JPS62281402A - Method of trimming thick film resistance array - Google Patents

Method of trimming thick film resistance array

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JPS62281402A
JPS62281402A JP61124941A JP12494186A JPS62281402A JP S62281402 A JPS62281402 A JP S62281402A JP 61124941 A JP61124941 A JP 61124941A JP 12494186 A JP12494186 A JP 12494186A JP S62281402 A JPS62281402 A JP S62281402A
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JP
Japan
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resistance
change rate
trimming
high voltage
resistance change
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Japanese (ja)
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高橋 喜代司
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Fujitsu General Ltd
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Fujitsu General Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [産業上の利用分野コ この発明は抵抗アレーの各抵抗をその形状を変えること
なく所定の抵抗値に設定するためのトリミング方法に関
し、特に詳しく言うと、トリミングを行うため抵抗アレ
ーに高電圧パルスを印加するに際しての電圧値の制御方
法に関する。
[Detailed Description of the Invention] 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] This invention relates to a trimming method for setting each resistor of a resistor array to a predetermined resistance value without changing its shape, and in particular, More specifically, the present invention relates to a method of controlling voltage values when applying high voltage pulses to a resistor array for trimming.

〔発明の技術的背景〕[Technical background of the invention]

例えば、サーマルプリンタにおいて、厚膜抵抗7レーに
よりヘッドを構成する場合抵抗アレーの各抵抗の形状を
変えないでそれの抵抗を所定の値に設定するようにトリ
ミングを行なっている。すなわち、サーマルプリントヘ
ッドに用いる抵抗アレーは、最大温度および発熱面積等
発熱温度が問題になるため、レーザトリミングのような
抵抗形状を変えるようなトリミング方法は採用できない
For example, in a thermal printer, when a head is constructed of seven thick-film resistors, trimming is performed to set the resistance to a predetermined value without changing the shape of each resistor in the resistor array. That is, in a resistor array used in a thermal print head, heat generation temperature such as maximum temperature and heat generation area is a problem, so a trimming method such as laser trimming that changes the shape of the resistor cannot be adopted.

そこで一般には、高電圧パルスを印加して、厚膜抵抗の
導電粒子間を遮っているガラス貿の障壁を静電破壊して
短絡させ、抵抗値を下げるトリミング方法が使われてい
る。この方法は、使用する厚膜抵抗ペースト、導電ペー
ストおよび焼成条件によって、そのトリミング特性およ
び以降の抵抗安定度が異なるため、一様に規定すること
は困難である6 すなわち、サーマルプリントヘッドは近来分解能が高ま
り、8本/Im以上の密度の抵抗アレーを持つものが多
くなり、例えばA4版では1700本以上の抵抗数を持
つ抵抗アレーとなる。ところでその初期抵抗値のバラツ
キは±15%程もあり。
Generally, a trimming method is used to lower the resistance value by applying a high voltage pulse to cause electrostatic breakdown of the glass barrier between the conductive particles of the thick film resistor and causing a short circuit. This method is difficult to specify uniformly because its trimming characteristics and subsequent resistance stability vary depending on the thick film resistor paste, conductive paste, and firing conditions used6. As the number of resistors increases, many resistor arrays have a density of 8 resistors/Im or more. For example, an A4 size sheet has a resistor array with a density of 1700 resistors or more. By the way, the initial resistance value varies by about ±15%.

これを±3%以内にするには、1つのヘッド当り170
0本以上の抵抗素子をトリミングする必要がある。
To keep this within ±3%, 170 mm per head is required.
It is necessary to trim zero or more resistive elements.

今、第1図および第2図により従来のトリミング方法を
説明すると、サーマルプリントヘッドの抵抗アレー1の
各抵抗素子2は、基板3上に設けられた共通電極4とド
ライブ回路等に接続される電極5との間に設けられてお
り、共通電極4に当てられたプローブ6と、電極5に当
てられたプローブ7とによりまず第1番目の抵抗素子2
の初期抵抗値を測定する。この測定は切替えスイッチ8
の抵抗測定装置9側に切替えて行う。測定結果は。
Now, to explain the conventional trimming method with reference to FIGS. 1 and 2, each resistor element 2 of the resistor array 1 of the thermal print head is connected to a common electrode 4 provided on a substrate 3 and a drive circuit, etc. The probe 6 which is provided between the electrode 5 and the common electrode 4 and the probe 7 which is applied to the electrode 5 first
Measure the initial resistance value. This measurement is performed using selector switch 8.
This is done by switching to the resistance measuring device 9 side. What are the measurement results?

