JPS6228641A - 液体感知器 - Google Patents
液体感知器Info
- Publication number
- JPS6228641A JPS6228641A JP60167814A JP16781485A JPS6228641A JP S6228641 A JPS6228641 A JP S6228641A JP 60167814 A JP60167814 A JP 60167814A JP 16781485 A JP16781485 A JP 16781485A JP S6228641 A JPS6228641 A JP S6228641A
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- JP
- Japan
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- liquid
- coating layer
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- light
- waveguide
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/43—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length by measuring critical angle
- G01N21/431—Dip refractometers, e.g. using optical fibres
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は油等の液体の存否を光学的に感知する液体感知
器に関する。
器に関する。
最近、石油備蓄基地や石油化学プラント等で油洩れ事故
が多発しており、このような事故を早期に発見するため
の法的規制等によって信頼度の高酸る被覆層とで構成さ
れている。
が多発しており、このような事故を早期に発見するため
の法的規制等によって信頼度の高酸る被覆層とで構成さ
れている。
上記の感知器の両端を光源及び光検出器に光ファイバを
介して光学的に接続し、感知器を油洩れを検出したい箇
所に配置しておくと、油洩れが発生していない状態、つ
まり液体感知器に油が付着していない状態では光導波路
中を伝搬する光はシリコン樹脂被覆層と光導波路との境
界で全反射し、低損失で出射端まで伝搬する。ところが
屈折率の大きな油が液体感知器に付着し、被覆層内へ浸
潤すると被覆層樹脂の屈折率が増大する。この結果、光
導波路と被覆層との境界で全反射されることなく伝搬光
が外部に出射し、出射端まで伝搬する光の量が油の浸潤
前に比べて減少する。
介して光学的に接続し、感知器を油洩れを検出したい箇
所に配置しておくと、油洩れが発生していない状態、つ
まり液体感知器に油が付着していない状態では光導波路
中を伝搬する光はシリコン樹脂被覆層と光導波路との境
界で全反射し、低損失で出射端まで伝搬する。ところが
屈折率の大きな油が液体感知器に付着し、被覆層内へ浸
潤すると被覆層樹脂の屈折率が増大する。この結果、光
導波路と被覆層との境界で全反射されることなく伝搬光
が外部に出射し、出射端まで伝搬する光の量が油の浸潤
前に比べて減少する。
従って、上記の導波路感知器に接続した光検出器での受
光量変化を監視すれば油洩れを感知することができる。
光量変化を監視すれば油洩れを感知することができる。
□“・から光検出器における受光量変化までに時間がか
！ かり検出が遅れるという問題があった。
！ かり検出が遅れるという問題があった。
ζ
ｊ）特に粘性の大きい液体の場合数時間の検出遅れを生
じることもある。
じることもある。
の屈折率の増加はＯ１５％程度しかなく、従来構造の感
知器ではＣ重油を検出できず適用範囲が狭いという問題
もあった。
知器ではＣ重油を検出できず適用範囲が狭いという問題
もあった。
光源および光検出器に光学的に接続した平板光導波路等
の導光体の露出外面の要所を連続多孔質体から成る被覆
層で覆って感知器を構成する。
の導光体の露出外面の要所を連続多孔質体から成る被覆
層で覆って感知器を構成する。
上記の連続多孔質体から成る被覆層は、合成樹脂、セラ
ミクス等種々の材質で形成し得るが、被検出液体が油類
の場合は水分浸透による誤検出を防ぐため撥水性をもた
せることが望ましく、特に四弗化エチレン樹脂等の弗化
エチレン樹脂が好適である。また連続気孔の毛管現象に
よる被覆層中への被検出液体浸透を可及的に速やかにす
るためには、被覆層は導光体に対しオプティカルコンタ
クトではなく非接着状態で圧着しておくのが望ましい。
ミクス等種々の材質で形成し得るが、被検出液体が油類
の場合は水分浸透による誤検出を防ぐため撥水性をもた
せることが望ましく、特に四弗化エチレン樹脂等の弗化
エチレン樹脂が好適である。また連続気孔の毛管現象に
