JPS6229042A - Ｘ線用撮像管のタ−ゲツト - Google Patents
Ｘ線用撮像管のタ−ゲツトInfo
- Publication number
- JPS6229042A JPS6229042A JP16891085A JP16891085A JPS6229042A JP S6229042 A JPS6229042 A JP S6229042A JP 16891085 A JP16891085 A JP 16891085A JP 16891085 A JP16891085 A JP 16891085A JP S6229042 A JPS6229042 A JP S6229042A
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- JP
- Japan
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- layer
- glass
- ray
- conductive layer
- plate
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- Pending
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、Ｘ線用撮像管のターゲットの改良に関する
。
。
近年、不可視物体を観測する手段として、Ｘ線テレビ方
式が各種提案されている。例えば、（１）螢光板の像を
高感度のテレビカメラで撮（ｇ３−ト ム 皮 の （２）Ｘ線螢光増倍管の像をテレビカメラで撮像するも
の （３）Ｘ線用撮像管を用いて直接撮像するものなどがあ
る。このうち、（３）のＸ線透過像を直接に撮像管の光
電変換層に受けて、電気信号に変換する直接撮像方式は
、他方式に比較して、装置が簡単であり、螢光板や光学
系を省略出来るため、高解像度が得られるなどの特徴を
有し、各方面で多用されている。
式が各種提案されている。例えば、（１）螢光板の像を
高感度のテレビカメラで撮（ｇ３−ト ム 皮 の （２）Ｘ線螢光増倍管の像をテレビカメラで撮像するも
の （３）Ｘ線用撮像管を用いて直接撮像するものなどがあ
る。このうち、（３）のＸ線透過像を直接に撮像管の光
電変換層に受けて、電気信号に変換する直接撮像方式は
、他方式に比較して、装置が簡単であり、螢光板や光学
系を省略出来るため、高解像度が得られるなどの特徴を
有し、各方面で多用されている。
このＸ線用撮像管に使用される面板は、Ｘ線吸収の出来
るだけ少ない物質あるいは板厚を選択する必要がある。
るだけ少ない物質あるいは板厚を選択する必要がある。
一般的には、金属ぺＩＪ ＩＪウム、アルミニウム、硝
子等が用いられる。このうち、金属ぺＩＪ ＩＪウムは
軟Ｘ線領域での吸収も少なく、面板材料としてよく用い
られる。
子等が用いられる。このうち、金属ぺＩＪ ＩＪウムは
軟Ｘ線領域での吸収も少なく、面板材料としてよく用い
られる。
ところで、従来、実用化されているビ・シコン型Ｘ線用
撮像管のターゲットは、第４図に示すように構成され、
適当な厚さに成形された金属ぺＩＪ ＩＪウムからなる
面板１上に、直接光電変換層２例えば−酸化鉛（ｐｂｏ
） 、無晶形セレン（Ｓｓ ）、シリコン（ｓｉ ）
などを蒸着してターゲットとしていた。
撮像管のターゲットは、第４図に示すように構成され、
適当な厚さに成形された金属ぺＩＪ ＩＪウムからなる
面板１上に、直接光電変換層２例えば−酸化鉛（ｐｂｏ
） 、無晶形セレン（Ｓｓ ）、シリコン（ｓｉ ）
などを蒸着してターゲットとしていた。
しかし、このような従来のターゲットでは、撮像画面上
に白キズあるいは黒点などの画像欠陥が生じ易く、著し
く画質を低下させるという欠点を有していた。この原因
は、面板１を製造する工程、即ちベリリウム粉末を高温
で真空プレスジ、ホットプレスブロックから面板１を製
作する工程で生じる、面板表面の数百芙〜数ｔｉｍに至
る凹凸であることが判明した。従って、ビジコン型撮像
管の面板として要求される表面の平滑化が不十分であυ
、白キズあるいは黒キズ発生の画質低下は避けられない
問題であった。
に白キズあるいは黒点などの画像欠陥が生じ易く、著し
