JPS6229093U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は本考案第１実施例の断面図、
第３図は同じく要部の側面図、第４図は受け渡し
の説明図、第５図と第６図は第２実施例の断面図
である。 １……ケーシング、２……処理室、２２……出
入口、３……処理台、３１……溝、４……シヤツ
ター、４３，４４……ローラー、５……ランプ、
６……搬送ベルト、７ａ……駆動プーリ、７ｂ…
…従動プーリ、７ｃ……テンシヨンプーリ、Ｗ…
…被処理物（半導体ウエハー）、Ｓ_１……搬入ス
テージ、Ｓ_２……搬出ステージ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上面に搬送ベルトを受容する溝が設けられ、板
   状の被処理物が載置される処理台と、この処理台
   に向けて光を放射するランプと、この処理台を取
   り囲み、両側に出入口を有する処理室と、上下動
   して該出入口を開閉するシヤツターと、両出入口
   の外側に配置される駆動、従動両プーリおよびこ
   れらの下方に配置されるテンシヨンプーリの少な
   くとも３個のプーリに巻掛けて張設され、両出入
   口を貫通して平行に走行する少なくとも２本以上
   のワイヤー状エンドレス搬送ベルトとを備え、シ
   ヤツターの上下動に連動して、搬送ベルトをテン
   シヨンプーリの付勢力に抗して押し下げるか或い
   は引き上げ、搬送ベルトの処理台上面に対するレ
   ベルを変位させて搬送ベルトと処理台との間で被
   処理物の受け渡しを行うことを特徴とする光処理
   炉。