JPS62272260A - 露光焼付枠装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は精密画像を露光する露光焼付装置における露光
焼付枠装置に関する。

〔従来の技術〕

産業上、工業用に用いられる画＠露光焼付装五の露光焼
付枠としては種々の方式のものが提供されているが、大
別すると第３図と第４図に代表される。以下代表的２例
について図面を参照して説明する。図において上枠１０
１と下枠１０２を第３図では蝶番１０８で、第４図では
ガイドポスト１１０とスラストブソシエ１１１とで開放
可能に構成している。露光焼付時において重要な要素は
上枠１０１に取付けた原稿画像１０３と被露光体１０４
との位置ズレを防止することにある。この対策として従
来より下枠１０２の底部より真空吸引を行い、被露光体
１０４を下枠１０２に吸着させたり、位置規制具１０７
で被露光体１０４を固定し、土手ゴム１０５で四辺を囲
んで真空吸引口１０６より排気することによりスペーサ
１０９で規制したＰｘの間隙の空間を真空状態にして露
光焼付する方法であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし上記従来の技術による露光焼付装置では、近年の
精密電子回路等での精度要求を満足させることには問題
があり、その解決が求められていた。

その１つとして繰り返し同一画像の露光焼付を行う作業
において、被露光体夫々に再現性を確保することが困難
なことである。上記の如く作業手順として上枠に原稿画
像を固着し、下枠の被露光体を一露光作業毎に交換する
。この時蝶番の支軸に生じている隙間や、ガイドボスト
とスラストブツシュ間にある摺動用の間隙等当然必要な
遊びではあるが、この可動部分により真空吸引時に微妙
な位置ズレを生じる。この位置ズレの為５ミクロン以内
を許容差とする精密な相対位置関係の安定した再現性が
要求される作業は不可能であった。一方上記の要求精度
を満足させる為に、露光境付装五に種々の冶具や位置ズ
レ検出手段等を付加することは、該露光焼付の作業性を
低下させ、且つ装置の構成を複雑にして操作性を煩雑に
すると共に装置のコストを上げることになる。

本発明は産業用・工業用に用いられる精密画像露光焼付
装置において、原稿画像と被露光体の位置ズレを防止し
、作業性において精密度の再現性に優れ、簡易な構成か
ら成る露光焼付枠を提供することを目的とする。

ｃ問題点を解決する為の手段〕 上記問題点を解決する為の手段は露光焼付枠装置の原稿
画像を取付ける上枠の下面周辺部に、曲面乃至傾斜面を
有する少なくとも３つの突出部を配設し、被露光体を取
付ける下枠上面には少なくとも一端を開口した中空部を
有する受台と、溝型の受台と、平面を有する受台を前記
突出部を各別に支持する位置に配設し、前記上枠と下枠
の相互位置関係の決定を前記突出部の前記受台による支
持により行なうことである。

〔作用〕

上記手段を用いることによって生じる作用を第１図の原
理図を用いて説明すると、被露光体４は下枠２の吸着台
座５に設けられた位置決めピン７によって吸着台座５上
に位置決めされ、原稿画像　　　３は上枠１に固定され
る。上記上枠１と下枠２の位置関係は、突出部（球面体
）８３′と中空部を有する受台（厚肉円Ｗ１）９ａ’突
出部（球面体）８ｂ’と溝型の受台（略Ｃ型ｍ）９ｂ’
の２点の決定により直線上の２点が決定し、突出部（球
面体）８Ｃ′と平面を有する受台９　ｃ　Ｌの決定によ
り上記３点によって定まる。この時、上枠に配置された
３点突出部３ａ’〜８ｃ′と対応する下枠の３点の受台
９ａ′〜９０′との操着位五を調整して固定することに
より、該原稿画像３と被露光材４の位置関係は精密に１
点で一致し、高精度な相互位置関係の繰り返し再現性が
得られる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図面を参照して詳縄に説明する。

第２図は本発明の一実施例を示す要部の斜視図である。

最初に構成を説明する。原ｆｇＩ画像はフィルム乃至ガ
ラス乾板（以下ガラスマスクと記す）３から成り該ガラ
スマスク３は露光焼付枠の上枠１に位置決め治具１３に
よって位置決めされ、固定用留め具１２によって所定位
置に固定される。上枠１の上面には他にビデオカメラ１
１が回転軸１１ａを中心として移動可能に配設されてい
る。上枠の下面には本発明による相互位置関係決定手段
である円錐台から成る突出部８ａ、８ｂと球面体からな
る突出部８ｃが設置されている。

該３点の突出部８ａ、８ｂ、８ｃの配設位置関係は８ａ
、８ｂの夫々の円錐台の中心から等距離に球面体８ｃが
配設される。即ち突出部８ａ、８ｂを底辺とし、突出部
８Ｃを頂点とする２等辺三角形状に３点の突出部が設け
られる。

他方下枠２には上枠１に配設された突出部８ａ〜８Ｃに
照合する位置に受台９ａ、９ｂ、９ｃを配設している。

円錐台の突出部８ａに対応して厚肉円筒の受台９ａを設
け、同じく円錐台の突出部８ｂに対応して略Ｃ型溝形状
の受台９ｂを設け、球面体の突出部８ｃに対応して円筒
の受台９ｃが設けられている。上枠１に固定されたガラ
スマスク３に対応して吸着台座５が設けられる。該吸着
台座５は３６％のニンケルを含むインハと称する合金の
漏から成り、硬度は極めて高いが温度膨張係数は上枠に
取付けたガラスマスク３の温度膨張係数と略等しくなっ
ている。吸着台座５には真空吸引用の細管が穿設され、
四隅には被露光体（図示せず）の位置決めの為の四角い
テーパーピンなどから成る位置規制具７が設けられてい
る。又下枠２の位置決めは下枠微調整具１４により行わ
れ、全体は下枠固定具１５に、図示しない押圧部材によ
って押圧され該露光装置本体（図示せず）に位置決め固
定される。