く画質を低下させるという欠点を有していた。この原因
は、面板１を製造する工程、即ちベリリウム粉末を高温
で真空プレスジ、ホットプレスブロックから面板１を製
作する工程で生じる、面板表面の数百芙〜数ｔｉｍに至
る凹凸であることが判明した。従って、ビジコン型撮像
管の面板として要求される表面の平滑化が不十分であυ
、白キズあるいは黒キズ発生の画質低下は避けられない
問題であった。
この発明の目的は、上記に起因する欠点を無くし、良好
なＸ線撮像画が得られるＸ線用撮像管のターゲットを提
供することである。
なＸ線撮像画が得られるＸ線用撮像管のターゲットを提
供することである。
〔発明の概要〕
この発明は、例えば金属ベリリウムのようなＸ線透過性
の良い金属からなる面板の一面に硝子層が形成され、こ
の硝子層上に信号電極となる導電層、光電変換層が順次
形成されてなるＸ線用撮像管のターゲットである。
の良い金属からなる面板の一面に硝子層が形成され、こ
の硝子層上に信号電極となる導電層、光電変換層が順次
形成されてなるＸ線用撮像管のターゲットである。
この発明によるＸ線用撮像管のターケ゛ツ）Ｈ１第１図
に示すように構成され、Ｘ線透過性の良い金属例えば金
属ベリリウムからなる面板３の一面には、硝子層４が形
成されている。この硝子層４上には、信号電極となる導
電層５、および光電変換層６が順次形成されている。こ
の場合、硝子層４の厚さは、３〜１０ ｐｍに設定され
ている。
に示すように構成され、Ｘ線透過性の良い金属例えば金
属ベリリウムからなる面板３の一面には、硝子層４が形
成されている。この硝子層４上には、信号電極となる導
電層５、および光電変換層６が順次形成されている。こ
の場合、硝子層４の厚さは、３〜１０ ｐｍに設定され
ている。
次Ｋ、上記のようなＸ線用撮像管のターゲットの製造方
法について、説明する。先ず、適当な形状、厚さ例えば
１インチ形ビジコンの場合、直径２６．２■、厚さ０．
５ｍの金属ベリリウムからなる面板３を、濃硝酸（ＨＮ
Ｏ３）あるいは純水で表面処理をする。そして、この面
板３のどちらか一方の面に、硝子質物質例えば硼硅酸硝
子、酸化シリコン又は石英硝子を含む酸化物硝子などを
真空蒸着あるいはスノ母ツタリング等を用いて、厚さ約
１０ ｐｍに被着し形成する。その後、この硝子質物質
の表面層を約５βｍまで光学研磨し、面板３上に厚さ約
５μｍの硝子層４を形成する。
法について、説明する。先ず、適当な形状、厚さ例えば
１インチ形ビジコンの場合、直径２６．２■、厚さ０．
５ｍの金属ベリリウムからなる面板３を、濃硝酸（ＨＮ
Ｏ３）あるいは純水で表面処理をする。そして、この面
板３のどちらか一方の面に、硝子質物質例えば硼硅酸硝
子、酸化シリコン又は石英硝子を含む酸化物硝子などを
真空蒸着あるいはスノ母ツタリング等を用いて、厚さ約
１０ ｐｍに被着し形成する。その後、この硝子質物質
の表面層を約５βｍまで光学研磨し、面板３上に厚さ約
５μｍの硝子層４を形成する。
更に、この硝子層４上に信号取出し用電極となる例えば
ＡＡ 、 Ａｕなとの導電層あるいはＳｎＯ□。
ＡＡ 、 Ａｕなとの導電層あるいはＳｎＯ□。
Ｉｎ２Ｏ３などの透明な導電層５を厚さ約５００〜１０
００＾に形成する。
００＾に形成する。
更に、この導電層５上は、例えば−酸化鉛（ＰｂＯ）膜
、Ｓｅ系膜、ＳｔなどからなるＸ線に感度を有する光電
変換層６を形成して、ターダクトを完成する。
、Ｓｅ系膜、ＳｔなどからなるＸ線に感度を有する光電
変換層６を形成して、ターダクトを完成する。
この発明によれば、金属ベリリウムから匁る面板３の一
面に硝子層４が形成され、この硝子層４上に導電層５、
光電変換層６が順次形成されている。これによシ、白キ
・ズ、黒キズなどの画像欠陥が抑制され、良好なＸ線撮
像画を得るとシ充出キ六− 即ち、この発明のＸ線用撮像管のターゲットを、１イン
チビジコン形撮像管に適用して撮像画質を評価したとこ
ろ、第２図に示すような特性が得られた。即ち、ターゲ
ット動作電圧（５０Ｖ）では、全く白キズ、黒キーｅ表
どの画像欠陥が認められず、良好な画質を得ることが出
来た。
面に硝子層４が形成され、この硝子層４上に導電層５、
光電変換層６が順次形成されている。これによシ、白キ
