JPS62282442A - 半田付検査装置 - Google Patents
半田付検査装置Info
- Publication number
- JPS62282442A JPS62282442A JP12617386A JP12617386A JPS62282442A JP S62282442 A JPS62282442 A JP S62282442A JP 12617386 A JP12617386 A JP 12617386A JP 12617386 A JP12617386 A JP 12617386A JP S62282442 A JPS62282442 A JP S62282442A
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- Japan
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- solder
- silver
- light
- reflected light
- illuminator
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野］
本発明は、半導体装置の組立工程における半田付検査装
置に関し、不良製品製造の防止に関するものである。
置に関し、不良製品製造の防止に関するものである。
従来の半田付検査装置の構成について第５図〜第７図を
用いて説明する。第５図〜第７図において、１はＩＣフ
レーム、２はＩＣフレーム１の一部であるダイスバンド
、３はダイスパッド２の表面上にメッキされた銀、４は
恨３の上に乗せられた半田、５は半田４の上部に例えば
θ０＝１０度に傾けて取り付けられた照光器、６は照光
器５と対称的に半田４の上部に傾けて取り付けられたカ
メラ部、７はカメラ部６と電気的に接続され演算処理す
るマイクロコンピュータ部（以下「マイコン部」という
）、７ａはマイコン部７を構成するカメラインタフェー
ス部、７ｂはマイコン部７を構成しカメラインタフェー
ス部７ａと電気的に接続されたＣＰＵ部、８はカメライ
ンタフェース部７ａと電気的に接続された表示部である
。
用いて説明する。第５図〜第７図において、１はＩＣフ
レーム、２はＩＣフレーム１の一部であるダイスバンド
、３はダイスパッド２の表面上にメッキされた銀、４は
恨３の上に乗せられた半田、５は半田４の上部に例えば
θ０＝１０度に傾けて取り付けられた照光器、６は照光
器５と対称的に半田４の上部に傾けて取り付けられたカ
メラ部、７はカメラ部６と電気的に接続され演算処理す
るマイクロコンピュータ部（以下「マイコン部」という
）、７ａはマイコン部７を構成するカメラインタフェー
ス部、７ｂはマイコン部７を構成しカメラインタフェー
ス部７ａと電気的に接続されたＣＰＵ部、８はカメライ
ンタフェース部７ａと電気的に接続された表示部である
。
次に、このように構成された従来の装置の動作について
説明する。第５図、第７図において、照光器５により発
せられた光は、平面の半田４と銀３に当てられ、正反射
してカメラ部６側に到達する。この場合、材質の違いに
より、半田４の表面反射光量は銀３の表面反射光量を下
回り、カメラ部６により半田４と銀３が撮像され、電気
信号に変換される。従って、半田４の表面反射光量によ
る電気信号の電圧レベル（以下「半田反射光レベル」と
いう）はｉｌ ３の表面反射光量による電気信号の電圧
レベル（以下ｒ！Ｉｉ！反射光レベル」という）を下回
る。
説明する。第５図、第７図において、照光器５により発
せられた光は、平面の半田４と銀３に当てられ、正反射
してカメラ部６側に到達する。この場合、材質の違いに
より、半田４の表面反射光量は銀３の表面反射光量を下
回り、カメラ部６により半田４と銀３が撮像され、電気
信号に変換される。従って、半田４の表面反射光量によ
る電気信号の電圧レベル（以下「半田反射光レベル」と
いう）はｉｌ ３の表面反射光量による電気信号の電圧
レベル（以下ｒ！Ｉｉ！反射光レベル」という）を下回
る。
カメラインタフェース部７ａでは、電圧しきい値となる
基準電圧レベルを設定し、入力電気信号の電圧レベルが
この基準電圧レベルより上まわっている場合は「ｌ」、
下まわっている場合は「０」の論理レベルを出力する。
基準電圧レベルを設定し、入力電気信号の電圧レベルが
この基準電圧レベルより上まわっている場合は「ｌ」、
下まわっている場合は「０」の論理レベルを出力する。
すなわち、半田反射光レベルと銀反射光レベルの中間に
上記基準電圧レベルを設定すれば、銀反射光レベルが入
力された場合は「ｌ」、半田反射光レベルが入力された
場合は「０」の論理レベルが出力されることとなる。こ
の論理レベルの論理信号は０２０部７ｂに入力される。
上記基準電圧レベルを設定すれば、銀反射光レベルが入
力された場合は「ｌ」、半田反射光レベルが入力された
場合は「０」の論理レベルが出力されることとなる。こ
の論理レベルの論理信号は０２０部７ｂに入力される。
このことにより、０２０部７ｂでは、半田４と銀３がｒ
ＯＪと「１」の論理レベルで判別されることとなる。
ＯＪと「１」の論理レベルで判別されることとなる。
従来の半田付検査装置は以上のように構成されているの
で、半田４又はＩＣフレーム１が傾いた場合、あるいは
、第８図に示すように銀３の表面形状が滑らかでなく波
