JPS62272549A - 超音波ワイヤボンデイング装置 - Google Patents

超音波ワイヤボンデイング装置

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JPS62272549A
JPS62272549A JP61114551A JP11455186A JPS62272549A JP S62272549 A JPS62272549 A JP S62272549A JP 61114551 A JP61114551 A JP 61114551A JP 11455186 A JP11455186 A JP 11455186A JP S62272549 A JPS62272549 A JP S62272549A
Authority
JP
Japan
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bonding
base
head
lead frame
wire
Prior art date
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Pending
Application number
JP61114551A
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English (en)
Inventor
Toru Mita
三田　徹
Michiro Takahashi
道郎 高橋
Shinichi Arai
荒井　信一
Masakazu Ozawa
小沢　正和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS62272549A publication Critical patent/JPS62272549A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ＆　発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野ｊ この発明はボンディングヘッドによりリードフレームと
そのリードフレーム上に載置されたペレットとをワイヤ
ボンディングする超音波ワイヤボンディング装置に関す
るものである。
〔従来の技術ｊ 従来の超音波ワイヤボンディング装置においては、特開
昭５５−７．Ｎ５２号公報に示されるように、ボンディ
ングヘッドを前後、左右、上下方向に移動するととも釦
、リードフレームを上下方向に移動しかつ旋回している
。
〔発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、ボンディングヘッドを前後、左右、上下
方向に移動したときには、移動に伴ってボンディングヘ
ッドにノイズ振動が発生するから、ボンディング不良が
生ずるおそれがあり、またボンディングヘッドおよびリ
ードフレームを駆動するときには、駆動機構が大型にな
るという問題がある。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、ボンディングヘッドにノイズ撮動が発生することが
なく、また駆動機構が大型になることがない超音波ワイ
ヤボンディング装置を提供することｔ−目的上する。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するため、この発明においては、ボンデ
ィングヘッドによりリードフレームとそのリードフレー
ムに取付けられたペレットとをワイヤによりボンディン
グする超音波ワイヤボンディング装置において、ベース
に上記ボンディングヘッドを固定し、上記ベースに上記
リードフレームを駆動する多関節形ペースマシンを取付
ける。
〔作用Ｊ この超音波ワイヤボンディング装置においては、多関節
形ベースマシンにより　ＩＪ−ド７レームｔ−駆動する
ことにより、リードフレーム、ペレットとボンディング
ヘッドとの位置合わせを行ない、ボンディングヘッドに
よりリードフレームとベレ。
トとをワイヤボンディングする。
〔実施例Ｊ 第１図はこの発明に係る超音波ワイヤボンディング装置
を示す概略斜視図、第２図は第１図に示した超音波ワイ
ヤボンディング装置の一部を示す斜視図である。図にお
いて、１はベース５１０ｉＪｌ’ベース１に固定された
台、７け台１０に固定された超音波発振器、８は超音波
発振器７のホーン、９はホーン８に取付けられたボンデ
ィングへラドで、ボンディングヘッド９はホーン８を介
して超音波発振器７忙よ）矢印Ａ、Ｂ方向に加振される
。
６はベース１に取付けられた多関節形ベースマシン、４
は多関節形ペースマシン６の従動部に取付けられた吸着
バットで、吸着バット４は多関節形ベースマシン６にょ
シ前後、左右、上下方向に移動されかつ旋回される。５
は吸着バット４と真空ポンプ（図示せず）とを接続する
ホース、２は吸着バット４に吸着されたリードフレーム
、３はリードフレーム２上に載置され九ペレット、１１
はベースＩＫ［ｉｉ定された支持板、１３は支持板１１
に取付けられたリール、１４はリール１３を回転するた
めのモータ、１２はリール１３に巻かれたワイヤ、１５
は支持板１１に取付けられたローラで、ローラ１５はワ
イヤ１２を矢印Ｃ方向に送）出す。１６はローラ１５を
回転するためのモータで、ローラ１５、モータ１６でワ
イヤ送り機構１７を構成している。１８は支持板１１に
取付けられたワイヤチャックで、ワイヤチャック１８は
駆動用ソレノイド（図示せず）にょシ開閉されて、ワイ
ヤ１２を把持する。
この超音波ワイヤボンディング装置においては、搬送装
置（図示せず）によ勺矢印りの方向に搬送されたリード
フレーム２の下面を吸着バット４によって吸着する。つ
ぎに、多関節形ベースマシン６によクリートフレーム２
を駆動し、ペレット３のボンディング位置とボンディン
グヘッド９の先端との位置合わせを行なう。つぎに、超
音波発振器７を作動して、ボンディングヘッド９にょシ
ワイヤ１２の先端をペレット３の上面忙ボンディングｆ
る。つぎに、多関節形ベースマシン６にょクリートフレ
ーム２を駆動し、リードフレーム２のボンディング位置
とボンディングヘッド９の先端との位置合わせを行なう
と同時に、ワイヤ送り機構１７およびワイヤチャック１
８を作動する。つぎに、超音波発振器７を作動して、ボ
ンディングヘッド９によりワイヤ１２の後端をリードフ
レーム２の上面にボンディングしたのち、多関節形ペー
スマシン６およびワイヤチャック１８を作動することに
より、ワイヤ１２を切断する。このようにして、１本の
ワイヤ１２のボンディングが完了する。そして、以上の
動作を繰シ返すことにょシ、１組のペレット３とリード
フレーム２とのワイヤボンディングが完了する。
〔発明の効果」 以上説明したようだ、この発明に係る超音波ワイヤボン
ディング装置におｈては、ボンディングヘッドをベース
に固定しているから、ボンディングヘッドにノイズ振動
が生ずることがないので、ボンディング不良か生ずるこ
とがなく、良好なワイヤボンディングを行なうことがで
きる。また、リードフレームのみを駆動して位置合わせ
を行なうから、駆動機構が大型になることがないので、
装置を小型化、軽址化することができる。このように、
この発明の効果は顕著である。
【図面の簡単な説明】
８１図はこの発明に係る超音波ワイヤボンディング装置
を示す概略斜視図、第２図は第１図だ示し之超音波ワイ
ヤボンディング装置の一部を示す斜視図である。 １…ベース ２・・・リードフレーム ３・・・ペレット ロ・・・多ａｍ形ベースマシン ９・・・ボンディングヘッド １２・・・ワイヤ ２；リードフレーム ｓニー（Ｌ−・ノド ６：カ療■子形公′−スマンン ９；キ゛ンデ゛イ〉り゛ヘンド １２：フイヤ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、ボンディングヘッドによりリードフレームとそのリ
    ードフレーム上に載置されたペレットとをワイヤボンデ
    ィングする超音波ワイヤボンディング装置において、ベ
    ースに上記ボンディングヘッドを固定し、上記ベースに
    上記リードフレームを駆動する多関節形ベースマシンを
    取付けたことを特徴とする超音波ワイヤボンディング装
    置。
JP61114551A 1986-05-21 1986-05-21 超音波ワイヤボンデイング装置 Pending JPS62272549A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61114551A JPS62272549A (ja) 1986-05-21 1986-05-21 超音波ワイヤボンデイング装置

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61114551A JPS62272549A (ja) 1986-05-21 1986-05-21 超音波ワイヤボンデイング装置

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Publication Number Publication Date
JPS62272549A true JPS62272549A (ja) 1987-11-26

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ID=14640620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61114551A Pending JPS62272549A (ja) 1986-05-21 1986-05-21 超音波ワイヤボンデイング装置

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