JPS62287560A - 光電子増倍管の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 本発明は近接増倍素子を有している光電子増倍管を製造
する方法に関するものである。

近接増倍素子を有している光電子増倍管や、薄板状の増
倍器を有している扁平光電子増倍管や、マイクロチャネ
ルのディスクを有している表示管を製造する任意の方法
が解決すべき本質的な問題は、光電陰極を蒸着により構
成することにあり、この際、斯種の管では光電陰極と増
倍素子か、薄板状増倍器か、又はマイクロチャネル　デ
ィスクとの間の距離を極めて狭＜、０．２１１１［１１
程度としているから光電陰極の構成が困難である。均質
な光電陰極を得る良好な蒸着を行わせるには、光電陰極
と増倍器との間の距離を少なくとも光電陰極の直径程度
とする必要があることは、光電子増倍管を製造する技術
から既知である。上述したような困難性を解決するため
に、例えば互いに分離されているも連通しており、かつ
後に排気される２つの区分室の一方に光電陰極の窓を設
置し、他方に光電子増倍管の本体を設置することは米国
特許第３、０２６．１６３号から既知である。この場合
には、光電陰極をその区分室内にて窓に蒸着させ、つぎ
に活性化させてから他方の区分室に摺動させることによ
り並進させて、この区分室にて光電陰極を光電子増倍管
の本体に合体させ、かつ封止を行なう。

斯種の管は実際上、製造装置にて一度に１個の管しか処
理できないため、製造が極めて面倒であり、経費も嵩む
ことは明らかであるｄさらに、上述したような処理を行
なうには非常に熟練したオペレータが絶えず注意を払う
必要がある。

本発明の目的は、管本体と、この管本体の第１先端部に
封止させる窓に蒸着される光電陰極と。

この光電陰極から僅かに離れた個所に設けられる電子増
倍素子とを具えている近接増倍素子を有する光電子増倍
管を製造することにあって、前記管内に電子増倍素子が
存在するも、排気して封止される管の内側そのものに高
品質の光電陰極を実現させる方法を提供することにある
。

本発明は上記目的達成のために、光電子増倍管に管本体
の軸線に対し平行に電子増倍器用の摺動手段を設け、該
摺動手段を管と一体に形成すると共に該摺動手段に前記
窓の近傍に位置付けられる衝合手段を設け、電子増倍器
には、この増倍器を前記摺動手段に遠隔操縦によりハン
ダ付けする手段を設け、第１工程では管を封止して排気
すると共に電子増倍器を窓からこの窓の直径程度の距離
離して位置させ、かつ第２工程では光電陰極の組成物を
、窓から或る距離おいて設けた蒸発器によって蒸発させ
、第３工程では電子増倍器を摺動手段に沿って前記衝合
手段に当接するまで摺動させて移動させ、第４工程では
前記遠隔操縦ハンダ付手段を用いて電子増倍器を摺動手
段に遠隔操縦によりハンダ付けすることにより該電子増
倍器を光電陰極の近傍の所定位置に固定させることを特
徴とする光電子増倍管の製造方法にある。

本発明によれば、最初は光電陰極から離れた或る位置に
電子増倍素子を位置させてから、その電子増倍素子を光
電陰極に近い所定位置に移動させるため、管本体の外部
にて光電陰極を窓に蒸着させてから、その光電陰極を管
本体に封止させるためｊ二移動させる手間が省ける。従
って、本発明による方法によれば、斯くして製造される
近接増倍素子を有する光電子増倍管のコストが著しく低
下する。　　　゛ 以下図面につき本発明を説明する。

第１図の断面図は近接増倍素子を有している本発明によ
る光電子増倍管１０の製造方法における第１段階を示し
たものである。この光電子増倍管１０は特に、管本体２
０と、この本体２０の第１先端部２１に封止した窓３１
の上に蒸着される光電陰極３０と、電子増倍器４０とを
具えており、電子増倍器４０は近接フォーカシングを実
現するように光電陰極３０から僅かな距離（０，２ｍｍ
程度）の個所に設ける必要がある。第１及び２図に示す
例における電子増倍器４０は「複数の薄板を有する」タ
イプの増倍器である。光電子増倍管１０には管本体２０
の軸線２２に対して平行に電子増倍器４０用の摺動手段
５０を設ける。

この摺動手段５０は、例えば３木の棒５０の各先端５１
を管本体２０の基部６にハンダ付けすることによって管
本体２０と一体に形成して実現する。棒５０は電子増倍
器４０のＩｉｌ囲：て設けた通路に通ずようにする。