打っている場合、一方のみからの光では銀３の表面反射
光量が落ち、半田反射光レベルがｒ ｌ Ｊ 、銀反射
光レベルが「０」となって０２０部７ｂへ送られ、半田
４と！Ｉ３とが判別できない場合があるという不安定要
素を持っている。
で、半田４又はＩＣフレーム１が傾いた場合、あるいは
、第８図に示すように銀３の表面形状が滑らかでなく波
打っている場合、一方のみからの光では銀３の表面反射
光量が落ち、半田反射光レベルがｒ ｌ Ｊ 、銀反射
光レベルが「０」となって０２０部７ｂへ送られ、半田
４と！Ｉ３とが判別できない場合があるという不安定要
素を持っている。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、安定して半田と銀との判別がで
きる半田付検査装置を得ることにある。
の目的とするところは、安定して半田と銀との判別がで
きる半田付検査装置を得ることにある。
このような目的を達成するために本発明は、撮・像対象
物である半田と銀とを撮像して電気信号に変換するカメ
ラ部と、このカメラ部より送られる電気信号で半田と銀
とを判別する電気信号判別部と、を騒像対象物を照らす
照光器と、撮像対象物口りに配設され照光器の光を散乱
光に変換するフィルタ部とを装置に設けるようにしたも
のである。
物である半田と銀とを撮像して電気信号に変換するカメ
ラ部と、このカメラ部より送られる電気信号で半田と銀
とを判別する電気信号判別部と、を騒像対象物を照らす
照光器と、撮像対象物口りに配設され照光器の光を散乱
光に変換するフィルタ部とを装置に設けるようにしたも
のである。
本発明においては、照光器により発せられた光が半田と
銀とを囲むフィルタ部を通り、散乱光となって半田と銀
とに照射する。
銀とを囲むフィルタ部を通り、散乱光となって半田と銀
とに照射する。
本発明に係わる半田付検査装置の一実施例を第１図に示
す。第１図において、９は球面が半田４から等距離面と
なるように半田４のまわりに配設されたフィルタ部とし
ての半球状透過紙、１０は半球状透過紙９の上部に水平
よりθ１＝２０度傾けて置かれた照光器である。第２図
は半球状透過紙９による散乱光とカメラ部６の方向に向
かう反射光とを示す光状態図である。第１図および第２
図において第５図〜第８図と同一部分又は相当部分には
同一符号が付しである。
す。第１図において、９は球面が半田４から等距離面と
なるように半田４のまわりに配設されたフィルタ部とし
ての半球状透過紙、１０は半球状透過紙９の上部に水平
よりθ１＝２０度傾けて置かれた照光器である。第２図
は半球状透過紙９による散乱光とカメラ部６の方向に向
かう反射光とを示す光状態図である。第１図および第２
図において第５図〜第８図と同一部分又は相当部分には
同一符号が付しである。
照光器１０から発せられた光は半球状透過紙９を通り、
散乱光として半田４と銀３に照射される。
散乱光として半田４と銀３に照射される。
このように、照光器ｌＯから発せられた光が１方向のみ
であっても、半球状透過紙９により種々の方向の光に変
換される。カメラ部６が半田４又は銀３の上方向すなわ
ち第１図の方向にあると、第３図、第４図に示すように
、カメラ部６方向に向かう光は矢印で示されたものとな
る。この散乱光により上方向に向かう光の鼠は半田４又
は銀３の表面積に対し正の相関となる。第３図、第４図
から分かるように、カメラ部６方向に向かう半田４の反
射光はある１方向からのみの入射光（入射角θ２）に対
するものであり、カメラ部６方向に向かう銀３の反射光
は種々の方向からの入射光（入射角θ３．θ４．θ５）
に対するものである。このように、銀３の表面は凹凸が
あるので、銀３の表面反射光量の方が半田４の表面反射
光量を上まわる。従って、カメラ部６より送られて来る
電気信号は、電気信号判別部としてのカメラインタフェ
ース部７ａで、基準電圧レベルにより、半田反射光レベ
ルが「０」、銀反射光レベルが「１」となり、ＣＰＵ部
７ｂは半田４と銀３の判別が可能となる。
であっても、半球状透過紙９により種々の方向の光に変
換される。カメラ部６が半田４又は銀３の上方向すなわ
ち第１図の方向にあると、第３図、第４図に示すように
、カメラ部６方向に向かう光は矢印で示されたものとな
る。この散乱光により上方向に向かう光の鼠は半田４又
は銀３の表面積に対し正の相関となる。第３図、第４図
から分かるように、カメラ部６方向に向かう半田４の反
射光はある１方向からのみの入射光（入射角θ２）に対
するものであり、カメラ部６方向に向かう銀３の反射光
は種々の方向からの入射光（入射角θ３．θ４．θ５）
に対するものである。このように、銀３の表面は凹凸が
あるので、銀３の表面反射光量の方が半田４の表面反射
光量を上まわる。従って、カメラ部６より送られて来る
電気信号は、電気信号判別部としてのカメラインタフェ
ース部７ａで、基準電圧レベルにより、半田反射光レベ
ルが「０」、銀反射光レベルが「１」となり、ＣＰＵ部
７ｂは半田４と銀３の判別が可能となる。
なお、上記半球状透過紙９は、筒形にしてもよいし、材
質をスリガラスにしてもよい。
質をスリガラスにしてもよい。
以上説明したように本発明は、通過光が散乱光となるフ
ィルタ部を半田と銀の回りに設けたことにより、表面積
の多い銀による反射光量の方が必ず半田による反射光量
よりも多くなるので、半田と銀との誤認識のない半田付