よる被覆層中への被検出液体浸透を可及的に速やかにす
るためには、被覆層は導光体に対しオプティカルコンタ
クトではなく非接着状態で圧着しておくのが望ましい。
１：定押の作用〕
′感知器の被覆層に油等の被検出液体が付着する、５と
＝１被覆層が連続多孔質体であるので気孔を通っ、、、
’１ て毛管現象圧より速やかに液体が浸透して導光体へ表面
に達し、平常時つまり大気と接触している時に比べて導
光体外表面における屈折率が増大するこの結果１、導光
体からの出射光量が減少するので、光検出器で受光量変
化を監視することにより液体の付着を知ることができる
。
＝１被覆層が連続多孔質体であるので気孔を通っ、、、
’１ て毛管現象圧より速やかに液体が浸透して導光体へ表面
に達し、平常時つまり大気と接触している時に比べて導
光体外表面における屈折率が増大するこの結果１、導光
体からの出射光量が減少するので、光検出器で受光量変
化を監視することにより液体の付着を知ることができる
。
以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図、第２図は本発明に係る液体感知器の斜視図及び
側断面図であり、屈折率がｎｌであるガラス、プラスチ
ック等の透光性基板／／中には、ｎｌよりも大な屈折率
ｎ２を有する光導波路１２が形成されている。
側断面図であり、屈折率がｎｌであるガラス、プラスチ
ック等の透光性基板／／中には、ｎｌよりも大な屈折率
ｎ２を有する光導波路１２が形成されている。
光導波路は入射端近傍を出射端近傍において単一路でそ
の中間では二本の分岐路／２Ｃ，／２０に分岐している
。
の中間では二本の分岐路／２Ｃ，／２０に分岐している
。
そして入射端／？Ａと出射端／２Ｂの近傍の光導波路１
２は基板ｌｌ中に完全に埋め込まれているが、われでい
る。この被覆層１３は連続多孔質体、例いて基板に対し
図外の弾性止着具で留めることにより圧着させておく。
２は基板ｌｌ中に完全に埋め込まれているが、われでい
る。この被覆層１３は連続多孔質体、例いて基板に対し
図外の弾性止着具で留めることにより圧着させておく。
そして導波路／２の入射端／２Ａ側には光ファイバ１５
の一端を接続しファイバ／ｊの他端を光源に接続する。
の一端を接続しファイバ／ｊの他端を光源に接続する。
また導波路／コの出射端／２Ｂには他の光ファイバ／ｊ
の一端を接続するとともに、他端を光検出器に接続する
。光源から出て導波路／２に入射し伝播する光は導波路
露出部／２Ｄでも全反射されて伝播し、出射側の光ファ
イバー５に低損失で出射される。
の一端を接続するとともに、他端を光検出器に接続する
。光源から出て導波路／２に入射し伝播する光は導波路
露出部／２Ｄでも全反射されて伝播し、出射側の光ファ
イバー５に低損失で出射される。
もし屈折率の大な油等の被検出液体が被覆層／３ＶＣ付
着すると連続気孔を通して被覆層／３内に浸透し導波路
露出面／２’ｆ）に達してこの面を濡らす。
着すると連続気孔を通して被覆層／３内に浸透し導波路
露出面／２’ｆ）に達してこの面を濡らす。
この結果、被検出液に接触している露出面／２Ｄでは伝
播光が全反射されず、導波路／、２中を伝播する光の量
が減少し、光検出器で検出される受光−′ ／２Ｄのみならずこの露出面／２Ｄに連なっている基−
′板板面面／Ａをも覆うように設けておけば、露出部’
、、、１ □１１ 一／、１．２Ｄから外れた部分で被覆層／３に付着した
油等メ被検出液も連続気孔を通って露出部ｌコＤの部分
＋Ｊノ にまで浸透し、また光導波路／２が２本の分岐路！２Ｃ
，！２Ｃに分岐しているので導波路／２の幅よりもはる
かに広い範囲にわたって油洩れを感知することかできる
。
播光が全反射されず、導波路／、２中を伝播する光の量
が減少し、光検出器で検出される受光−′ ／２Ｄのみならずこの露出面／２Ｄに連なっている基−
′板板面面／Ａをも覆うように設けておけば、露出部’
、、、１ □１１ 一／、１．２Ｄから外れた部分で被覆層／３に付着した
油等メ被検出液も連続気孔を通って露出部ｌコＤの部分
＋Ｊノ にまで浸透し、また光導波路／２が２本の分岐路！２Ｃ
，！２Ｃに分岐しているので導波路／２の幅よりもはる
かに広い範囲にわたって油洩れを感知することかできる
。
第３図に本発明の第２実施例を示す。
本例では透光性基板ｌｌ中の光導波路／２は基板表面に
対し一定の角度ψで遠近を繰り返す屈曲路となっており
、一定間隔をおいた屈曲部が基板ｌｌの表面／／Ａ、に
露出して露出部／２Ｄを形成して１１、ｊ い順。そしてこれら間隔をおいた露出部１２Ｄ・・・・
・・・、・： が）連続多孔質体から成る共通の被覆層／３で覆っであ
る。
対し一定の角度ψで遠近を繰り返す屈曲路となっており
、一定間隔をおいた屈曲部が基板ｌｌの表面／／Ａ、に
露出して露出部／２Ｄを形成して１１、ｊ い順。そしてこれら間隔をおいた露出部１２Ｄ・・・・
・・・、・： が）連続多孔質体から成る共通の被覆層／３で覆っであ
る。
