JPS6297239A - Ｘ線用撮像管 - Google Patents
Ｘ線用撮像管Info
- Publication number
- JPS6297239A JPS6297239A JP23567485A JP23567485A JPS6297239A JP S6297239 A JPS6297239 A JP S6297239A JP 23567485 A JP23567485 A JP 23567485A JP 23567485 A JP23567485 A JP 23567485A JP S6297239 A JPS6297239 A JP S6297239A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- image pickup
- pickup tube
- plate
- thin glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、Ｘ線用撮像管、とくにそのターゲットの改
良に関する。
良に関する。
近年、不可視物体を観測する手段として、Ｘ線テレビ方
式が各種提案されている。例えば、（１）螢光板の像を
高感度のテレビカメラで撮像するもの （２）Ｘ線螢光増倍管の儂ヲテレビカメラで撮像するも
の （３）Ｘ線用撮像管を用いて直接撮像するものなどがあ
る。このうち、（３）のＸ線透過像を直接に撮像管の光
電変換層に受けて、電気信号に変換する直接撮像方式は
、他方式に比較して装置が簡単であり、螢光板や光学系
？省略出来るため、高解像度が得られるなどの特徴を有
し、各方面で多用されている。
式が各種提案されている。例えば、（１）螢光板の像を
高感度のテレビカメラで撮像するもの （２）Ｘ線螢光増倍管の儂ヲテレビカメラで撮像するも
の （３）Ｘ線用撮像管を用いて直接撮像するものなどがあ
る。このうち、（３）のＸ線透過像を直接に撮像管の光
電変換層に受けて、電気信号に変換する直接撮像方式は
、他方式に比較して装置が簡単であり、螢光板や光学系
？省略出来るため、高解像度が得られるなどの特徴を有
し、各方面で多用されている。
このＸ線用撮像管に使用される面板は、Ｘ線の吸収の出
来るだけ少ない物質あるいは板厚を選択する必要がある
。一般的には、金属ぺ１７１Ｊウム、アルミニウム、硝
子等が用いられる。このうち、金属ベリリウムはその酸
化物が有害性であり、取扱いが制約されるが、軟Ｘ線領
域での吸収も少なく、面板材料として、よく用いられる
。
来るだけ少ない物質あるいは板厚を選択する必要がある
。一般的には、金属ぺ１７１Ｊウム、アルミニウム、硝
子等が用いられる。このうち、金属ベリリウムはその酸
化物が有害性であり、取扱いが制約されるが、軟Ｘ線領
域での吸収も少なく、面板材料として、よく用いられる
。
ところで、従来、実用化されているビソコン型Ｘ線用撮
像管のターゲットは、第５図に示すように構成され、適
当な厚さに成形された金属ベリリウムからなる面板１上
に、直接、光電変換層２例えば−酸化鉛（ｐｂｏ ）
、無定形セレン（Ｓｅ）、α−シリコン（Ｓｔ）などを
、蒸着又はスパッターしてターゲットとしていた。
像管のターゲットは、第５図に示すように構成され、適
当な厚さに成形された金属ベリリウムからなる面板１上
に、直接、光電変換層２例えば−酸化鉛（ｐｂｏ ）
、無定形セレン（Ｓｅ）、α−シリコン（Ｓｔ）などを
、蒸着又はスパッターしてターゲットとしていた。
しかし、このような従来のターゲットでは、撮像画同上
に白キズあるいは黒点などの画像欠陥が生じ易′＜、著
しく画質を低下させるという欠点を有していた。この原
因は、面板１ケ製造する工程、即ちぺＩＪ ＩＪウム粉
末を高温で真空プレスし、ホットプレスブロックから面
板１全製作する工程で生じる、面板表面の数百Ｘ乃至数
μｍに至る凹凸であることが判明した。そして、金属ベ
リリウムからなる面板１は、その府警性により面板製造
及びその加工には制約があり、表面の凹凸を十分に除去
することは、極めて困難である。従って、ピッコン型撮
像管の面板として要求される表面の平滑化が不十分であ
り、白キズあるいは黒キズ発生の画質低下は避けられな
い問題であった。
に白キズあるいは黒点などの画像欠陥が生じ易′＜、著
しく画質を低下させるという欠点を有していた。この原
因は、面板１ケ製造する工程、即ちぺＩＪ ＩＪウム粉
末を高温で真空プレスし、ホットプレスブロックから面
板１全製作する工程で生じる、面板表面の数百Ｘ乃至数
μｍに至る凹凸であることが判明した。そして、金属ベ
リリウムからなる面板１は、その府警性により面板製造
及びその加工には制約があり、表面の凹凸を十分に除去