・ズ、黒キズなどの画像欠陥が抑制され、良好なＸ線撮
像画を得るとシ充出キ六− 即ち、この発明のＸ線用撮像管のターゲットを、１イン
チビジコン形撮像管に適用して撮像画質を評価したとこ
ろ、第２図に示すような特性が得られた。即ち、ターゲ
ット動作電圧（５０Ｖ）では、全く白キズ、黒キーｅ表
どの画像欠陥が認められず、良好な画質を得ることが出
来た。
尚、硝子層４は、上記実施例では５μｍとしたが、軟Ｘ
線透過率を考慮すると、厚膜化するほど不利であるが、
硝子層４の強度及び形成作業性などから考えると、３μ
ｍ〜５μｍが適当である。
線透過率を考慮すると、厚膜化するほど不利であるが、
硝子層４の強度及び形成作業性などから考えると、３μ
ｍ〜５μｍが適当である。
又、金属ベリリウムのみの場合、金属ベリリウム＋０．
１調の硝子層の場合、金属ベリリウム＋ ０．０５ ｍ
の硝子層の場合につき、第３図にＸ線管電圧に対する相
対感度を示しである。
１調の硝子層の場合、金属ベリリウム＋ ０．０５ ｍ
の硝子層の場合につき、第３図にＸ線管電圧に対する相
対感度を示しである。
第１図はこの発明の一実施例に係るＸ線用撮像管のター
ゲットを示す断面図、第２図は従来及びこの発明におけ
るターゲット電圧に対する欠陥個数を示す特性曲線図、
第３図はＸ線管電圧に対する相対感度を示す特性曲線図
、第４図は従来のＸ線用撮像管のターグットを示す断面
図である。 ３・・・面板、４・・・硝子層、５・・・導電層、６・
・・光電変換層。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 クーゲ；ット千力ｉ￥４間力し 第２図
ゲットを示す断面図、第２図は従来及びこの発明におけ
るターゲット電圧に対する欠陥個数を示す特性曲線図、
第３図はＸ線管電圧に対する相対感度を示す特性曲線図
、第４図は従来のＸ線用撮像管のターグットを示す断面
図である。 ３・・・面板、４・・・硝子層、５・・・導電層、６・
・・光電変換層。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 クーゲ；ット千力ｉ￥４間力し 第２図
Claims (2)
- （１）Ｘ線透過性の良い金属からなる面板の一面に硝子
層が形成され、この硝子層上に信号電極用導電層、光電
変換層が順次形成されてなることを特徴とするＸ線用撮
像管のターゲット。 - （２）上記硝子層の厚さは、３〜１０μｍである特許請
求の範囲第１項記載のＸ線用撮像管のターゲット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16891085A JPS6229042A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Ｘ線用撮像管のタ−ゲツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16891085A JPS6229042A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Ｘ線用撮像管のタ−ゲツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6229042A true JPS6229042A (ja) | 1987-02-07 |
Family
ID=15876827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16891085A Pending JPS6229042A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Ｘ線用撮像管のタ−ゲツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6229042A (ja) |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP16891085A patent/JPS6229042A/ja active Pending
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