JPS5873835A - 圧力伝送器 - Google Patents
圧力伝送器Info
- Publication number
- JPS5873835A JPS5873835A JP17318982A JP17318982A JPS5873835A JP S5873835 A JPS5873835 A JP S5873835A JP 17318982 A JP17318982 A JP 17318982A JP 17318982 A JP17318982 A JP 17318982A JP S5873835 A JPS5873835 A JP S5873835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- fluid chamber
- fluid
- diaphragm
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕 、
本発明は、半導体の圧力検出素子を用いて流体の圧力あ
るいは２つの流体圧力の差圧を電気−号に変換して伝送
する圧力伝送器に係シ、特に半導体の圧力検出素子の過
負荷保護装置に関する。
るいは２つの流体圧力の差圧を電気−号に変換して伝送
する圧力伝送器に係シ、特に半導体の圧力検出素子の過
負荷保護装置に関する。
半導体の圧力検出素子は、検出部の変形が極めて微小で
あるため、過負荷圧力が加わった場合にその圧力が半導
体の圧力検出素子に加わらないように保護することが必
要でおる。
あるため、過負荷圧力が加わった場合にその圧力が半導
体の圧力検出素子に加わらないように保護することが必
要でおる。
このため第１凶に示す如く、シールダイアフラム２の中
心板４と本体６に設けた０リング８とを接触させること
によって封入液！０の移動を止める方法が一般に採用さ
れてい仝。しかし、上述したように半導体の圧力検出素
子１２の変形が極めて微小であるため、封入液の移動量
も同様に少なく、中心板４とＯリング８との間隙を極め
て小さくしなければ過負葡保謙を行うことはできない。
心板４と本体６に設けた０リング８とを接触させること
によって封入液！０の移動を止める方法が一般に採用さ
れてい仝。しかし、上述したように半導体の圧力検出素
子１２の変形が極めて微小であるため、封入液の移動量
も同様に少なく、中心板４とＯリング８との間隙を極め
て小さくしなければ過負葡保謙を行うことはできない。
したがって、第１図に示す構成では、製作２組立て、ｌ
ｉｅ整が極めて困難であるという欠点を有してい九。
ｉｅ整が極めて困難であるという欠点を有してい九。
〔発明の目的〕 一
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、製
作９組立て等の容易な過負荷保護装置を備えた圧力・伝
送器を提供することにおる。
作９組立て等の容易な過負荷保護装置を備えた圧力・伝
送器を提供することにおる。
上記目的を達成すべく、本発明の圧力伝送器にＦｉ調節
ダイアフラムが設けられている。この調節ダイアクラム
には圧力検出素子と同様流体の圧力が印加されるように
構成されている。−節ダイアフラムは、過負荷時、シー
ルダイアフラムを本体に着座させて、圧力検出素子に過
負荷圧力がかからないようにして保繰する。
ダイアフラムが設けられている。この調節ダイアクラム
には圧力検出素子と同様流体の圧力が印加されるように
構成されている。−節ダイアフラムは、過負荷時、シー
ルダイアフラムを本体に着座させて、圧力検出素子に過
負荷圧力がかからないようにして保繰する。
以下、本発明の一実ｍ例を図面に基づいて説明する。
第２図において、７ランジ２０Ａを有する＾圧部本体２
０Ｋｉｔ、測定流体の導圧口２２とシールダイアフラム
２４が設けられ、シールダイアフラム２４に対向する画
が波形壁２６となっており、シールダイア７．９ム２４
′ト波形１１２６との間に第・誼 ｌの流体室２８が形成されてｉる。圧力検出索子・、、
註ｔ１１．。
０Ｋｉｔ、測定流体の導圧口２２とシールダイアフラム
２４が設けられ、シールダイアフラム２４に対向する画
が波形壁２６となっており、シールダイア７．９ム２４
′ト波形１１２６との間に第・誼 ｌの流体室２８が形成されてｉる。圧力検出索子・、、
註ｔ１１．。
体３０には調節ダイアフラム３２が設けられ、この調節
ダイアフラム３２の中央部に半導体の圧力検出素子３４
が設けられている。圧力検出部本体３０と調節ダイアフ
ラム３２との間に、第２の流体室３６が形成されている
。第１の流体室２Ｂと第２の流体室３６は流体通路３８
で接続されておシ、第１．第２の流体室２８．８６と流
体通路３８には非圧縮性の封入液４０が封入されている
。
ダイアフラム３２の中央部に半導体の圧力検出素子３４
が設けられている。圧力検出部本体３０と調節ダイアフ
ラム３２との間に、第２の流体室３６が形成されている
。第１の流体室２Ｂと第２の流体室３６は流体通路３８
で接続されておシ、第１．第２の流体室２８．８６と流
体通路３８には非圧縮性の封入液４０が封入されている
。
４２は流体の脈動を吸収する絞シである。
次に動作について説明する。シールダイアフラム２４に
圧力ｐが作用すると、その圧力が第１゜第２の流体室２
８．３６および流体通路３８の中に封入され是非圧縮性
の封入液４０を介して半導体の圧力検出素子３４に伝達
される。これに比例して半導体の圧力検出素子３４に選
択拡散法で形成されているピエゾ抵抗素子が抵抗変化を
起すので、これから圧力を知ることができる。第２の流
体室３６内の圧力はシールダイアプラム２４と調：１１