制御装置10に送られ、制御装置10はプログラム電′
g11およびパルス発生回路12を駆動して、まず高電
圧Aを設定する。ここで切替えスイッチ8をパルス印加
側に切替え、電圧Aパルスをプローブ6゜7を介して第
1番目の抵抗素子に印加する。再び切替えスイッチ8を
抵抗測定装置9側に切替え。
The data is sent to the control device 10, and the control device 10 receives the program voltage.
g11 and the pulse generation circuit 12 to first set the high voltage A. Here, the changeover switch 8 is switched to the pulse application side, and the voltage A pulse is applied to the first resistance element via the probe 6.7. Switch the selector switch 8 to the resistance measuring device 9 side again.

第1番目の抵抗素子2の抵抗値を測定し、測定結果を制
御装置10に送り、制御装置10はプログラム電源11
およびパルス発生回路12を駆動して、高電圧Bを設定
する。この高電圧Bによる電圧パルスBを切替えスイッ
チ8を切替えることにより第1番目の抵抗素子2に再び
印加する。そして再び第1番目の抵抗素子2の抵抗値を
測定し、測定結果により高電圧Cによる電圧パルスCを
再度第1番目の抵抗素子2に印加する。以下、同様な操
作を抵抗値が所望の値になるまで1段々に印加電圧を上
げて一般には6回以上繰返され、所望の抵抗値に達した
ら、第2番目の抵抗素子2にプローブ6゜7を移動して
いく、この基本的な手順を第2図に示す。
The resistance value of the first resistance element 2 is measured, the measurement result is sent to the control device 10, and the control device 10
Then, the pulse generating circuit 12 is driven to set the high voltage B. The voltage pulse B caused by this high voltage B is applied again to the first resistance element 2 by switching the changeover switch 8. Then, the resistance value of the first resistance element 2 is measured again, and the voltage pulse C of the high voltage C is applied to the first resistance element 2 again based on the measurement result. Thereafter, the same operation is generally repeated six or more times by increasing the applied voltage step by step until the resistance value reaches the desired value. When the desired resistance value is reached, the second resistance element 2 is connected to the probe 6°. This basic procedure of moving 7 is shown in Figure 2.

このような方法では、1700本以上もの抵抗素子をト
リミングするためには時間がかかりすぎる。そこで、多
数のプローブを使用して並列処理をする方法も提案され
ている。並列処理の方法には、大別して以下の2つの方
法がある。
This method takes too much time to trim more than 1,700 resistive elements. Therefore, a method of performing parallel processing using a large number of probes has also been proposed. Parallel processing methods can be broadly classified into the following two methods.

第1の方法は、第2図の各工程に対応させて、多数の工
程を予め用意する方法である。例えば高電圧A、B、C
・・・の設定を別々のプローブ、すなわち、別々の工程
に分離させ、電圧パルスA(例えば350V)の印加が
終ったら、ステージを1ステツプ移動して、電圧パルス
B(例えば400V)を印加する。電圧パルスBの印加
が終ったら、ステージを1ステツプ更に移動して、電圧
パルスC(例えば450V)を印加し、次いで電圧パル
スDとに移動させる方法である。この場合、ステージが
移動すれば各プローブは同時に移動するので、1つが高
電圧の設定をAからBに移動させれば、他の工程も、例
えば、高電圧設定をBからCに、CからDに移動させる
ことができる。このような方法は、高電圧パルスの電源
をプログラマブルではなく、各工程に応じた固定電圧の
電源にする等の、システムのハードの単機能化が計れる
利点があるが、工程中での最長の時間を必要とするプロ
ーブの移動時間が1つの処理工程ごとに必要になるため
1期待する程トリミング時間を短くすることはできない
。また、アレー中の初期抵抗値がばらつくため、別々の
抵抗測定工程でその抵抗変化ではなくその絶対値である
抵抗値を制御してゆくためのソフトも困難になる。更に
初期値のバラツキにより高電圧設定の段数も多くする必
要がある。
The first method is to prepare a large number of steps in advance, corresponding to each step in FIG. For example, high voltage A, B, C
... are separated into separate probes, that is, separate processes, and when voltage pulse A (e.g., 350 V) has been applied, the stage is moved one step and voltage pulse B (e.g., 400 V) is applied. . After the application of voltage pulse B is completed, the stage is moved one step further to apply voltage pulse C (for example, 450 V), and then moved to voltage pulse D. In this case, when the stage moves, each probe moves at the same time, so if one moves the high voltage setting from A to B, the other steps can also move the high voltage setting from B to C, for example. It can be moved to D. This method has the advantage of making the system hardware single-function, such as using a fixed-voltage power supply for each process rather than a programmable high-voltage pulse power supply. Since time-consuming probe movement time is required for each processing step, the trimming time cannot be reduced as much as expected. Furthermore, since the initial resistance values in the array vary, it becomes difficult to develop software for controlling the resistance value, which is the absolute value, rather than the resistance change, in separate resistance measurement steps. Furthermore, due to variations in initial values, it is necessary to increase the number of high voltage setting stages.

