JPS62280366A - 減圧化学的気相堆積装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、減圧化学的気相堆積（ＣＶＤ）装置の改良に
関するものである。

〔従来の技術〕

減圧ＣＶＤ装置については、「真空ＪｐＨ３〜ｐ　１１
８　（１９８５年３月号）、黒海及び柴田による「減圧
ＣＶＤ装置の現状と技術的課題」と題する文献において
論じられている。

第３図は従来のバッチ式の減圧ＣＶＤ装置の概略図であ
る。図において、１は反応管、２はヒータ、３はガス供
給部、４はガスパルプ、５は蓋。

６はウェハ、７は冷却トラップ、８は排気管、９は排気
補助管、１０は排気パルプ、１１は補助排気パルプであ
る。また、１２は圧力計、１３はリークパルプ、１４は
メカニカルブースタ、１４ａはポンプロータ、１４ｂは
軸受部、１４ｃは軸シール部、１４ｄは油、１４ｅはモ
ータ、１５はコータリポンプ、１６は未反応ガス希釈用
ガスを供給するガスライン、２１はポンプ吐出管である
。

そして１反応管１内に反応ガスを供給する場合のサイク
ルは、ウェハ６を反応管１内に導入後、反応管１内の空
気をメカニカルブースタ１４及びロータリポンプ１５に
て排気し、窒素ガスをガス供給部３からガスバルブ４よ
り導入して空気と置換し１反応ガスをガス供給部３より
ガスバルブ４を経て導入し反応を行なわせ、反応終了後
再び窒素ガスを導入して反応ガスとの置換を行なう。尚
。

この反応カスを排気するどきにガス供給管のガスライン
１６から未反応ガス希釈用のガスを導き、ポンプ吐出管
２１内で希釈していた。次に、大気をリークバルブ１３
より導入して反応管１内を大気圧状態に戻し、ウェハ６
を搬出するようにしていた。このサイクルにおいて、特
に、反応管１内を大気状態から窒素ガスに置換する丸め
に排気を行なう時には、メカニカルブースタ１４及びロ
ータリポンプ１５は到逮圧力付近で作動しており。

メカニカルブースタ１４では、ポンプロータ１４ａと軸
受部１４ｂのある部分とに犬きな圧力差を生じることに
なる。このため、軸受潤滑部分にある油１４ｄが＠／−
ル部１４ｃを介してポンプ本体へと漏出することとな力
、この油が逆拡散を起こし反応室１内を汚染すると云う
問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術では、排気するのにメカニカルブースタと
ロータリポンプとの組合わせを用いており、メカニカル
ブースタのロータ高圧側と軸受潤滑部分には圧力差が生
じており、その結果、軸受潤滑部分の油がロータ側へ漏
出し、この油が逆拡散して反応管内を汚染すると云う問
題を生じている。

本発明は上記の状況に鑑みなされたものであり。

軸受潤滑部分側の油のロータ側への漏出を抑えて。

排気ポンプ側からの油の逆拡散を減圧し反応管内の油汚
染を少なくできる減圧化学的気相堆積装置を提供するこ
とを目的としたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、排気に用いる真空ポンプを、スクリュー形
、ターボ形等の油を少なく使う形式のものとし、従来は
未反応ガス希釈用のガスを単に希釈のためのみに用いら
れていたが、これを有効に活用しエゼクタを駆動し、エ
ゼクタにより上記ポンプの棚受＠滑部分の圧力を減圧し
、ポンプロータの高圧側の圧力と同程度またはそれより
低くすることにより、軸受潤滑部分からポンプロータの
高圧側への油の漏出を抑えることにより達成される。

〔作用〕

未反応ガス希釈用のガスはエゼクタを駆動するのに充分
な圧力及び流量があり、後述の実施例の説明中にもある
如く、このガスは希釈用ガス供給管のガスライン１６か
ら送られてエゼクタ１８′ｔ−駆動し、エゼクタ１８は
スクリュー真空ポンプ１７まえはターボ形真空ポンプ２
３の軸受１７ｂ。

２３ｂにそれぞれ連通ずる油１７ｄ、２３ｄの上面のガ
スを吸気排出し減圧させ、この部分の圧力がポンプロー
タ高圧側と比べて低いかまたは同程度の圧力とすると、
圧力差がなくなるので軸受の油潤滑部分からの油の漏出
が抑えられる。このため、漏出する油が少なくなるので
、油の逆拡散が少なくなり反応管内の汚染が少なくなる
。

〔実施例〕

以下本発明の減圧化学的気相堆積装置を、スクリュー形
真空ポンプが適用された実施例を用い、従来と同部品は
同符号で示し同部分の構造の説明は省略し第１図により
説明する。第１図は概略図である。図において、１７は
スクリュー真空ポンプ、１７ａはポンプＯ−１，１７ｂ
は軸受、１７ｃはシール部、１７ｄは油、１７ｅはモー
タ、１８はエゼクタ、１９はエゼクタ吸気管、２０はエ
ゼクタ吐出管である。