このように構成すると露出面／１２Ｄに入射する光の入
射角がψだけ小さくなるので、第１の実施例構造に比べ
、より小さな屈折率を有する液体の付着も感知できる。
射角がψだけ小さくなるので、第１の実施例構造に比べ
、より小さな屈折率を有する液体の付着も感知できる。
つまり第１実施例では基板の屈折率ｎｌよりも小さい屈
折率の液体の検出は困難であるが、第２実知できる。ま
た露出面／２Ｄの数を増やせば光量の変化も大きくなり
検出感度が上がる。第グ図は本発明に係る第３実施例の
液体感知器の側断面図であり、第５図は同正面図である
。
折率の液体の検出は困難であるが、第２実知できる。ま
た露出面／２Ｄの数を増やせば光量の変化も大きくなり
検出感度が上がる。第グ図は本発明に係る第３実施例の
液体感知器の側断面図であり、第５図は同正面図である
。
ラスチック等の透明半円柱体ｌりで構成されてい−る。
集束性レンズ１７は周知のように屈折率が中したがって
上記の感知器／１４は、平担側面／６Ａの中心０で屈折
率が最大で平担側面／乙Ａの両側縁および円弧側面／、
＜Ｈに向けて次第に減少する屈折率分布を有している。
上記の感知器／１４は、平担側面／６Ａの中心０で屈折
率が最大で平担側面／乙Ａの両側縁および円弧側面／、
＜Ｈに向けて次第に減少する屈折率分布を有している。
また検出部の長さｌは集束性レンズ１７の光線蛇行周期
の／／２ピッチの整数倍、−例として／／コピッチとし
である。
の／／２ピッチの整数倍、−例として／／コピッチとし
である。
感知器の上記平担側面７６Ａが液体の検出面であり、こ
の検出面ｌ乙Ａは連続多孔質体から成る被覆層１３で覆
っである。また両端面／６Ｇ、＃Ｄは光軸に垂直な平行
平滑面にしてあり、一方の端面／乙Ｇの円弧側面寄りの
位置に、光源からの光を感知器内に導入する入射用光フ
ァイバ／ｉの一端を接続し、また他端面ｌ≦Ｄの対称位
置に出射光を受光器付し検出面＃、ＡＫ至る。通常は伝
送光は検出面で全反射されファイバ／ｊＢに出射する。
の検出面ｌ乙Ａは連続多孔質体から成る被覆層１３で覆
っである。また両端面／６Ｇ、＃Ｄは光軸に垂直な平行
平滑面にしてあり、一方の端面／乙Ｇの円弧側面寄りの
位置に、光源からの光を感知器内に導入する入射用光フ
ァイバ／ｉの一端を接続し、また他端面ｌ≦Ｄの対称位
置に出射光を受光器付し検出面＃、ＡＫ至る。通常は伝
送光は検出面で全反射されファイバ／ｊＢに出射する。
もし被覆層ｉ！。
て出射される光量が減少する。
上記の実施例ではｌを／／２ピンチの長さとしたが、／
／２ピッチの２倍以上の長さ、例えば第７図に示すよう
に３倍の長さにとれば、実質的な検知面積を３倍に増加
させることができ、しかも液体を感知したときの光量の
変化も３倍に増加して検出感度を改善できる。第ｇ図に
自己集束性の導光体を用いた他の実施例を示す。
／２ピッチの２倍以上の長さ、例えば第７図に示すよう
に３倍の長さにとれば、実質的な検知面積を３倍に増加
させることができ、しかも液体を感知したときの光量の
変化も３倍に増加して検出感度を改善できる。第ｇ図に
自己集束性の導光体を用いた他の実施例を示す。
本例は、イオン拡散法、ＣＶＤ法、共重合法等の方法に
よりガラスあるいはプラスチックの平板基材２１中に前
述の屈折率分布をもった半円柱状の導波路１２を、露出
部／２Ｄを基材２／の板面２／Ａと一致させて一体に埋
め込み形成し、さらに基板２ノの面に、上記露出部／２
Ｄを覆うように且つ導波路／−の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ
２望ましくはＷｌの２倍以上の幅に恒って前記実施例と
同様の連続多孔液体が達することになるので、前述実施
例に比ベート光導波路上に、連続多孔質体から成る被覆
層／３が設けられている。
よりガラスあるいはプラスチックの平板基材２１中に前
述の屈折率分布をもった半円柱状の導波路１２を、露出
部／２Ｄを基材２／の板面２／Ａと一致させて一体に埋
め込み形成し、さらに基板２ノの面に、上記露出部／２
Ｄを覆うように且つ導波路／−の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ
２望ましくはＷｌの２倍以上の幅に恒って前記実施例と
同様の連続多孔液体が達することになるので、前述実施
例に比ベート光導波路上に、連続多孔質体から成る被覆
層／３が設けられている。
上記構造の感知器の対向する両側面にそれぞれ単一モー
ド光ファイバ／ｉ、／ｊＢを結合し、一方の光ファイバ
１５Ａを通して単一モード光を導波路２２に入射させ、
また導波路からの出射光をファイバ／ＳＢに受光させる
。
ド光ファイバ／ｉ、／ｊＢを結合し、一方の光ファイバ
１５Ａを通して単一モード光を導波路２２に入射させ、
また導波路からの出射光をファイバ／ＳＢに受光させる
。
上記構造において、油が被覆層７３表面に付着すると油
は速やかに被覆層１３中に浸透し導波路２、！の表面に
達する。この結果、導波路２２を通る単一モード光の外