並列処理の2つ目の方法は、第1および第2図に基づく
システムを、隣接する抵抗素子にも拡張して、n個設置
する方法である。この方法によれば、制御装置10を除
く他の装置、すなわち切替えスイッチ8、抵抗測定装置
9、プログラム電源11そしてパルス発生回路12とを
n個用意するというコストアップの面はあるが、1つの
プローブ位置で1つの抵抗素子のトリミングを完了でき
るため、n個のプローブの移動を1回のステージ移動で
すませることができ、トリミング時間は最も短くなり、
実用的である4また、n個の並列システムであるため、
システムの内容は簡単化され製作し易い。この方法を採
用してトリミングを実施する場合、従来は一定間隔の高
電圧パルスを印加しながら、目標抵抗値を得てゆく方法
を使用している。
The second method for parallel processing is to extend the system based on FIGS. 1 and 2 to include adjacent resistive elements, and install n resistive elements. According to this method, although there is a cost increase in that n devices other than the control device 10, that is, a changeover switch 8, a resistance measuring device 9, a program power source 11, and a pulse generation circuit 12 are prepared, one Since trimming of one resistive element can be completed at the probe position, n probes can be moved in one stage movement, resulting in the shortest trimming time.
4Also, since it is a parallel system of n pieces,
The contents of the system are simplified and easy to manufacture. When trimming is performed using this method, conventionally a method is used in which high voltage pulses are applied at regular intervals to obtain a target resistance value.

すなわち、300V、350V、450V・750V、
800V、850V(7)ように、高電圧パ)L/ ス
(7)大きさを変え、目標とする抵抗値(例えば±3%
)に入れていた。このため、多数の高電圧設定工程が必
要となり、パルス発生および測定待ち時間、高電圧設定
等の時間の掛かる工程も数多く必要であり、更には多く
の繰返し工程を必要とするため。
That is, 300V, 350V, 450V/750V,
800V, 850V (7), change the high voltage path) L/pass (7) size and set the target resistance value (for example, ±3%).
). Therefore, a large number of high voltage setting steps are required, and many time-consuming steps such as pulse generation, measurement waiting time, and high voltage setting are required, and furthermore, many repetitive steps are required.

トリミングに要する時間が長くなっていた。The time required for trimming was increasing.

[発明の目的] この発明の目的は、上述したように従来の並列処理によ
るトリミング方法が、それぞれその電圧値が異なるパル
スを多数回印加するため、全体的なトリミング時間が短
縮できない点に着目し、パルスの印加回数を従来より大
幅に削減し全体的なトリミング時間を短縮して所望の抵
抗値に設定することができる厚膜抵抗アレーのトリミン
グ方法を提供することである。
[Objective of the Invention] The object of the present invention is to focus on the fact that, as mentioned above, the conventional trimming method using parallel processing applies a large number of pulses each having a different voltage value, so that the overall trimming time cannot be shortened. An object of the present invention is to provide a method for trimming a thick film resistor array, which can significantly reduce the number of pulse applications compared to the conventional method, shorten the overall trimming time, and set a desired resistance value.