棒５０は、それらの先端部５２に衝合手段５３を具えて
おり、これらの衝合手段は窓３１の近傍に位置させ、ま
た第１及び２図の例に示す衝合手段５３はくぎの頭形状
のものとする。さらに、電子増倍器４０には、この増倍
器を摺動棒５０に対して遠隔操縦によりハンダ付けする
手段６０も設ける。第１及び２図に示した場合における
前記遠隔操縦ハンダ付け手段６０は、レーザ放射により
溶融される金属アイレット状のものとする。

第１製造工程では、先ず管１０を排気し、ついで封止し
て、電子増倍器４０を窓３１からこの窓の直径程度能れ
た個所に置く。この状態における構造が第１図に示した
ものである。第２工程では、窓３１から或る距離おいて
例えば増倍素子４０の周囲に配置した蒸発器７０によっ
て光電陰極の組成物を蒸発させる。第１図に示すように
、蒸発器７０は導線７１の上に設けた粒子状のもの（ア
ンチモン、セシウム等）とし、導線７１は管の外側から
内側に通し、これに電流を流して粒子７０を蒸発させる
ようにする。蒸発器７０と窓３１との間の距１罹を比較
的太き豪、することからして、上述したようにして形成
される光電陰極３０の均一性は良好となる。

第３の製造工程では、例えば重力の作用下で電子増倍器
４０を棒５０に沿って衝合手段５３に当るまて摺動させ
ることにより電子増倍器４０を第２図に示す位置に移動
させる。この際、光電陰極を蒸着形成するのに用いた導
線７１は、例えばレーザビームの遠隔制御によって予じ
め切断しておく。

最後の第４工程では、レーザビーム８０によって可融性
の金属アイレット６０を棒５０に遠隔操縦によりハンダ
付けすることによって電子増倍器４０を光電陰極３０の
近傍における所定位置に固定させる。

第１及び２図に示すように、光電子増倍管１０はアノー
ド９０及び数個の二次電子増倍管にセグメント化される
管を具えており、斯るアノード９０は薄板状の増倍器を
有する扁平な光電子増倍管の場合には、独立したサブ・
アノードに細分して、マルチアノードを構成するように
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法による第１製造段階における近接増
倍素子を有する光電子増倍管の断面図；第２図は本発明
方法による最終製造段階における第１図の光電子増倍管
の断面図である。 ６・・・管本体の基部　　　ＩＯ・・・光電子増倍管２
０・・・管本体　　　　　　２１・・・管本体の第１先
端部２２・・・管本体の軸線　　　３０・・・光電陰極
３１・・・窓　　　　　　　　４０・・・電子増倍器５
０・・・摺動手段　　　　　５１．５２・・・棒の先端
部５３・・・衝合手段

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、管本体（２０）と、該管本体の第１先端部（２１）
   に封止させる窓（３１）に蒸着される光電陰極（３０）
   と、該光電陰極から僅かに離れた個所に設けられる電子
   増倍素子（４０）とを具えている近接増倍素子を有する
   光電子増倍管（１０）を製造する方法において、光電子
   増倍管（１０）に管本体（２０）の軸線（２２）に対し
   平行に電子増倍器（４０）用の摺動手段（５０）を設け
   、該摺動手段を管（１０）と一体に形成すると共に該摺
   動手段に前記窓（３１）の近傍に位置付けられる衝合手
   段〈５３）を設け、電子増倍器（４０）には、この増倍
   器を前記摺動手段（５０）に遠隔操縦によりハンダ付け
   する手段（６０）を設け、第１工程では管（１０）を封
   止して排気すると共に電子増倍器（４０）を窓（３１）
   からこの窓の直径程度の距離離して位置させ、かつ第２
   工程では光電陰極の組成物を、窓から或る距離おいて設
   けた蒸発器（７０）によって蒸発させ、第３工程では電
   子増倍器を摺動手段（５０）に沿って前記衝合手段（５
   ３）に当接するまで摺動させて移動させ、第４工程では
   前記遠隔操縦ハンダ付手段（６０）を用いて電子増倍器
   （４０）を摺動手段（５０）に遠隔操縦によりハンダ付
   けすることにより該電子増倍器を光電陰極（３０）の近
   傍の所定位置に固定させることを特徴とする光電子増倍
   管の製造方法。 ２、前記摺動手段（５０）を棒とし、これらの棒の各一
   方の先端部を管（１０）の基部（６）にハンダ付けし、
   かつ前記棒の他方の先端部（５２）に衝合手段（５３）
   を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   の方法。 ３、前記遠隔操縦ハンダ付け手段（６０）をレーザビー
   ムの作用下で溶融させることのできる金属アイレットと
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１又は２項のい
   ずれか一項に記載の方法。