにすると
、受け収りと移しかえのための停止時間を共有するため
能率が上る別の効果が有り１、主たる効果である処理速
度を向上させる度合とさらに高める。
ま之上記実施例では、捕捉器（６）は移送部（７）によ
って円軌道の如き、循環軌道（９）に沿って動く場合に
ついて述べたが、例えはグーリーによって駆納されるベ
ルト上に捕捉器（６）が固定され、受け収り位ｉｌｌ
（１１）と移しかえ位Ｗｔ（１０）の間と循壊しこの２
定位置以外は必ずしも決った位置を通らない拘束運動を
する場合であってもよい。
って円軌道の如き、循環軌道（９）に沿って動く場合に
ついて述べたが、例えはグーリーによって駆納されるベ
ルト上に捕捉器（６）が固定され、受け収り位ｉｌｌ
（１１）と移しかえ位Ｗｔ（１０）の間と循壊しこの２
定位置以外は必ずしも決った位置を通らない拘束運動を
する場合であってもよい。
ま之、上記実施例では、パンケージ部材（５）のダイ部
分（５ａ）は移しかえ位置（１０〕近傍の位置（１４）
に一旦停止させてから移しかえ位置（１０）に移動させ
る場合について述べたが、例えば軌道（９）が実施例の
ような円軌道でなく、大円に円接し伝動する小円上の一
点が描く軌跡の如くＫするとダイｆ！Ａ分（５ａ）を最
初から移しかえ位１１！ （１０）に持ってくることも
できる。
分（５ａ）は移しかえ位置（１０〕近傍の位置（１４）
に一旦停止させてから移しかえ位置（１０）に移動させ
る場合について述べたが、例えば軌道（９）が実施例の
ような円軌道でなく、大円に円接し伝動する小円上の一
点が描く軌跡の如くＫするとダイｆ！Ａ分（５ａ）を最
初から移しかえ位１１！ （１０）に持ってくることも
できる。
また上記実施例では突き出し針（１６）でペレット（４
）を移動させる場合について述べたがシート（３）の裏
側を補強して装填部（１）全体を３次元ｙに自在に移動
させ、ペレット（４）を受け収り位Ｉｌｌ （１１）に
誘導するようにしてもよい。
）を移動させる場合について述べたがシート（３）の裏
側を補強して装填部（１）全体を３次元ｙに自在に移動
させ、ペレット（４）を受け収り位Ｉｌｌ （１１）に
誘導するようにしてもよい。
また上記実ｉ例では受け収り位置（１１）移しかえ位置
（１０）でのペレット（４）の移動はいずれも捕捉器（
６）は不動でそれぞれ装填部（１）側パッケージ用部材
（５）側と＄動させる場合について述べたが、逆に、捕
捉器（６）側を第１図紙面上ドに移動するようにしても
よくあるいは両者とも移動するようにしてもよい０ また上記実施例では、装着個所（６ｂ）の而の法線は軌
道（９）の半径方向となる特別な場合であったが、例え
ば回転軸（８）と平行な場合でもさらに一般化すると、
各捕捉器（６）の半径方向、回転軸方向、円周方向それ
ぞれに対する角度が同じであればよい。
（１０）でのペレット（４）の移動はいずれも捕捉器（
６）は不動でそれぞれ装填部（１）側パッケージ用部材
（５）側と＄動させる場合について述べたが、逆に、捕
捉器（６）側を第１図紙面上ドに移動するようにしても
よくあるいは両者とも移動するようにしてもよい０ また上記実施例では、装着個所（６ｂ）の而の法線は軌
道（９）の半径方向となる特別な場合であったが、例え
ば回転軸（８）と平行な場合でもさらに一般化すると、
各捕捉器（６）の半径方向、回転軸方向、円周方向それ
ぞれに対する角度が同じであればよい。
ま之、上記実施例では受け収り位［ＩＥ （１１）は回
転軸（８）に関して、移しかえ位置（１０）の反対側に
来る場合であったが池の窒の捕捉器（６）の位置として
もよいことなどは云うまでもない。
転軸（８）に関して、移しかえ位置（１０）の反対側に
来る場合であったが池の窒の捕捉器（６）の位置として
もよいことなどは云うまでもない。
この発明は以上説明したとおり移送部の捕捉器を定まっ
た軌道上を循環移動するものとすることにより、高速処
理が可能なダイボンデング装置が得られる効果がある。
た軌道上を循環移動するものとすることにより、高速処
理が可能なダイボンデング装置が得られる効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）はこの発明の一夫施例を示す概略
図、第２図は従来のダイボンデング装置を示す概略図、
第３図は従来の装置の装填部（１）と示す斜視図、第４
図は従来のり一ド７レーム（５）を示す斜視図である。 図において、（４）はベレツＩ−、（５）はパッケージ
用部材、（５ａ）ダイ部分、（６）は捕捉器、（６ｂ）
は装着個所、（力は移送部、（１０）は移しかえ位置、
（１１）は受け収り位置である。 なお各図中同一符号は同一ま念は相当部分を示す。
図、第２図は従来のダイボンデング装置を示す概略図、
第３図は従来の装置の装填部（１）と示す斜視図、第４
図は従来のり一ド７レーム（５）を示す斜視図である。 図において、（４）はベレツＩ−、（５）はパッケージ
用部材、（５ａ）ダイ部分、（６）は捕捉器、（６ｂ）
は装着個所、（力は移送部、（１０）は移しかえ位置、
（１１）は受け収り位置である。 なお各図中同一符号は同一ま念は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）捕捉器がペレットの受け取り位置とパッケージ用
部材のダイ部分に前記ペレットを固着させるための移し
かえ移置との２定位置間を循環運動をするようにした移
送部を 備えたことを特徴とするダイボンデング装置。 - （２）移送部は受け取り位置と移しかえ位置のそれぞれ