部に浸み出るエバ不ツセント波２３の割合が増加し、さ
らに油で吸収される光の割合が増加する。
は速やかに被覆層１３中に浸透し導波路２、！の表面に
達する。この結果、導波路２２を通る単一モード光の外
部に浸み出るエバ不ツセント波２３の割合が増加し、さ
らに油で吸収される光の割合が増加する。
したがって導波路コ２出口からの出射光量が減少するの
で油洩れを検出することができる。
で油洩れを検出することができる。
このように単一モード光導波路からのエバイ・ノセなお
、感知器を構成するための基板の材質としで。
、感知器を構成するための基板の材質としで。
召、多成分系ガラス、石英系ガラス或いはプラス４′：
′μラック用いた場合は、イオン交換法、光７アイ′シ
ー ツ１等の製作に利用されている火炎加水分解法、或いは
光重合法等の周知の技術をそれぞれ利用することによっ
て光導波路及び自己集束性伝送体を形成することかでき
る。
ー ツ１等の製作に利用されている火炎加水分解法、或いは
光重合法等の周知の技術をそれぞれ利用することによっ
て光導波路及び自己集束性伝送体を形成することかでき
る。
ま、た単一モード光導波路の垂直断面における屈折率分
布は均一であってもよいし勾配を有していてもよい。ま
た光導波路の形成は上記以外に蒸着・スパッタリング・
イオン注入・熱拡散などの方法でも何らさしつかえない
。第１Ｏ図は感知器／ｌを適用して実際に油漏れを感知
するための装置を示している。まず油タンク２’ｌの油
漏れが発生しそうな箇所に感知器／グを配置し、これら
の感知器／ｌＩ・・・・・・・・・ を光ファイバ１５
によって直列もしくは並列に接続しておく。最側端の光
ファイバ／Ｓへは光源コ５からの光を入射させ、また他
側端の光ファイバ１５から射出される光を光検出器２乙
で検出する。そして光検出器２乙からの電気信号を、増
巾器コア及び比較器２ｇを介して警報するのみではなく
、油漏れの箇所をも知ることができる。、 以上の説明では油の感知について述べたが、被覆層／３
の気孔中に浸透し得る液体であれば油に限られることな
く感知することができる。
布は均一であってもよいし勾配を有していてもよい。ま
た光導波路の形成は上記以外に蒸着・スパッタリング・
イオン注入・熱拡散などの方法でも何らさしつかえない
。第１Ｏ図は感知器／ｌを適用して実際に油漏れを感知
するための装置を示している。まず油タンク２’ｌの油
漏れが発生しそうな箇所に感知器／グを配置し、これら
の感知器／ｌＩ・・・・・・・・・ を光ファイバ１５
によって直列もしくは並列に接続しておく。最側端の光
ファイバ／Ｓへは光源コ５からの光を入射させ、また他
側端の光ファイバ１５から射出される光を光検出器２乙
で検出する。そして光検出器２乙からの電気信号を、増
巾器コア及び比較器２ｇを介して警報するのみではなく
、油漏れの箇所をも知ることができる。、 以上の説明では油の感知について述べたが、被覆層／３
の気孔中に浸透し得る液体であれば油に限られることな
く感知することができる。
で中心から外周に向けて漸減する屈折率勾配をもつ屈折
率分布型光導波路を形成した。そして上記導波路の露出
面を含む基板面上に、別途製作した比重０．６ｇ、厚さ
０．ＯＪ！；朋の連続多孔質の四弗化エチレン樹脂シー
トを載せ、このシートと基板とを端部においてピンチで
挾持して上記シートを基板面に圧着した。
率分布型光導波路を形成した。そして上記導波路の露出
面を含む基板面上に、別途製作した比重０．６ｇ、厚さ
０．ＯＪ！；朋の連続多孔質の四弗化エチレン樹脂シー
トを載せ、このシートと基板とを端部においてピンチで
挾持して上記シートを基板面に圧着した。
上記の感知器の導波路入射端および出射端に光ファイバ
を介してそれぞれ光源および光検出器を接続し、導波路
からの出射光量を測定しつつ感知器の被覆層にＡ、Ｂ及
び０重泊をそれぞれ数滴付着させたところ、それぞれ０
ＪｄＢ 、 ／、、２ｊｄＢ。
を介してそれぞれ光源および光検出器を接続し、導波路
からの出射光量を測定しつつ感知器の被覆層にＡ、Ｂ及
び０重泊をそれぞれ数滴付着させたところ、それぞれ０
ＪｄＢ 、 ／、、２ｊｄＢ。
０．９ｊｄＢの光量の変化があり油の付着を検出できた
。また検出に要した時間は何れの場合も／〜２分以内と
極めて短時間であった。
。また検出に要した時間は何れの場合も／〜２分以内と
極めて短時間であった。
が極めて早く感知器に被検出液体が付着してから′光・
、検出器で感知するまでの応答速度が早く安全性の砕い
検出を行なうことができる。
、検出器で感知するまでの応答速度が早く安全性の砕い
検出を行なうことができる。
１晶の簡単な説明
一嘩−−ｔ１
第１図は本発明の第一実施例を示す斜視図、第２図は同
側断面図、第３図は本発明の第二実施例を示す側断面図
、第１Ｉ図は本発明の第三実施例を示す側断面図、第Ｓ
図は同正面図、第６図は第１Ｓ図の感知器本体に用いら
れる自己集束型レンズを示す斜視図、第７図は本発明の
第五実施例を示す側断面図、第ｇ図は本発明の第六実施
