JPS62271337A - 電子顕微鏡等の露出計 - Google Patents
電子顕微鏡等の露出計Info
- Publication number
- JPS62271337A JPS62271337A JP61112622A JP11262286A JPS62271337A JP S62271337 A JPS62271337 A JP S62271337A JP 61112622 A JP61112622 A JP 61112622A JP 11262286 A JP11262286 A JP 11262286A JP S62271337 A JPS62271337 A JP S62271337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- magnification
- control group
- cpu control
- meter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡の露出計に係り、低倍から高倍まで
常に一様な露出を得られるように構成せしめた電子顕微
鏡等の露出計に関する。
常に一様な露出を得られるように構成せしめた電子顕微
鏡等の露出計に関する。
従来の装置は線像を＆１２ｍする蛍光板に露出量検知器
を備えている。上記蛍光板は大きさが一定のため線像視
野が蛍光板一杯に広がっている時には露出計を動作させ
るための信号を十分に得ることが出きるが、低倍で視野
が蛍光板一杯に満たない時には十分な信号がとれず、露
出量を正確に計測できない。このためフィルムの露出ム
ラという問題がある。
を備えている。上記蛍光板は大きさが一定のため線像視
野が蛍光板一杯に広がっている時には露出計を動作させ
るための信号を十分に得ることが出きるが、低倍で視野
が蛍光板一杯に満たない時には十分な信号がとれず、露
出量を正確に計測できない。このためフィルムの露出ム
ラという問題がある。
実用新案出願公告昭４６−２４２８２があるが機措機能
そのものについては何も記されていない。
そのものについては何も記されていない。
従来技術は低倍から高倍まで常に一様な露出を得るとい
う点について配慮がされておらず、低倍で撮影したフィ
ルムに露出ムラが発生する問題があった。
う点について配慮がされておらず、低倍で撮影したフィ
ルムに露出ムラが発生する問題があった。
本発明の目的は露出量を検知する検知器を２個設け、低
倍と高倍でその検知器をＣＰＵ制御で使い分け、常にど
の倍率でも一定の露出で写真撮影することができるよう
にすることにある。
倍と高倍でその検知器をＣＰＵ制御で使い分け、常にど
の倍率でも一定の露出で写真撮影することができるよう
にすることにある。
上記目的は２個の露出量検知器を１倍率切換装置に連動
させＣＰＵ制御で使い分けすることにより達成される。
させＣＰＵ制御で使い分けすることにより達成される。
露出計（１）５はエアシリンダー４にて光軸への出入り
を制御される。その出入りの信号はＣＰＵ制御群１１の
ＭＡＧ、ＳＥＬ、（倍率切換）で設定された倍率に連動
してｌ１０−１からの信号によりスイッチＳＷＩ ｌ
２を動作させＡＩＲで駆動している。
を制御される。その出入りの信号はＣＰＵ制御群１１の
ＭＡＧ、ＳＥＬ、（倍率切換）で設定された倍率に連動
してｌ１０−１からの信号によりスイッチＳＷＩ ｌ
２を動作させＡＩＲで駆動している。
露出計（１）５が光軸に入る条件としては、ＣＰｔＪＰ
ｔ群１１のＭＡＧ、ＳＥＬ、で選択された低倍の時であ
る。そして電子線１の露出量を検知する。
ｔ群１１のＭＡＧ、ＳＥＬ、で選択された低倍の時であ
る。そして電子線１の露出量を検知する。
また反対にＭＡＧ、ＳＥＬ、で高倍と選択された時は上
記と逆の動作をし光軸から出るように駆動される。この
時は露出計（２）６にて露出量を検知する。
記と逆の動作をし光軸から出るように駆動される。この
時は露出計（２）６にて露出量を検知する。
このようにエアシリンダー４は低倍、高倍の倍率によっ
てＣＰＵ制御群１１の信号により、連動駆動する。
てＣＰＵ制御群１１の信号により、連動駆動する。
このため同時に２個の露出計が光軸に入ることはなく誤
動作することはない。
動作することはない。
ここでいう低倍、高倍とは設定によって使い分けるもの
とする。
とする。
本発明の一実施例を第１図により説明する。
全体構成を大きく分けると、鏡体系、ＣＰＵ制御群、そ
れにこのＣＰＵ制御群で連動する関連機能とになる。
れにこのＣＰＵ制御群で連動する関連機能とになる。
いま、ＣＰＵ制御群１１のＭＡＧ、ＳＥＬで高倍率が選
択されたとすると、ＬＥＮＳ Ｉｌｏにてレンズ群３の
レンズ電流を制御し設定倍率になるよう、試料２を透過
した電子線１を拡大し露出計（２）６に投射する。と同
時にＣｒ’ Ｕ制御群１１のｌ１０−１によりスイッチ