に同時に１つづつの捕捉器が来るように構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のダイボンデング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166505A JPS6226833A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | ダイボンデング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166505A JPS6226833A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | ダイボンデング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226833A true JPS6226833A (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=15832597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166505A Pending JPS6226833A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | ダイボンデング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226833A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2794443A1 (fr) * | 1999-06-02 | 2000-12-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede de transfert d'elements et dispositif permettant ledit transfert |
| US7028392B1 (en) | 1999-03-05 | 2006-04-18 | Siemens Dematic Ag | Device for fitting a substrate with a flip chip |
| JP2009516921A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-04-23 | チエツクポイント システムズ， インコーポレーテツド | 回転式のチップ取り付け |
| JP2009252890A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Murata Mfg Co Ltd | 部品供給装置 |
| JP2012186505A (ja) * | 2012-06-18 | 2012-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | 部品供給装置 |
| JP2019505453A (ja) * | 2015-10-16 | 2019-02-28 | ミュールバウアー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 構成部品操作装置 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP60166505A patent/JPS6226833A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7028392B1 (en) | 1999-03-05 | 2006-04-18 | Siemens Dematic Ag | Device for fitting a substrate with a flip chip |
| FR2794443A1 (fr) * | 1999-06-02 | 2000-12-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede de transfert d'elements et dispositif permettant ledit transfert |
| WO2000075968A1 (fr) * | 1999-06-02 | 2000-12-14 | Commissariat A L'energie Atomique | Procede de transfert d'elements et dispositif permettant ledit transfert |
| JP2009516921A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-04-23 | チエツクポイント システムズ， インコーポレーテツド | 回転式のチップ取り付け |
| JP2009252890A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Murata Mfg Co Ltd | 部品供給装置 |
| JP2012186505A (ja) * | 2012-06-18 | 2012-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | 部品供給装置 |
| JP2019505453A (ja) * | 2015-10-16 | 2019-02-28 | ミュールバウアー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 構成部品操作装置 |
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