〔発明の構成] この発明の厚膜抵抗アレーのトリミング方法は、1つの
抵抗素子に対してそれぞれ電圧値の異なる高電圧パルス
を印加することにより抵抗素子の抵抗値の変化率を予め
測定し、被処理抵抗素子の初期抵抗値を測定して所望の
抵抗値にするための目標抵抗変化率を求め、まず目標抵
抗変化率の略半分の第1の抵抗変化率に対応する高電圧
パルスを複数回印加し1次いで目標抵抗変化率と第1の
抵抗変化率の差の略半分の抵抗変化率を第1の抵抗変化
率を加えた第2の抵抗変化率に対応する高電圧パルスを
複数回印加するようにして目標抵抗変化率に近ずけるよ
うに抵抗素子をトリミングすることを特徴とするもので
ある。
[Structure of the Invention] The method for trimming a thick film resistor array of the present invention includes measuring the rate of change in the resistance value of a resistor element in advance by applying high voltage pulses having different voltage values to each resistor element, The initial resistance value of the resistance element to be processed is measured to determine the target resistance change rate to achieve the desired resistance value, and first, a plurality of high voltage pulses corresponding to a first resistance change rate that is approximately half of the target resistance change rate are applied. A high voltage pulse is applied multiple times, and then a high voltage pulse corresponding to a second resistance change rate obtained by adding the first resistance change rate to a resistance change rate that is approximately half the difference between the target resistance change rate and the first resistance change rate is applied multiple times. The feature is that the resistance element is trimmed so that the resistance change rate approaches the target resistance change rate by applying the voltage.

[実 施 例コ 以下、この発明の一実施例を上述した第1図および第3
,4図により説明する。抵抗アレー1を構成する複数個
の抵抗素子2の内、1つの抵抗素子2を取出し、パルス
幅を1定にした高電圧パルスを、例えば第3図に示すよ
うにO■から1000Vの範囲内で種々変えて、この抵
抗素子2に印加する。この時の抵抗素子2の抵抗値の変
化を示す曲線データを得ておく。すなわち、例えば20
0Vの高電圧パルスを印加すると、抵抗素子2の抵抗値
が何%変化するかのデータを事前に得ておく。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 3.
, 4 will be explained. One resistor element 2 is taken out of the plurality of resistor elements 2 constituting the resistor array 1, and a high voltage pulse with a constant pulse width is applied within the range of 0 to 1000 V, for example, as shown in FIG. The voltage is applied to this resistance element 2 with various changes. Curve data indicating the change in resistance value of the resistance element 2 at this time is obtained in advance. That is, for example 20
Data on the percentage change in the resistance value of the resistance element 2 when a high voltage pulse of 0V is applied is obtained in advance.

