JPS6227637A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6227637A JPS6227637A JP16716685A JP16716685A JPS6227637A JP S6227637 A JPS6227637 A JP S6227637A JP 16716685 A JP16716685 A JP 16716685A JP 16716685 A JP16716685 A JP 16716685A JP S6227637 A JPS6227637 A JP S6227637A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding body
- diaphragm
- pressure
- sensitive element
- stage
- Prior art date
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- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、シリコングーイヤフラム等よりなる感圧素
子を用いた圧力センサに関するものである。
子を用いた圧力センサに関するものである。
［従来の技術］
従来、圧ｈセンサとして、シールグイヤフラムを設け、
伝達液（封入液）により圧力をシリコンダイヤフラム等
よりなる感圧素子に伝え、この感圧素子の圧力に対する
電気信号変化を取り出し、圧力を測定するものがある。
伝達液（封入液）により圧力をシリコンダイヤフラム等
よりなる感圧素子に伝え、この感圧素子の圧力に対する
電気信号変化を取り出し、圧力を測定するものがある。
［この発明が解決しようとする問題点］しかしながら、
伝達液は、温度変化により膨張するため、あらかじめ制
限した世よりもシリコンダイヤフラム等の感圧素子に過
大な圧力、負荷が加わり、シリコンのたわみの制限限界
を越え、破損のおそれが生じる。
伝達液は、温度変化により膨張するため、あらかじめ制
限した世よりもシリコンダイヤフラム等の感圧素子に過
大な圧力、負荷が加わり、シリコンのたわみの制限限界
を越え、破損のおそれが生じる。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、シリコンダイヤフ
ラム等よりなる感圧素子に過大な圧力、負荷が加わらな
いようにした圧力センサを提供することである。
ラム等よりなる感圧素子に過大な圧力、負荷が加わらな
いようにした圧力センサを提供することである。
Ｌ問題点を解決するための手段］
この発明は、シリコンダイヤフラム等の感圧素子を取り
付けた台座を、弾力性をもった台座保持体を介してシー
ルダイヤフラム保持体に取り付けるようにした圧力セン
サである。
付けた台座を、弾力性をもった台座保持体を介してシー
ルダイヤフラム保持体に取り付けるようにした圧力セン
サである。
［実施例］
第１図は、この発明の一実施例を示す断面構成説明図で
ある。
ある。
図において、１は、シリコンダイヤフラム等よりなる感
圧素子で、適当な台座２に固定されて取イヤフラム保持
体４に取り付けられている。シールダイヤフラム保持体
４は、いくつかの連通孔４ａを介して感圧素子１側から
シールダイヤフラム５側にわたり伝達液（封入液）６が
封入されている。感圧素子１とほぼ同一平面状で、その
周囲を取り取り囲みフランジ状に形成された台座保持体
３の周辺部（変位部＞３ａの外方にバネ等よりなる弾性
部材７が内方に押圧しており、また台座保持体３の周辺
部３ａには伝達液６内にシールダイヤフラム保持体４の
側部に部分的に当接する突部３ｂが形成されている。弾
性部材７はケース８に保持され、台座保持体３の周辺部
３ａの外方には周辺部３ａが弾力性により変位できる空
間９が形成され、周辺部３ａが外方に変位すると内部に
空間ができ伝達液６の膨張を吸収できる。また、シール
ダイヤフラム保持体４ちケース８に固定されている。
あらかじめ定められた測定範囲内では、シールダイヤフ
ラム５の圧力Ｐを伝達液６を介して感圧素子１に伝え圧
力の測定を行う。
圧素子で、適当な台座２に固定されて取イヤフラム保持
体４に取り付けられている。シールダイヤフラム保持体
４は、いくつかの連通孔４ａを介して感圧素子１側から
シールダイヤフラム５側にわたり伝達液（封入液）６が
封入されている。感圧素子１とほぼ同一平面状で、その
周囲を取り取り囲みフランジ状に形成された台座保持体
３の周辺部（変位部＞３ａの外方にバネ等よりなる弾性
部材７が内方に押圧しており、また台座保持体３の周辺
部３ａには伝達液６内にシールダイヤフラム保持体４の
側部に部分的に当接する突部３ｂが形成されている。弾
性部材７はケース８に保持され、台座保持体３の周辺部
３ａの外方には周辺部３ａが弾力性により変位できる空
間９が形成され、周辺部３ａが外方に変位すると内部に
空間ができ伝達液６の膨張を吸収できる。また、シール
ダイヤフラム保持体４ちケース８に固定されている。
あらかじめ定められた測定範囲内では、シールダイヤフ
ラム５の圧力Ｐを伝達液６を介して感圧素子１に伝え圧
力の測定を行う。
圧力が測定範囲を越えて高くなり、過負荷状態となると
、一般にシールダイヤフラム５がシールダイヤフラム保
持体４に密着した状態で圧力伝達は限界となる。
、一般にシールダイヤフラム５がシールダイヤフラム保
持体４に密着した状態で圧力伝達は限界となる。
また、周囲の温度、または測定流体等の温度が上昇し、
伝達液６が膨張すると、感圧素子１よりも変形借が大き
い台座保持体３の周辺部３ａが弾性部材７の抑圧に抗し
て外方に移動し伝達液６の＃眼を吸収する。このことに
より感圧素子１に過大負荷が加わるのを防止できる。こ
の台座保持体３の弾力性の調整は、弾性部材７の強さを
変えることにより行うことができる。また、弾性部材７
を取り除き、台座保持体３、特に周辺部３ａを内側方向
に弾力性をもたせるだけにしてもよい。
伝達液６が膨張すると、感圧素子１よりも変形借が大き
い台座保持体３の周辺部３ａが弾性部材７の抑圧に抗し
て外方に移動し伝達液６の＃眼を吸収する。このことに
より感圧素子１に過大負荷が加わるのを防止できる。こ
の台座保持体３の弾力性の調整は、弾性部材７の強さを
変えることにより行うことができる。また、弾性部材７
を取り除き、台座保持体３、特に周辺部３ａを内側方向
に弾力性をもたせるだけにしてもよい。
第２図は、他の実施例を示し、第１図と同一符号は同一
構成要素を示す。この場合、弾性部材７を取り除き、種
々の内径ストッパー１０を設け、台座保持体３の周辺部
３ａの可動範囲を規制し、弾力性の調整を行うようにし
ている。つまり、このストッパー１０の内径を小さくし
、周辺部３ａの変形の支点位置を変えることにより、周
辺部３ａはより高い負荷ではじめて変位するようになる
。
構成要素を示す。この場合、弾性部材７を取り除き、種
々の内径ストッパー１０を設け、台座保持体３の周辺部
３ａの可動範囲を規制し、弾力性の調整を行うようにし
ている。つまり、このストッパー１０の内径を小さくし
