JPS6229059Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は超高真空を得るために真空容器を加熱
してその内面に吸着しているガスを強制的に排除
するベーキング装置に関する。

先ず、本考案の１実施例を図面について説明す
る。２０はステンレス鋼からなる真空容器、１は
真空容器２０の上フランジ、２は真空容器２０の
下フランジ、３は上フランジ１と下フランジ２と
を締結するボルト、４はボルト３に螺合されるナ
ツト、５は上フランジ１と下フランジ２とのフラ
ンジ面に配設された金属中空Ｏリング、６は真空
容器２０およびその上、下フランジ１，２の外面
を被覆するアルミニウム、胴等の良熱伝導部材、
７は良熱伝導部材６の外面に添接されたヒータ等
の加熱部材、８は保温材、９はベーキングのため
の電源を示す。

従来のこの種ベーキング装置においては、真空
容器およびその上下フランジは通常ステンレス鋼
で製造され、かつ、これらの外面は良熱伝導部材
で被覆されることなく、これらの外面に直接ヒー
タ等の加熱部材が添接されていた。従つて、ステ
ンレス鋼は熱伝導率が小さいため、ヒータの入力
を上げると、ヒータが接する外表面の温度が上昇
し、ヒータが損傷し易い。また、真空容器の外表
面が均一に加熱されないため、真空容器に熱応
力、熱変形が生じるという不具合があつた。

しかるに、本考案の装置においては、図面に示
されるように真空容器２０およびそのフランジ
１，２等の構成部材の外面に良熱伝導部材６を被
覆して、真空容器の構成部材とヒータ等の加熱部
材７との間に良熱伝導部材６を介在させているの
で、ヒータ７が接触する部分の温度を良熱伝導部
材６を介在させない場合よりも低下させ、ヒータ
７の損傷を防止できる。また、同時に、熱伝導率
の大きい良熱伝導部材６が真空容器２０の外表面
全体を覆つているため、真空容器２０が均一に加
熱され、フランジ１，２に不均一な熱応力や熱変
形が生じない。一般に単位面積当りの入熱量は、
次式で表示できる。

ｑ＝λΔＴ／δ 但し、ｑ：単位面積当りの入熱量 Kcal／m²ｈ λ：熱伝導率 Kcal／mh℃ ΔＴ：温度差 ℃ δ：距離 ｍ 今、ヒータ７の入熱量ｑおよび距離δを一定と
すると、熱伝導率λと温度差ΔＴの積は一定とな
る。従つて、熱伝導率λの大きい材料を用いる
と、ΔＴは小さくなるため、ヒータ７接触する部
分の温度は低下する。

本考案は以上実施例について説明したように、
真空容器の構成部材と加熱部材との間に良熱伝導
部材を介装したので、加熱部材が接触する部分の
温度が低下するため、加熱部材の損傷が防止さ
れ、かつ、真空容器が均一に加熱されるため、そ
の熱応力および熱変形を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の１実施例を示す要部断面図であ
る。 真空容器の構成部材……２０，１，２、加熱部
材……７、良熱伝導部材……６。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空容器の構成部材を加熱・脱ガスするベーキ
   ング装置において、上記真空容器の構成部材と加
   熱部材との間に、良熱伝導部材を介装したことを
   特徴とするベーキング装置。