することは、極めて困難である。従って、ピッコン型撮
像管の面板として要求される表面の平滑化が不十分であ
り、白キズあるいは黒キズ発生の画質低下は避けられな
い問題であった。
この発明の目的は、上記に起因する欠点を無くし、良好
なＸ線撮像画が得られるＸ線用撮像管を提供することで
ある。
なＸ線撮像画が得られるＸ線用撮像管を提供することで
ある。
この発明は、例えば金属ベリリウムのようなＸ線透過性
の良い金属からなる面板の一面に硝子薄板が接合され、
この硝子薄板上に導電層、光電変換層が順次形成されて
なシ、かつこの硝子薄板の外周面が撮像管の真空外囲器
の開口端部に気密接合されてなるＸ線用撮像管のターゲ
ットである。
の良い金属からなる面板の一面に硝子薄板が接合され、
この硝子薄板上に導電層、光電変換層が順次形成されて
なシ、かつこの硝子薄板の外周面が撮像管の真空外囲器
の開口端部に気密接合されてなるＸ線用撮像管のターゲ
ットである。
この発明によるＸ線用撮像管のターゲットは、第１図に
示すように構成され、Ｘ線透過性の良い金属例えば金属
ペリＩＪウムからなる面板３の一面には、硝子薄板４が
光学硝子用接着剤７により接合されている。この硝子薄
板４上には、導電層５、Ｘ線有感元電変換層６が順次形
成されている。この場合、硝子薄板４の厚さは、１０μ
ｍに設定されている。
示すように構成され、Ｘ線透過性の良い金属例えば金属
ペリＩＪウムからなる面板３の一面には、硝子薄板４が
光学硝子用接着剤７により接合されている。この硝子薄
板４上には、導電層５、Ｘ線有感元電変換層６が順次形
成されている。この場合、硝子薄板４の厚さは、１０μ
ｍに設定されている。
次に、上記のようなＸ線用撮像管のターｒヮトの製造方
法について説明する。先ず、適当な形状、厚さ例えば１
インチ形ビヅコンの場合、直径２６．２協、厚さ０．５
−の金属ベリリウムからなる面板３を、濃硫酸（ＨＮＯ
３）あるいは純水で表面処理をする。そして、この面板
３のどちらか一方の面に、直径２６．２−１厚さ約０．
１〜１ｍ程度のＸ線吸収率の極めて少ない硝子薄板４を
、光学硝子用接層剤２等を用いて接層する。
法について説明する。先ず、適当な形状、厚さ例えば１
インチ形ビヅコンの場合、直径２６．２協、厚さ０．５
−の金属ベリリウムからなる面板３を、濃硫酸（ＨＮＯ
３）あるいは純水で表面処理をする。そして、この面板
３のどちらか一方の面に、直径２６．２−１厚さ約０．
１〜１ｍ程度のＸ線吸収率の極めて少ない硝子薄板４を
、光学硝子用接層剤２等を用いて接層する。
その後、この硝子薄板４ｔ、厚さが約１０μｍになるま
で光学研磨する。
で光学研磨する。
次に、この硝子薄板４上に、信号取出し用電極となる例
えばｋＬ 、 Ａｕなどの４電層あるいはＳ ｎＯ２、
Ｉ ｎ ２０３などの導゛厄層５を、厚さ約１００Ｘ乃
至１０００Ｘに形成する。更に、この導電層５上に、Ｘ
線に感ｌを有する光導電物質例えば−酸化鉛（ｐｂｏ
）膜、Ｓｓ系膜、α−ｓｉなどからなる光電変換層６を
形成して、ターゲットを完成する。
えばｋＬ 、 Ａｕなどの４電層あるいはＳ ｎＯ２、
Ｉ ｎ ２０３などの導゛厄層５を、厚さ約１００Ｘ乃
至１０００Ｘに形成する。更に、この導電層５上に、Ｘ
線に感ｌを有する光導電物質例えば−酸化鉛（ｐｂｏ
）膜、Ｓｓ系膜、α−ｓｉなどからなる光電変換層６を
形成して、ターゲットを完成する。
このようなターゲットは、第２図に示すように筒状の真
空外囲器８の一端開口部に封止される。このとき上記硝
子薄板４の外周面がＩｎ等の接着剤９を介して上記真空
外囲器８の一端開口部に気密接合される。又、導電層５
も接着剤９に接触し、信号取出し用リング１０と導通し
ている。
空外囲器８の一端開口部に封止される。このとき上記硝
子薄板４の外周面がＩｎ等の接着剤９を介して上記真空
外囲器８の一端開口部に気密接合される。又、導電層５
も接着剤９に接触し、信号取出し用リング１０と導通し
ている。
この発明によれば、金属ベリリウムからなる面板３の一
面に硝子薄板４が接合され、この硝子薄板４上に導電層
５、光電変換層６が順次形成されている。これにより、
白キズ、黒キズなどの画像欠陥が抑制され、良好なＸ線
撮像画を得ることが出来る。
面に硝子薄板４が接合され、この硝子薄板４上に導電層
５、光電変換層６が順次形成されている。これにより、
白キズ、黒キズなどの画像欠陥が抑制され、良好なＸ線
撮像画を得ることが出来る。
即ち、この発明のＸ線用撮像管を、１インチピッコン形
撮像管に適用して撮像画質を評価したところ、第３図に
示すような特性が得られた。
撮像管に適用して撮像画質を評価したところ、第３図に
示すような特性が得られた。
即ち、ターゲット動作電圧（５０Ｖ）では、全く白キズ