□ 節ダイアフラム３・・２の剛性比によって決まるが、シ
ールダイア７９）”ｍ ”２４の剛性を極めて小さくす
れば纂２れ流体室二’！ 、内の圧力を測定圧ｐにほぼ
勢しくすることができる。測定圧の増加にともない籐ｌ
の流体室２８内にある封入液は徐々にｇｚの流体室３６
に移動し、調節ダイアフラム３２が変形する。従ってシ
ールダイアフラム２４、これと波形１ｉ２６との間の隙
間、調節ダイア７２ム３２の剛性を適切に設計すれば、
測定圧ｐが半導体の圧力検出素子３４の許容限界圧力に
なる直前にシールダイアフラム２４が波形１１２６に着
座し、これ以上第２の流体室３６に圧力を＠達しなくな
る。それ故導圧口２２に過大な圧力が加わりでも半導体
の圧力検出素子３４および調節ダイアフラム３２を破損
することがない。また、絞り４２の大きさを適切に設計
することによ）、測定圧ｐに脈動分が含まれる場合にこ
の脈動分を減衰させることが可能で、第２の流体室３６
に祉平滑された圧力が伝達される。従って圧力検出索子
３４への振動負荷を軽減させる仁とができ、寿命を大幅
に伸ばすことが可能になる。
圧力ｐが作用すると、その圧力が第１゜第２の流体室２
８．３６および流体通路３８の中に封入され是非圧縮性
の封入液４０を介して半導体の圧力検出素子３４に伝達
される。これに比例して半導体の圧力検出素子３４に選
択拡散法で形成されているピエゾ抵抗素子が抵抗変化を
起すので、これから圧力を知ることができる。第２の流
体室３６内の圧力はシールダイアプラム２４と調：１１
□ 節ダイアフラム３・・２の剛性比によって決まるが、シ
ールダイア７９）”ｍ ”２４の剛性を極めて小さくす
れば纂２れ流体室二’！ 、内の圧力を測定圧ｐにほぼ
勢しくすることができる。測定圧の増加にともない籐ｌ
の流体室２８内にある封入液は徐々にｇｚの流体室３６
に移動し、調節ダイアフラム３２が変形する。従ってシ
ールダイアフラム２４、これと波形１ｉ２６との間の隙
間、調節ダイア７２ム３２の剛性を適切に設計すれば、
測定圧ｐが半導体の圧力検出素子３４の許容限界圧力に
なる直前にシールダイアフラム２４が波形１１２６に着
座し、これ以上第２の流体室３６に圧力を＠達しなくな
る。それ故導圧口２２に過大な圧力が加わりでも半導体
の圧力検出素子３４および調節ダイアフラム３２を破損
することがない。また、絞り４２の大きさを適切に設計
することによ）、測定圧ｐに脈動分が含まれる場合にこ
の脈動分を減衰させることが可能で、第２の流体室３６
に祉平滑された圧力が伝達される。従って圧力検出索子
３４への振動負荷を軽減させる仁とができ、寿命を大幅
に伸ばすことが可能になる。
篤３図は本発明の他の実施例を示す原理図で、第２図と
同一部分は同じ符号で示しである。第２図と異なるとこ
ろは、半導体の圧力検出素子３４が固着されている取付
台４４を圧力検出部本体３０に固着または、本体と一体
構造とした点におる。ａｌＥＺ図の構成では調節ダイア
フラム３２の固有振動数が低いため、これに装着されて
いる取付台４４、半導体の圧力検出素子３４を含めた全
体の固有振動数も低く、外部振動に弱いという欠点があ
るが、第３図の構成では、取付台４４が圧力検出部本体
３０に固着または本体３０と一体構造になっているので
、半導体の圧力検出素子３４を含む全体の固有振＆Ｉ数
が高く、外部振動に強いという利点がある。
同一部分は同じ符号で示しである。第２図と異なるとこ
ろは、半導体の圧力検出素子３４が固着されている取付
台４４を圧力検出部本体３０に固着または、本体と一体
構造とした点におる。ａｌＥＺ図の構成では調節ダイア
フラム３２の固有振動数が低いため、これに装着されて
いる取付台４４、半導体の圧力検出素子３４を含めた全
体の固有振動数も低く、外部振動に弱いという欠点があ
るが、第３図の構成では、取付台４４が圧力検出部本体
３０に固着または本体３０と一体構造になっているので
、半導体の圧力検出素子３４を含む全体の固有振＆Ｉ数
が高く、外部振動に強いという利点がある。
以上本発明によれば、シールダイアフラムと調節ダイア
フラムとの協動作用によシ、シールダイアプラムが本体
に着座して過負荷圧力が半導体の圧力検出素子に印加さ
れないようにし九ため、製作組立等も容易で確実な過負
荷保−の行える圧力伝送器が得られる。
フラムとの協動作用によシ、シールダイアプラムが本体
に着座して過負荷圧力が半導体の圧力検出素子に印加さ
れないようにし九ため、製作組立等も容易で確実な過負
荷保−の行える圧力伝送器が得られる。
ｔｊ＆１−は従来の過負荷保護装置を有する圧力伝送器
の断面図、第２図は本発明になる過負荷保護装置を有す
る圧力伝送器の断面図、第３因は第２図の一部変形例を
示′ｒ断面図である。 ２０・・・受圧部本体、２２・・・導圧口、２４川シー
ルダイアフラム、２６・・・波形壁、２８・・・第１の
流体室、３０・・・圧力検出部本体、３２・・・調節ダ
イアフラム、３４・・・半導体の圧力検出素子、３６・
・・第２の流体室、３８・・・流体通路、４０・・・封
入液。 〉Ｌ、１ 某 １ ω 某 ２ 口
の断面図、第２図は本発明になる過負荷保護装置を有す
る圧力伝送器の断面図、第３因は第２図の一部変形例を
示′ｒ断面図である。 ２０・・・受圧部本体、２２・・・導圧口、２４川シー
ルダイアフラム、２６・・・波形壁、２８・・・第１の
流体室、３０・・・圧力検出部本体、３２・・・調節ダ
イアフラム、３４・・・半導体の圧力検出素子、３６・
・・第２の流体室、３８・・・流体通路、４０・・・封
入液。 〉Ｌ、１ 某 １ ω 某 ２ 口