具体的にトリミングすべき抵抗アレー1の抵抗素子2の
初期抵抗値をプローブ6と7および抵抗測定装置9によ
り測定する。この結果、抵抗素子2の目標の抵抗値がこ
の初期抵抗値の一27%であるとする。まず、この−2
7%の半分である−13.5%まで下げるに必要な電圧
値を第3図の曲線データを基にして求める。第3′図に
よれば、−13,5%まで下げるには400■の高電圧
パルスが必要である。そこで400Vの高電圧パルスを
制御装置10、プログラム電源11およびパルス発生回
路12により、抵抗素子2に2回印加して、 −13,
5%までトリミングする。次いで、現在の−13,5%
と目標値の一27%の差である−13.5%の半分であ
る−6.75%を現在の−13,5%に加えた−20.
25%まで下げるに必要な電圧値である510Vを第3
図から求め、この510vの高電圧パルスを同様にして
抵抗素子2に2回印加して、−20,25%までトリミ
ングする。この時のパーセンティジである− 20.2
5%と目標のパーセンティジである一27%との差であ
る−6.75%の半分である−3.37%を現在の−2
0,25%に加えた−23.62%まで下げるに必要な
電圧値である600vを第3図から求め、この600V
の高電圧パルスを同様にして抵抗素子2に2回印加して
、−23,62%までトリミングする。最後に、−27
%と−23,62%の差である−3.8%の半分の−1
,9%を−23,62%に加えた−25.52%に対応
する660Vの高電圧パルスを同様にして抵抗素子2に
2回印加して、−25,52%までトリミングする。こ
の4回のトリミングにより略目標値に達したことになる
Specifically, the initial resistance value of the resistance element 2 of the resistance array 1 to be trimmed is measured using the probes 6 and 7 and the resistance measuring device 9. As a result, it is assumed that the target resistance value of the resistance element 2 is 127% of this initial resistance value. First, this -2
The voltage value required to lower the voltage to -13.5%, which is half of 7%, is determined based on the curve data shown in FIG. According to FIG. 3', 400 high voltage pulses are required to reduce the voltage to -13.5%. Therefore, a high voltage pulse of 400V is applied twice to the resistance element 2 by the control device 10, the program power supply 11, and the pulse generation circuit 12, and -13,
Trim to 5%. Then -13,5% of the current
-6.75%, which is half of -13.5%, which is the difference between the target value and the target value of -27%, is added to the current -13.5%, which is -20.
The third voltage is 510V, which is the voltage value required to lower the voltage to 25%.
This high voltage pulse of 510 V is similarly applied to the resistance element 2 twice to trim it to -20 and 25%. The percentage at this time is - 20.2
The difference between 5% and the target percentage of -27%, which is -6.75%, is half of -3.37%, which is the current -2
600V, which is the voltage value required to lower the voltage to -23.62% added to 0.25%, is determined from Figure 3, and this 600V
Similarly, a high voltage pulse of 2 is applied to the resistance element 2 twice to trim it to -23.62%. Finally, -27
-1 which is half of -3.8% which is the difference between % and -23.62%
. Through these four trimmings, the target value has almost been reached.

この実施例では3つの異なった高電圧パルスをそれぞれ
2回ずつ印加しているが、これは第4図に示すように、
同一電圧パルス(ここでは400V)を複数回抵抗素子
に印加した場合の抵抗値の変化率は、1回目の高電圧パ
ルスの印加でトリミング効果の大半が得られ、それ以降
は飽和していくことに着目したものである。そこで、安
全を見込んで1度設定した高電圧に対して、2回のパル
スを印加して、トリミングを完全に飽和させておき、そ
れ以降のトリミングの不規則な変化を除去している。
In this example, three different high voltage pulses are applied twice each, as shown in Figure 4.
The rate of change in resistance value when the same voltage pulse (400V in this case) is applied to a resistive element multiple times is that most of the trimming effect is obtained when the first high voltage pulse is applied, and saturates after that. The focus is on Therefore, to ensure safety, two pulses are applied to a high voltage that has been set once to completely saturate the trimming, and any subsequent irregular changes in trimming are removed.

第3図の曲線に対応してパルス電圧を選択したり、パル
スの回数を決めたり、一連のシーケンスを制御するには
、制御装置10内にマイクロコンピュータを設け、これ
により制御すればよい。
In order to select a pulse voltage, determine the number of pulses, and control a series of sequences in accordance with the curve shown in FIG. 3, a microcomputer may be provided in the control device 10, and the control may be performed using the microcomputer.