、黒キズなどの画像欠陥が認められず、良好な画質を得
ることが出来た。
、黒キズなどの画像欠陥が認められず、良好な画質を得
ることが出来た。
尚、硝子薄板４の厚さは、上記実施例では１０μｍとし
たが、軟Ｘ線透過率を考慮すると、厚膜化するほど不利
であるが、硝子薄板４０強度及び接合作業性などから考
えると、１０μｍ乃至５０μｍの範囲内が適当である。
たが、軟Ｘ線透過率を考慮すると、厚膜化するほど不利
であるが、硝子薄板４０強度及び接合作業性などから考
えると、１０μｍ乃至５０μｍの範囲内が適当である。
又、金属ベリリウムのみの場合、金属ベリリウム＋１０
μｍの硝子薄板４の場合、金属ベリリウム＋５０μｍの
硝子薄板４の場合につき、第４図にＸ線管電圧に対する
相対感度を示しである。
μｍの硝子薄板４の場合、金属ベリリウム＋５０μｍの
硝子薄板４の場合につき、第４図にＸ線管電圧に対する
相対感度を示しである。
第１図はこの発明の一実施例に係るＸ線用撮像管のター
ｆ、）を示す断面図、第２図はこの発明のターゲットを
撮像管Ｋｌ！！着した状態を示す要部断面図、第３図は
従来及びこの発明におけるターゲット電圧に対する欠陥
個数を示す特性曲線図、第４図はＸ線管電圧に対する相
対感傷管のターゲットを示す断面図である。 ３・・・面板、４・・・硝子薄板、５・・・導電層、６
・・・光電変換層、７・・・光学硝子用接着剤、８・・
・真空外囲器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 ターウ”’、） ５ｉｌｌ卯ｔＬ （Ｖ）第３図
ｆ、）を示す断面図、第２図はこの発明のターゲットを
撮像管Ｋｌ！！着した状態を示す要部断面図、第３図は
従来及びこの発明におけるターゲット電圧に対する欠陥
個数を示す特性曲線図、第４図はＸ線管電圧に対する相
対感傷管のターゲットを示す断面図である。 ３・・・面板、４・・・硝子薄板、５・・・導電層、６
・・・光電変換層、７・・・光学硝子用接着剤、８・・
・真空外囲器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 ターウ”’、） ５ｉｌｌ卯ｔＬ （Ｖ）第３図
Claims (2)
- （１）Ｘ線透過性の良い金属からなる面板の一面に硝子
薄板が接合され、この硝子薄板上に導電層、光電変換層
が順次形成されてターゲットになり、かつこの硝子薄板
の外周面が真空外囲器の開口端部に気密接合されてなる
ことを特徴とするＸ線用撮像管。 - （２）上記硝子薄板は、１０μｍ乃至５０μｍの範囲内
の厚さに設定されている特許請求の範囲第１項記載のＸ
線用撮像管
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23567485A JPS6297239A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | Ｘ線用撮像管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23567485A JPS6297239A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | Ｘ線用撮像管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297239A true JPS6297239A (ja) | 1987-05-06 |
Family
ID=16989519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23567485A Pending JPS6297239A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | Ｘ線用撮像管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6297239A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0437807U (ja) * | 1990-07-23 | 1992-03-31 |
-
1985
- 1985-10-22 JP JP23567485A patent/JPS6297239A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0437807U (ja) * | 1990-07-23 | 1992-03-31 |
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