Claims (1)
- １、本体にこれと間隙をおいてとシつけられ、本体との
間に第１の流体室を形成するシールダイアフラム、前記
本体にこれと間隙をおいてと９つけられ、本体との間に
第２の流体室を形成する調節ダイアフラム、前記第１の
流体室と第２の流体室とを連結する流体通路、前記本体
にと９つけられ流体の圧力を電気信号に変換する半導体
の圧力検出素子、前記纂１．第２の流体室および流体通
路に封入された封入液とを備え、前記シールダイアフラ
ムは過負荷圧力を受けた時本体に着座するように構成し
たことｔ−％倣とする圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173189A JPS5841456B2 (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173189A JPS5841456B2 (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧力伝送器 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4453374A Division JPS573897B2 (ja) | 1974-04-22 | 1974-04-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5873835A true JPS5873835A (ja) | 1983-05-04 |
| JPS5841456B2 JPS5841456B2 (ja) | 1983-09-12 |
Family
ID=15955739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57173189A Expired JPS5841456B2 (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841456B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6227637A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Chino Corp | 圧力センサ |
| JPS6227638A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Chino Corp | 圧力センサ |
| JPH02118847U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-25 | ||
| CN104330197A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-02-04 | 宝鸡百事得控制技术有限公司 | 高耐压防过载压力变送器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5535920A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-13 | Tatsukazu Oiwa | Drinking water conditioning-treating apparatus |
| JPS57141199A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Aloka Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP57173189A patent/JPS5841456B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5535920A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-13 | Tatsukazu Oiwa | Drinking water conditioning-treating apparatus |
| JPS57141199A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Aloka Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6227637A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Chino Corp | 圧力センサ |
| JPS6227638A (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-05 | Chino Corp | 圧力センサ |
| JPH02118847U (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-25 | ||
| CN104330197A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-02-04 | 宝鸡百事得控制技术有限公司 | 高耐压防过载压力变送器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5841456B2 (ja) | 1983-09-12 |
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