例を示す斜視図、第９図は本発明の第七実施例を示す側
断面図、第７０図は本発明に係る感知器を用いた油洩れ
警報装置を示す模式図である。
側断面図、第３図は本発明の第二実施例を示す側断面図
、第１Ｉ図は本発明の第三実施例を示す側断面図、第Ｓ
図は同正面図、第６図は第１Ｓ図の感知器本体に用いら
れる自己集束型レンズを示す斜視図、第７図は本発明の
第五実施例を示す側断面図、第ｇ図は本発明の第六実施
例を示す斜視図、第９図は本発明の第七実施例を示す側
断面図、第７０図は本発明に係る感知器を用いた油洩れ
警報装置を示す模式図である。
Claims (5)
- （１）光源および光検出器に光学的に接続した導光体の
露出外面の要所を連続多孔質体から成る被覆層で覆った
ことを特徴とする液体感知器。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記被覆層を弗
化エチレン樹脂で形成した液体感知器。 - （３）特許請求の範囲第１項において、前記被覆層を導
光体に対し非接着状態で圧着した液体感知器。 - （４）特許請求の範囲第１項において、前記導光体は透
明平板中に形成された基板よりも屈折率の大な光導波路
から成り、この導波路の一部を基板表面に露出させてこ
の露出基板面上に連続多孔質被覆層を設けた液体感知器
。 - （５）特許請求の範囲第１項において、被検出液体が油
であり、前記被覆層が撥水性を有している液体感知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60167814A JPS6228641A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 液体感知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60167814A JPS6228641A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 液体感知器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228641A true JPS6228641A (ja) | 1987-02-06 |
| JPH0338539B2 JPH0338539B2 (ja) | 1991-06-11 |
Family
ID=15856595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60167814A Granted JPS6228641A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 液体感知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01299440A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-04 | Hitachi Cable Ltd | 光式塩分粒子付着量検出センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5337494A (en) * | 1976-09-18 | 1978-04-06 | Denki Kagaku Keiki Kk | Apparatus for detecting oil and so on |
| JPS59171903A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-09-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 液体検知光フアイバ− |
| JPS6025940U (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-21 | 株式会社 潤工社 | 耐水漏油検知センサ |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60167814A patent/JPS6228641A/ja active Granted
Patent Citations (3)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01299440A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-04 | Hitachi Cable Ltd | 光式塩分粒子付着量検出センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0338539B2 (ja) | 1991-06-11 |
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