検査装置を得ることができる効果がある。
ィルタ部を半田と銀の回りに設けたことにより、表面積
の多い銀による反射光量の方が必ず半田による反射光量
よりも多くなるので、半田と銀との誤認識のない半田付
検査装置を得ることができる効果がある。
第１図は本発明に係わる半田付検査装置の一実施例を示
す構成図、第２図は半球状透過紙による散乱光を示す光
状態図、第３図および第４図は半田および銀の表面にお
ける光の反射を示す説明図、第５図は従来の半田付検査
装置を示す構成図、第６図はＩＣフレームを示す平面図
、第７図、第８図は半田、銀の表面における光の反射を
示す説明図である。 ■・・・Ｉｃフレーム、２・・・ダイスパッド、３・・
・ｉ艮、４・・・半田、５・・・照光器、６・・・カメ
ラ部、７・・・マイコン部、？ ａ ・−・カメライン
タフェース部、７ｂ・・・ＣＰＵ部、８・・・表示部、
９・・・半球状透過紙、１０・・・照光器。
す構成図、第２図は半球状透過紙による散乱光を示す光
状態図、第３図および第４図は半田および銀の表面にお
ける光の反射を示す説明図、第５図は従来の半田付検査
装置を示す構成図、第６図はＩＣフレームを示す平面図
、第７図、第８図は半田、銀の表面における光の反射を
示す説明図である。 ■・・・Ｉｃフレーム、２・・・ダイスパッド、３・・
・ｉ艮、４・・・半田、５・・・照光器、６・・・カメ
ラ部、７・・・マイコン部、？ ａ ・−・カメライン
タフェース部、７ｂ・・・ＣＰＵ部、８・・・表示部、
９・・・半球状透過紙、１０・・・照光器。
Claims (3)
- （１）撮像対象物である半田と銀とを撮像して電気信号
に変換するカメラ部と、このカメラ部より送られる電気
信号で前記半田と銀とを判別する電気信号判別部と、撮
像対象物を照らす照光器と、前記撮像対象物回りに配設
され照光器の光を散乱光に変換するフィルタ部とを備え
たことを特徴とする半田付検査装置。 - （２）フィルタ部は、半球状透過紙を使うことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の半田付検査装置。 - （３）フィルタ部は、スリガラスを使うことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の半田付検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617386A JPS62282442A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 半田付検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617386A JPS62282442A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 半田付検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62282442A true JPS62282442A (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=14928485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12617386A Pending JPS62282442A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 半田付検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62282442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263540A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | パターン検出装置 |
| JPH01152248U (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-20 | ||
| KR20010108632A (ko) * | 2000-05-30 | 2001-12-08 | 한종훈 | 반도체소자의 솔더 볼 검사 장치 및 방법 |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP12617386A patent/JPS62282442A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01152248U (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-20 | ||
| JPH01263540A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | パターン検出装置 |
| KR20010108632A (ko) * | 2000-05-30 | 2001-12-08 | 한종훈 | 반도체소자의 솔더 볼 검사 장치 및 방법 |
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