上記のように構成された露光焼付枠の作用について説明
する。上枠ｌに取付けられたガラスマスク３は固定用留
め具１２によって固定される。下枠２の吸着台座５に移
送手段（図示せず）であるロボット等によって被露光体
（以下ワークと記す）が移送される。該ワークには吸着
台座５のコーナに立てられた四角形状のテーパービンな
どから成る位置規制具７に対応して位置規制用の四角い
ガイド穴などが用意されており、位置規制具７に従って
吸着台座５にセントされる。

次に吸着台座５に穿設されている真空吸引口６によって
排気が行われて、ワークは吸着されて吸着台座５に密着
固定される。上記ワークの固定により駆動手段（図示せ
ず）が働き、上枠１が下降して上枠１の下面に配設され
た突出部８ａ、８ｂ。

８Ｃは対応する夫々の受台９ａ、９ｂ、９ｃに固定され
る。円錐台８ａは厚肉円筒受台９ａの内径寸法の位置で
固定され、円錐台８ｂはＣ型溝受台９ｂの溝の幅寸法の
位置で固定され、該Ｃ型溝受台９ｂの溝の方向が該厚肉
円筒受台９ａ方向に配設していることにより、前後左右
の方向は固定され、球面体８ｃが円筒受台９ｃに定まる
ことにより面の形成が決定される。

上記の手順により位置関係が固定された上、下枠はビデ
オカメラ１１によって確認され、該カメラによって位置
ズレが確認されると下枠微調整具１４によって再度稠整
される。上記作業によってガラスマスク３とワークの位
置関係が正しく確認されると、ビデオカメラ１１を回転
軸ＩＬａを中心にして上枠１の外側へ退避させて作業の
障害にならないようにする。以上によって準備は完成し
、露光工程が開始される。

本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の
実施態様をとり得るものである。例えば突出部は球面体
や円錐台に限るものではなく曲面や傾斜を有するもので
あれば良く、三角錐、四角錘等正確な位置規制が容易で
ある形状で構成しても良い。

各受台の構造も実施例に限定されるものではなく、たと
えば溝型の受台はＶ型やＵ型、コ字型なとであっても良
いし、同様に少なくとも一端を開口した中空部を有する
受台の形状も円筒形に限定するものではない。

配設した部材の重量等により上枠１のバランスがとりに
くい時は位置関係決定手段の支持体を４点など多数にし
ても良い。この時は前記以外の受台はスプリング性を有
する平面の受台を用いるのが最善である。また上枠を下
枠で支持するための接近移動に際しては、上梓と下枠の
いずれかまたは両方を移動させる構成でも良い。

〔発明の効果〕

以上の説明によって明らかな通り、２つの突出部と対応
する中空部を有する受台と溝型の受台の２組の位置合せ
手段により前後左右の方向は固定され、１つの突出部と
平面を有する受台の支持によって１つの面の形成が特定
される。即ち機構上最小の点である３点の固定によって
、形成される面が決定される原則による最も簡易な手段
で上枠下枠との相互位置関係を特定し、円筒形の受台の
内径と高さ、溝型の受台の溝幅と溝の方向と高さ、平面
を有する受台の高さを適切に選定し、所定の精度で加工
して配設することにより、原稿画像（ガラスマスク）と
被露光体（ワーク）の位置ズレを±５ミクロン以下に抑
えることができる大きな効果を生じる。又実際の露光焼
付作業で従来の露光焼付枠を用いた場合１００ミクロン
以下の画線間隔の露光焼付は不可能であったが、本発明
の露光焼付枠を用いた露光焼付実験では３０ミクロン以
下の画線間隔を得ることができた。そして加えるに上記
のようにその位置関係を決定する構成が簡易なので、作
業性、装置の操作性を低下させることがなく、高い生産
性を有する効果を生ずる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理を示す断面図で、第２図は本発明
の要部を示す斜視図であり、第３図、第４図は従来技術
による装置の断面図である。図中に符した番号は以下の
ものを示す。 １・・・上枠　　　　　　　２・・・下枠３・・・原稿
画像（ガラスマスク） ４・・・Ｍ露光体（ワーク） ５・・・吸着台座　　　　　７・・・位置規制具８ａ、
８ｂ・・・円錐台（突出部） ８ｃ・・・球面体（突出部）９ａ川用肉円筒受台９ｂ・
・・Ｃ型溝受台　　　　９ｃ・・・円筒受台１１・・・
ビデオカメラ　　　１４・・・下枠微調祭具特許出願人
　株式会社　オーク製作所 代理人　弁理士　磯　野　道　造 １．°′−・ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 露光焼付装置を構成する露光焼付枠において、原稿画像
   を取付ける上枠の下面周辺部に曲面乃至傾斜面を有する
   少なくとも３つの突出部を配設し、被露光体を取付ける
   下枠上面には少なくとも一端を開口した中空部を有する
   受台と、溝型の受台と、平面を有する受台を前記突出部
   を各別に支持する位置に配設し、前記上枠と下枠の相互
   位置関係の決定を前記突出部の前記受台による支持によ
   り行なうことを特徴とする露光焼付枠装置。