そして、蓋５を開いてウェハ６を反応管１内へ導入した
後蓋　を閉じ、排気用のスクリュー真空ポンプ１７にて
排気を行なう。このとき、未反応ガス希釈用のガスをガ
スライン１６より供給し。

エゼクタ１８を駆動するとエゼクタ吸気管１９より軸受
１７ｂ付近の部分の気体は排気さ几エゼクタ吐出′＃２
０を通りポンプ吐出管２１へと排気されるので圧力が低
下する。この圧力全ポンプロータ１７Ｈの高圧側の圧力
と同程度またはそ九より低くすれば油１７ｄのシール部
１７Ｃを通してのロータ１７ａへの漏出が少なくなるた
め、油の逆拡散によるポンプ吸気側の油汚れが少なくな
り。

ひいては反応室１内の油汚染が少なくなる。尚。

従来は、ガスライン１６から送られてくる未反応ガスを
希釈するためのガスは、ポンプ吐出管２１内に吐出し希
釈するだけであった。

このように本実施例の減圧化学的気相堆積装置は１反応
管内を排気する真空ポンプの軸受部分の潤滑油容器内の
気体をエゼクタを介し真空ポンプのポンプ吐出管内に排
気するように形成し、このエゼクタを未反応ガス希釈用
のガスにより駆動するように構成したので、未反応ガス
希釈用ガスを従来より有効に利用し軸受設置部分とポン
プロータ側との圧力差を小さくでき、シール部を通じて
の油の漏出が抑えられ、油の逆拡散によるポンプ吸気口
側の油汚染が少なくなるので反応管内の油汚染金少なく
できる。そして、従来例に比べ単体で大気圧から排気を
行えるためロータリポンプを省略することができ排気系
が簡単になる。

第２図は他の実施例を示す概略図であり、ターボ形の真
空ポンプを使用している。図において、２３はターボ形
真空ポンプ、２３ａはポンプロータ、２３ｂは軸受、２
３Ｃはシール部、２３ｄは油、２３ｅはモータ、２３ｆ
はステータである。

そして、蓋５を開いてウェハ６を反応管１内へ導入し、
蓋５を１閉じて排気用のターボ形真空ポンプ２３にて排
気を行なう。このとき、未反応ガス希釈用のガスをガス
ライン１６より供給しエゼクタ１８を４４すると、油２
３ｄ上面の気体がエゼクタ吸気’１１１９ｔ−介し吸引
されエゼクタ吐出管２０を経てポンプ吐出管２１より排
気され、同時に、軸受２３ｂ、シール部２ａＣ４分の気
体も排出され低圧となる。エゼクタ１８により吸引され
る部分の圧力を、ポンプロータ２３ａの高圧側の圧力と
同程度またはそれより低くすれば、油２３ｄのシール部
２３Ｃｔ−通してのポンプロータ２３ａへの漏出が少な
くなるため、油の逆拡散によるポンプ吸気側の油汚染が
少なくなり、ひいては反応管１内の油汚染が少なくなる
。本実施例も上記実施例と同様の作用効果を有し、筐た
、ターボ形真空ポンプのため、比較的小形で排気速度が
大きくとれるため排気系の大きさが小さくできる効果を
有する。

〔発明の効果〕 以上記述した如く本発明の減圧化学的気相堆積装置は、
排気ポンプ側からの油の逆拡散を減少し反応管内の油汚
染を少なくできる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はそれぞれ本発明の減圧化学的気相堆積
装置の実施例の概略図、第３図は従来の減圧化学的気相
堆積装置の概略図である。 １・・・反応管、２・・・ヒータ、３・・・ガス供給部
、１６・・・ガスライン、１７・・・スクリュー真空ポ
ンプ。 １８・・・エゼクタ、２１・・・ポンプ吐出管、２３・
・・ターボ形真空ポンプ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、周囲に加熱用ヒータが配設された反応管と、該反応
   管に反応ガスを供給するガス供給部と、上記反応管内の
   ガスを排気するためのポンプ吐出管を備えた排気ポンプ
   と、該排気ポンプ側に設けられ上記反応管から排気され
   る未反応ガスを上記ポンプ吐出管内にて希釈する希釈用
   ガス供給管とを設けたものにおいて、上記希釈用ガス供
   給管のガスラインから供給されるガスに駆動されるエゼ
   クタを設け、該エゼクタを介し上記排気ポンプの潤滑油
   容器内部分のガスを吸引し上記ポンプ吐出管内に排気す
   るように構成されていることを特徴とする減圧化学的気
   相堆積装置。