５Ｗ１１２．５Ｗ２１３．５ｗ３ｔ４がＨ側に切り変わ
る。すると露出計（１）５はエアシリンダー４にて光軸
から引き戻され、°電子線１は露出計（２）６に投射さ
れ、電子線量はＬＯＧ、ＡＭＰ−２１５によって演算さ
れ、スイッチ５Ｗ２１３、ＡＭＰＩ、２、それに５Ｗ３
１４を介しＣＰＵ制御群１１の工１０−２によりフィル
ム上適性露出になるよう制御される。
択されたとすると、ＬＥＮＳ Ｉｌｏにてレンズ群３の
レンズ電流を制御し設定倍率になるよう、試料２を透過
した電子線１を拡大し露出計（２）６に投射する。と同
時にＣｒ’ Ｕ制御群１１のｌ１０−１によりスイッチ
５Ｗ１１２．５Ｗ２１３．５ｗ３ｔ４がＨ側に切り変わ
る。すると露出計（１）５はエアシリンダー４にて光軸
から引き戻され、°電子線１は露出計（２）６に投射さ
れ、電子線量はＬＯＧ、ＡＭＰ−２１５によって演算さ
れ、スイッチ５Ｗ２１３、ＡＭＰＩ、２、それに５Ｗ３
１４を介しＣＰＵ制御群１１の工１０−２によりフィル
ム上適性露出になるよう制御される。
また、ＣＰＵ制御群１１のＭＡＧ、ＳＥＬで低倍率が選
択されたとすると、ｌ１０−１によりスイッチ５Ｗ１１
２，５Ｗ２１３，５Ｗ３１４が接点り側に切り変わる。
択されたとすると、ｌ１０−１によりスイッチ５Ｗ１１
２，５Ｗ２１３，５Ｗ３１４が接点り側に切り変わる。
するとエアシリンダー４が動作し、露出計（１）５が光
軸上に移動する。すなわちこの露出計（１）５にて低倍
の露出量を検知するわけである。と同時にＬ ＯＧ 、
Ａ Ｍ Ｐ−１１６により演算されＡＭＰＬ、２、ス
イッチ５Ｗ３１４を介し、ＣＰＵ制御群１１ 工１０−
２により選定した低倍で適性露出を得ることができる。
軸上に移動する。すなわちこの露出計（１）５にて低倍
の露出量を検知するわけである。と同時にＬ ＯＧ 、
Ａ Ｍ Ｐ−１１６により演算されＡＭＰＬ、２、ス
イッチ５Ｗ３１４を介し、ＣＰＵ制御群１１ 工１０−
２により選定した低倍で適性露出を得ることができる。
本実施例によれば低倍から高倍まで常に一定な露出で写
真撮影ができ露出ムラ等の写真撮影時の問題点がなくな
るという効果がある。
真撮影ができ露出ムラ等の写真撮影時の問題点がなくな
るという効果がある。
第１図に記しであるｍｉとは露出
計（１）５、露出計（２）６の別な方としたものである
。
。
本発明によれば低倍から高低、具体的には数十倍から数
十万倍まで常に一定の露出が得られるという効果がある
。
十万倍まで常に一定の露出が得られるという効果がある
。
またＣＰＵで自動制御するため電子顕微類のオペレータ
に露出を色々気を使わさずに済むので、新しい機能とし
てセールスポイントになる。
に露出を色々気を使わさずに済むので、新しい機能とし
てセールスポイントになる。
第１図は本発明の詳細な説明図である。
Claims (1)
- １、コンピュータ制御を有する電子顕微鏡で、かつ低倍
と高倍で露出を検知する複数個の検知器を光軸上に出し
入れ移動可能な機能を有する電子顕微鏡において、その
設定倍率に連動して自動的に前記の検知器を使い分けさ
せ、どの倍率でも常に一定の露出を得られるようにした
ことを特徴とした電子顕微鏡等の露出計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112622A JPS62271337A (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 | 電子顕微鏡等の露出計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112622A JPS62271337A (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 | 電子顕微鏡等の露出計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271337A true JPS62271337A (ja) | 1987-11-25 |
Family
ID=14591337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61112622A Pending JPS62271337A (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 | 電子顕微鏡等の露出計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62271337A (ja) |
-
1986
- 1986-05-19 JP JP61112622A patent/JPS62271337A/ja active Pending
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