、周辺部３ａの変形の支点位置を変えることにより、周
辺部３ａはより高い負荷ではじめて変位するようになる
。
以上述べたように、この先回は、台座保持体に弾力性を
もたせるようにしたので、きわめて簡単な構成で、伝達
液の熱膨張の吸収ができ、感圧素子に過大な圧力が加わ
らず破損が防止でき、温度変化に対して影響を受けず、
高精度、高信頼性の圧力センサとなる。
もたせるようにしたので、きわめて簡単な構成で、伝達
液の熱膨張の吸収ができ、感圧素子に過大な圧力が加わ
らず破損が防止でき、温度変化に対して影響を受けず、
高精度、高信頼性の圧力センサとなる。
第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 １・・・感圧素子、２・・・台座、３・・・台座保持体
、３ａ・・・周辺部、４・・・シールダイヤフラム保持
体・４ａ−・・連通孔、５・・・シールダイヤフラム、
６・パ伝達液、７・・・弾性部材、８・・・り−ス、９
・・・空間、１゜・・・ストッパー
図である。 １・・・感圧素子、２・・・台座、３・・・台座保持体
、３ａ・・・周辺部、４・・・シールダイヤフラム保持
体・４ａ−・・連通孔、５・・・シールダイヤフラム、
６・パ伝達液、７・・・弾性部材、８・・・り−ス、９
・・・空間、１゜・・・ストッパー
Claims (4)
- １．感圧素子を取り付けた台座を、少なくとも一部が弾
力性をもった台座保持体を介してシールダイヤフラム保
持体に取り付けたことを特徴とする圧力センサ。 - ２．前記台座保持体の弾力性を、外部の弾力部材により
与えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
力センサ。 - ３．前記台座保持体の弾力性の調整を、外部のストッパ
ーにより行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項ま
たは第２項記載の圧力センサ。 - ４．前記感圧素子は、シリコンダイヤフラムよりなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項記載の
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16716685A JPS6227637A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16716685A JPS6227637A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6227637A true JPS6227637A (ja) | 1987-02-05 |
Family
ID=15844638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16716685A Pending JPS6227637A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6227637A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01222685A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-05 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ブラシレスモータの電流モニタ装置 |
| JPH02118847U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-25 | ||
| WO1998041833A1 (en) * | 1997-03-14 | 1998-09-24 | Rosemount Inc. | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| US7143650B2 (en) * | 2002-04-12 | 2006-12-05 | Grundfos A/S | Pressure sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638441U (ja) * | 1979-08-31 | 1981-04-11 | ||
| JPS5873835A (ja) * | 1982-10-04 | 1983-05-04 | Hitachi Ltd | 圧力伝送器 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP16716685A patent/JPS6227637A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638441U (ja) * | 1979-08-31 | 1981-04-11 | ||
| JPS5873835A (ja) * | 1982-10-04 | 1983-05-04 | Hitachi Ltd | 圧力伝送器 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01222685A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-05 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ブラシレスモータの電流モニタ装置 |
| JPH02118847U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-25 | ||
| WO1998041833A1 (en) * | 1997-03-14 | 1998-09-24 | Rosemount Inc. | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| GB2338066A (en) * | 1997-03-14 | 1999-12-08 | Rosemount Inc | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| GB2338066B (en) * | 1997-03-14 | 2000-12-20 | Rosemount Inc | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| DE19882225B4 (de) * | 1997-03-14 | 2009-07-09 | Rosemount Inc., Eden Prairie | Meßwertgeber mit Trenneinheit für Drucksensor |
| US7143650B2 (en) * | 2002-04-12 | 2006-12-05 | Grundfos A/S | Pressure sensor |
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