[発明の効果] 以上のように、この発明の厚膜抵抗アレーのトリミング
方法は、1つの抵抗素子に対してそれぞれ電圧値の異な
る高電圧パルスを印加して抵抗素子の抵抗値の変化率を
予め測定しておき、処理すべき抵抗素子の初期抵抗値を
測定して所望の抵抗値にするための目標抵抗変化率を求
め、まず、この目標抵抗変化率の略半分の抵抗変化率に
対する高電圧値を上記の測定データから求め、その値の
高電圧パルスを印加して第1回目のトリミングを行い、
次いでこの第1回目のトリミングによる抵抗変化率と目
標抵抗変化率の差分の略半分の値を第1回目のトリミン
グの抵抗変化率に加えた抵抗変化率に対応する高電圧値
を上記の測定データから求め、その値の高電圧パルスを
印加して第2回目のトリミングを行うというようにして
、目標抵抗変化率まであるいはその近くまでトリミング
するものである。したがって、従来のトリミング方法に
比ムでトリミング回数を少なくすることができ、サーマ
ルテリントヘッド全体のトリミングに要する時間は大幅
に減少させることができる。さらにこの方法を実施する
装置は、従来の装置をそのシーケンスを変えるだけの簡
単な変更で利用できる。
[Effects of the Invention] As described above, the thick film resistor array trimming method of the present invention applies high voltage pulses with different voltage values to each resistor element to adjust the rate of change in the resistance value of the resistor element. Measure the initial resistance value of the resistance element to be processed in advance to find the target resistance change rate to achieve the desired resistance value. The voltage value is determined from the above measurement data, and a high voltage pulse of that value is applied to perform the first trimming.
Next, the high voltage value corresponding to the resistance change rate obtained by adding approximately half the difference between the resistance change rate due to this first trimming and the target resistance change rate to the resistance change rate due to the first trimming is calculated using the above measured data. By applying a high voltage pulse of that value and performing the second trimming, trimming is performed to or near the target resistance change rate. Therefore, the number of times of trimming can be reduced compared to conventional trimming methods, and the time required for trimming the entire thermal terint head can be significantly reduced. Furthermore, an apparatus for carrying out this method can be used by simply modifying a conventional apparatus by changing its sequence.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は基本的なトリミングのシステムを概略的に示す
図、第2図はトリミングの基本的な手順を示す図、第3
図は高電圧パルスに対する抵抗値の変化率の曲線カーブ
を示すグラフ、第4図はパルス印加数に対する抵抗値変
化を示すグラフである。 図面中、1は抵抗アレー、2は抵抗素子、6゜7はプロ
ーブ、9は抵抗測定装置、12はパルス発生回路である
。 特許出願人・ 株式会社富士通ゼネラル代理人 弁理士
  大 原  拓 也 第1図 ち
Figure 1 is a diagram schematically showing the basic trimming system, Figure 2 is a diagram showing the basic trimming procedure, and Figure 3 is a diagram showing the basic trimming procedure.
The figure is a graph showing a curve of the rate of change in resistance value with respect to high voltage pulses, and FIG. 4 is a graph showing the change in resistance value with respect to the number of applied pulses. In the drawing, 1 is a resistor array, 2 is a resistor element, 6.7 is a probe, 9 is a resistance measuring device, and 12 is a pulse generation circuit. Patent Applicant/Fujitsu General Co., Ltd. Representative Patent Attorney Takuya Ohara Figure 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  基板上に複数の抵抗素子が厚膜印刷により設けられた
厚膜抵抗アレーの前記各抵抗素子に高電圧パルスを印加
することにより所定の抵抗値に設定するトリミング方法
において、1つの前記抵抗素子に対してそれぞれ電圧値
の異なる高電圧パルスを印加することにより前記抵抗素
子の抵抗値の変化率を予め測定し、被処理抵抗素子の初
期抵抗値を測定して所望の抵抗値にするための目標抵抗
変化率を求め、まず前記目標抵抗変化率の略半分の第1
の抵抗変化率に対応する高電圧パルスを複数回印加し、
次いで前記目標抵抗変化率と前記第1の抵抗変化率の差
の略半分の抵抗変化率を前記第1の抵抗変化率を加えた
第2の抵抗変化率に対応する高電圧パルスを複数回印加
するようにして前記目標抵抗変化率に近づけるように前
記抵抗素子をトリミングすることを特徴とする厚膜抵抗
アレーのトリミング方法。
In a trimming method in which a predetermined resistance value is set by applying a high voltage pulse to each of the resistance elements of a thick film resistance array in which a plurality of resistance elements are provided on a substrate by thick film printing, one of the resistance elements is set to a predetermined resistance value. The rate of change in the resistance value of the resistance element is measured in advance by applying high voltage pulses with different voltage values to the resistor element, and the initial resistance value of the resistance element to be processed is measured to achieve a desired resistance value. The resistance change rate is determined, and the first resistance change rate is approximately half of the target resistance change rate.
A high voltage pulse corresponding to the resistance change rate is applied multiple times,
Next, a high voltage pulse corresponding to a second resistance change rate obtained by adding a resistance change rate that is approximately half the difference between the target resistance change rate and the first resistance change rate to the first resistance change rate is applied multiple times. A method for trimming a thick film resistor array, characterized in that the resistor element is trimmed so as to approach the target resistance change rate.
JP61124941A 1986-05-30 1986-05-30 Method of trimming thick film resistance array Pending JPS62281402A (en)

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